Патенты с меткой «эллипсометрического»

Номер патента: 693176

Опубликовано: 25.10.1979

Авторы: Ванюрихин, Герчановская

МПК: G01N 21/40

Метки: пластины, фазовой, эллипсометрического

...поворота анализатора до ф гашения света, по их полусумме можно получить точное значение разности Фаз (толщина), вносимой фаэовой пластиной.693176 Формула изобретения Составитель В. Иванюк а Техред Ч.фанта КорректорРедактор С ницкая Заказ 6064 Тираж 1073 ПодписноеИПИ Государственного комитета СССпо делам изобретений и открытийМосква, Ж, Раушская наб., д./5 3 илиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектн Па чертеже показана схема одного из вариантов эллипсометра - эллипсометра с четвертьволновым компенсатором Сенармона.Эллипсометр содержит источник излучения 1, поляризатор 2, исследуемую фазовую пластину 3, четвертьволновый компенсатор Сенармона 4, модулятор 5, анализатор 6, фоторегистрирующую систему 7.П р и м е р. На пути светового луча...