Патенты с меткой «оже-спетрометрах»

Номер патента: 1675968

Опубликовано: 07.09.1991

Автор: Пенский

МПК: H01J 49/00

Метки: ионной, оже-спетрометрах, пушек, совместной, электронной, юстировки

...штоке образца. Образец экспонируют втечение 40 мин под ионным пучком аргона(Аг ), при этом режим работы ионной пушкиследующий; энергия пучка Ч = 4 кэВ, ток 50эмиссии 10 мкА, диаметр пучка 35 мм, а вкачестве газа используют спектрально чистый аргон.Затем образец в течение 6 мин обрабатывают в смеси метилэтилпенкетона и изопропанола (3:1), в результате чего наповерхности образуется рельефный следпучка ионной пушки (фиг, 2).На образец наносят сцинтиллирующийслой окиси цинка (фиг, 3) и последующей обработкой в указанной выше смеси в течение 7 минут добиваются локализации сцинтиллиоующего слоя окиси цинка только на месте следа ионной пушки. Далее образец вводят повторно в камеру анализа на то же место, что и в первый раз с...