Патенты с меткой «токопроводящих»
Страница 9
Способ изготовления пленочных токопроводящих дорожек
Номер патента: 1725701
Опубликовано: 20.02.2000
Авторы: Бочвар, Гликман, Ильин, Лысова, Пиннекер, Старостина
МПК: H01L 21/28
Метки: дорожек, пленочных, токопроводящих
Способ изготовления пленочных токопроводящих дорожек, включающий напыление сплава алюминия с марганцем, литографию, травление, отличающийся тем, что, с целью увеличения срока службы токопроводящих дорожек за счет повышения их стойкости к электродеградации и улучшения качества их поверхности, в качестве сплава используют следующий, ат.%: марганец 17, алюминий - остальное.