G01N 1/28 — подготовка образцов для исследования

Номер патента: 1505158

Опубликовано: 27.09.2013

Авторы: Автюшков, Бобченок, Тралле, Цыбульская

МПК: G01N 1/28

Метки: исследований, образцов, подготовки, электронно-микроскопических, электронографических

Способ подготовки образцов для электронно-микроскопических и электронографических исследований, включающий размещение исходной заготовки на поверхности нейтральной жидкости исследуемой стороной вниз, нанесение на обратную сторону заготовки порции жидкого травителя и выдержку заготовки до появления в ней сквозных микроотверстий, отличающийся тем, что, с целью повышения качества образцов за счет уменьшения подтравливания приповерхностных слоев заготовки, при выдержке заготовки в поверхностном слое нейтральной жидкости создают ее поток со скоростью 0,1-0,2 м/с в направлении, параллельном плоскости заготовки.