Дружаева

Номер патента: 1419187

Опубликовано: 10.01.1996

Авторы: Дружаева, Зеленцов, Мялицина, Наумов

МПК: C23F 1/30

Метки: медной, олово-висмут, поверхности, покрытия, раствор, сплава, удаления

РАСТВОР ДЛЯ УДАЛЕНИЯ ПОКРЫТИЯ ИЗ СПЛАВА ОЛОВО-ВИСМУТ С МЕДНОЙ ПОВЕРХНОСТИ, преимущественно при ее контактировании с полиимидной поверхностью, содержащий соляную кислоту и растворитель, отличающийся тем, что, с целью повышения избирательности травильного раствора к системе медь-полиимид, он дополнительно содержит перекись водорода, а в качестве растворителя диметилформамид при следующем соотношении компонентов, об.ч.:Диметилформамид - 2,0 - 6,0Соляная кислота ( = 1,19 г/см3) - 1,0 - 3,0Перекись водорода (30 - 35%-ная) - 0,2 - 0,8

Номер патента: 1122756

Опубликовано: 07.11.1984

Авторы: Дружаева, Корнев, Наумов, Чубарова

МПК: C23G 1/14

Метки: коррозионностойких, раствор, сплавов

...поверхности после очистки, к наличию ионов щелочных металлов на поверхности. Этотсостав содержит значительно большегидроксидов щелочных металлов, способных пассивировать поверхностьподложки из сплавов на Ре-Я-Сг основе Г 23.еНедостатком раствора является то, что растворы, содержащие большое количество щелочных металлов Иаф, отрицательно влияют на электрические характеристики микроэлектронных устройств. Большая концентрация активно воздействующих на полированную поверхность веществ приводит к коррозии в местах расположения металлургических дефектов (пор, неметаллических включений и т.д.).Целью изобретения является повьюпение качества очистки поверхности.2756 4Приготовление раствора осуществляется следующим образом.Навеску...