Байганатова

Номер патента: 1650798

Опубликовано: 23.05.1991

Авторы: Антощенко, Байганатова, Таурбаев

МПК: C30B 19/06

Метки: жидкофазной, эпитаксии

...внутренней поверхности фильеры выполнено углубление, образующее с горизонтально острый угол. 4 ил. меру 6 и камеру 7 роста. Дном камеры 7 роста служит подложкодержатель 8 с размещенной в его углублении подложкой 9, Поршневая камера б и камера 7 роста сообщаются между собой при помощи фильеры 10, выходное отверстие которой выполнено в виде горизонтальной щели 11. На внутренней поверхности фильеры 10 выполнено углубление 12, образующее острый угол к горизонтали по всей ширине камеры 7 роста. Под подложкодержателем 8 размещена емкость 13 для отработанного расплакости 2 контеинера 1 поме мое количество расплавов, а подложкодержателя 8 - подл гомогениэации расплава при эпитаксии первый расплав с1650798ния подложки, что дополнительно...