C23C 16/30 — осаждение соединений, смесей или твердых растворов, например боридов, карбидов, нитридов
Графитовый тигель для получения монокристаллов карбида кремния
Номер патента: 136564
Опубликовано: 01.01.1961
МПК: C23C 16/30
Метки: графитовый, карбида, кремния, монокристаллов, тигель
...5 за 196 г.Осуществление способа получения монокристаллов карбидов кремния кристаллизацией из расплава кремния затрудняется отсутствием подходящего матернала тигля для расплавления кремния, Кварцевые тигли при перегреве, необходимом для выращивания монокристаллоз карбида кремния, размягчаются, что вызывает выбросы кремния; тигли даже из графита высокой плотности пропускают кремний,Описываемый способ подготовки графитового тигля позволяет использовать последний для выращивания монокристаллов карбида кремния. Сущность способа заключается в том, что графитовый ти;ель подвергают нагреву до 1000 - 1200 в атмосфере предельных углеводородов, например в атмосфере гептана, в результате чего поверхность тигля и внутри и снаружи покрывается...
Способ нанесения покрытия, содержащего оксид алюминия и карбид вольфрама
Номер патента: 1731763
Опубликовано: 07.05.1992
Авторы: Вагнер, Вейтц, Вестфаль, Виганд, Ильген, Меллер, Резлер
МПК: C04B 41/85, C23C 16/30
Метки: алюминия, вольфрама, карбид, нанесения, оксид, покрытия, содержащего
...твердого сплава наносились один или несколько промежуточных слоев,55 Для согласования свойств комбинированного слоя с поверхностью, на которуюнаносится покрытие, с выравнивающим переходом в некоторых случаях целесообразно, чтобы составные части паровой средыдля изготовления комбинированного слояокиси алюминия - карбида вольфрама во время процесса нанесения покрытия количественно изменялись внутри указанных диапазонов.Способ для изготовления слоев окиси 5 алюминия, содержащих СОг, карбид вольфрама, выполняется в зависимости от количественной доли СО 2 в реакционной среде по различным уравнениям реакции.СОг+ Нг СО+ Н 20; 10ЧЧС 6+ ЗН 2 ЭЧЧ+ 6 НС;2 А С 3 + 3 Н 20. А 20 з + 6 Н С.При содержании С 021-5 об.происходит следующая реакция:СО 2+ Н...