Фартукова

Номер патента: 868891

Опубликовано: 30.09.1981

Авторы: Гетманов, Сулюкин, Сучкова, Фартукова

МПК: H01L 21/312

Метки: фотошаблонов

...актиничногоизлучения и прозрачное в видимойобласти спектра, что значительносокращает время, затрачиваемое наоперацию совмещения рисунка фото 10 шаблона с рисунком на подложке.Нанесение окиси железа можно осуществлять методом вакуумного напыле-,ния либо пиролиза,Полученное покрытие является практически бездефектным, а имеющиесямнкронные дефекты (проколы ) пленкиокиси железа, возникающие при напылении, не передаются на подложку впроцессе эксплуатации фотошаблонаблагодаря бездефектности лежащегопод ним слоя диффузионной меди. Причиной этого является дифракция намикронных отверстиях.П р и м,е р. Стеклянную подложкуокрашивают на специальной установкес помощью устройств имеющих медносвинцовую лигатуру (1-27. меди).Окраску лриповерхностного...

Номер патента: 467339

Опубликовано: 15.04.1975

Авторы: Архипов, Атлас, Барский, Берендс, Ефремова, Зарифов, Искра, Першенков, Пузакова, Степанов, Сушкин, Тагаевская, Таль, Фартукова, Черни, Чернышев, Шевченко, Юдицкий

МПК: G06D 3/00

Метки: обегающее, пневматическое

...обеспечивает герметизацию всех ее внешних коммутаций.Схема содержит цепочку последовательно соединенных триггерных ячеек, причем каждая нечетная ячейка 10 - 13 содержит струйный элемент И 14, струйный элемент Запрет 15 и согласующий усилитель 16, а каждая четная ячейка 17 - 20 содержит два струйных элемента Запрет 21 и 22 и согласующий усилитель 23, Входы всех ячеек подсоединены к единой шине управления 24, которая, в свою очередь; через повторитель 26 :оединена с выходным каналом счетного триггера 26. Счетный триггер содержит два согласующих усилителя 2 и 28 и четыре струйных элемента.Схема имеет выходные каналы 29 - 36 (по числу триггерных ячеек), счетный вход 3, входной канал 38 установки прибора в исходное состояние, входной...