Сулюкин

Номер патента: 868891

Опубликовано: 30.09.1981

Авторы: Гетманов, Сулюкин, Сучкова, Фартукова

МПК: H01L 21/312

Метки: фотошаблонов

...актиничногоизлучения и прозрачное в видимойобласти спектра, что значительносокращает время, затрачиваемое наоперацию совмещения рисунка фото 10 шаблона с рисунком на подложке.Нанесение окиси железа можно осуществлять методом вакуумного напыле-,ния либо пиролиза,Полученное покрытие является практически бездефектным, а имеющиесямнкронные дефекты (проколы ) пленкиокиси железа, возникающие при напылении, не передаются на подложку впроцессе эксплуатации фотошаблонаблагодаря бездефектности лежащегопод ним слоя диффузионной меди. Причиной этого является дифракция намикронных отверстиях.П р и м,е р. Стеклянную подложкуокрашивают на специальной установкес помощью устройств имеющих медносвинцовую лигатуру (1-27. меди).Окраску лриповерхностного...