Патенты с меткой «2-нафтохинондиазида»
Сульфоэфир 1, 2-нафтохинондиазида и оксибензоилбензофенона в качестве светочувствительного компонента позитивного фоторезиста
Номер патента: 1825362
Опубликовано: 30.06.1993
Авторы: Манько, Селиванов, Фирсов, Фролов
МПК: C07C 309/75, G03F 7/022
Метки: 2-нафтохинондиазида, качестве, компонента, оксибензоилбензофенона, позитивного, светочувствительного, сульфоэфир, фоторезиста
...и м е р 2. Используют в качестве светочувствительного компонента диэфир 1,2-нафтохинондиаэида (2), 5-сульфокислоты и 2,4 диоксибензоил-бензофенона общей формулыОо0 С где г)= 2оОсОв котором отношение числа нафтохинондиаэиных групп в молекуле к числу гидроксильных групп 2;О.Приготавливают композицию позитивного фоторезиста следующего состава,;6;25,5 Контраст у оценивают по известной методике с построением характеристической кривой - зависимости толщины проявленной пленки фотарезиста ат дозы экспонирования по формуле: Светочувствительныйкомпонент 9,5 Плен кообразующийкомпонент - трикрезолформальдегидная смолаСф Растворитель - диметиловыйэфир диэтиленгликоля 65 Фоторезист фильтруют через мембранный фильтр с размером пор 0,2 мкм, методом...