Способ изготовления пленочных токопроводящих дорожек

Номер патента: 1725701

Авторы: Бочвар, Гликман, Ильин, Лысова, Пиннекер, Старостина

Описание

Способ изготовления пленочных токопроводящих дорожек, включающий напыление сплава алюминия с марганцем, литографию, травление, отличающийся тем, что, с целью увеличения срока службы токопроводящих дорожек за счет повышения их стойкости к электродеградации и улучшения качества их поверхности, в качестве сплава используют следующий, ат.%: марганец 17, алюминий - остальное.

Заявка

4787563/25, 01.02.1990

Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов АН СССР

Бочвар Н. Р, Гликман Е. Э, Ильин А. И, Лысова Е. В, Пиннекер В. Э, Старостина Е. А

МПК / Метки

МПК: H01L 21/28

Метки: дорожек, пленочных, токопроводящих

Опубликовано: 20.02.2000

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1725701-sposob-izgotovleniya-plenochnykh-tokoprovodyashhikh-dorozhek.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления пленочных токопроводящих дорожек</a>

Похожие патенты