C08G 47/08 — C08G 47/08

Номер патента: 493488

Опубликовано: 30.11.1975

Авторы: Богданова, Грибов, Григос, Звездочкин, Зиновьев, Козыркин, Миронов, Печурина

МПК: C08G 47/08

Метки: пленкообразующего, раствора

...СЦ- :,ообрдзующсго раствора оцрсдслсццое коли- ЧССТБО ООПООРГЯЦИЧССгОГО СОС;ИЦСИИ 5 Р/)СТВО- Я) .5 ИОТ Б ВО;ЦО-СПИЭТОБОЙ СМССЦ И;ОйсВ,15 К)Г С 001 БСТСТВ; ЮцИЙ ОбьсМ гсТра Э ГОКСИСИ, И.Сйвмссгиьи и;ц)олиз тстрдэОкеСи,Яц ц О ййЭГДИИ /)СКОГО СОС ИЦС.И Ц 51 13 ВОДНО-СЦЦР ОБОИ РСДС ПРИВОДИ Е 10)М, ст С)РДЛ) й:П 51 ЗЗ грод)кть их пдролизд химически свялывдютя между собой, обссисчивая иостояцство сотошеня 00)3 ц )СЭПця Б )асБо/эс. -) о дает возможность получать боросодсрждщце Пленки - источники диффузии бора с точно ,) задашой копцентрацисй.Осаждение пленок из такого ооркремипйор/ацического раствора осуществляется методом цситрфугировян/я. П,1 снки Осякдяютс 51 ия поверхность кремневых иласпн и Подвергк)т;; срмообраопсе н воздухе ирц 200 250 С...