C07C 309/75 — содержащие атомы кислорода с простыми связями, присоединенные к углеродному скелету

Способ получения сложных эфиров а метилолбензоинсульфокислоты

Загрузка...

Номер патента: 335831

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Ганс, Иностранна, Иностранцы, Федеративна

МПК: C07C 309/68, C07C 309/75

Метки: метилолбензоинсульфокислоты, сложных, эфиров

...льда и 2 н. соляной кислоты и разделяют. Т. пл. 131,5 - 133 С (хлористый метилен/петролейный эфир), выход 89,5 г (45%от теории),Найдено, %: С 66,7; Н 4,90; О 20,2; 5 8,10.С 2 аН 2 о 055.Вычислено, /,: С 66,6; Н 5,05; О 20,2; 8 8,07,Мол. вес 396.П р и м е р 2. Сложный эфир а-оксиметилбензоинбензолсульфокислоты. Согласно при меру 1 процессу этерификации подвергают 121 г(0,6 моль) пиридина с прибавкой 300 мл бензола подвергают этерификации. Т. пл. 111 -112 С (этанол), выход 116 г (72% от теории).Найдено, о/о: С 60,0; Н 4,96; С 25,2; 8 9,9.СыНы 055.Вычислено, /о. С 60,0; Н 5,0; О 25,0; 5 10,0.Мол. вес 320.П р и м е р 4, Сложный эфир а-оксиметилбензоин-Р-нафталинсульфокислоты. Согласнопримеру 1 55,6 г (0,23 моль) а-оксиметилбензоина с 82 г...

Сульфоэфир 1, 2-нафтохинондиазида и оксибензоилбензофенона в качестве светочувствительного компонента позитивного фоторезиста

Загрузка...

Номер патента: 1825362

Опубликовано: 30.06.1993

Авторы: Манько, Селиванов, Фирсов, Фролов

МПК: C07C 309/75, G03F 7/022

Метки: 2-нафтохинондиазида, качестве, компонента, оксибензоилбензофенона, позитивного, светочувствительного, сульфоэфир, фоторезиста

...и м е р 2. Используют в качестве светочувствительного компонента диэфир 1,2-нафтохинондиаэида (2), 5-сульфокислоты и 2,4 диоксибензоил-бензофенона общей формулыОо0 С где г)= 2оОсОв котором отношение числа нафтохинондиаэиных групп в молекуле к числу гидроксильных групп 2;О.Приготавливают композицию позитивного фоторезиста следующего состава,;6;25,5 Контраст у оценивают по известной методике с построением характеристической кривой - зависимости толщины проявленной пленки фотарезиста ат дозы экспонирования по формуле: Светочувствительныйкомпонент 9,5 Плен кообразующийкомпонент - трикрезолформальдегидная смолаСф Растворитель - диметиловыйэфир диэтиленгликоля 65 Фоторезист фильтруют через мембранный фильтр с размером пор 0,2 мкм, методом...