Патенты с меткой «оксинитрида»

Номер патента: 254492

Опубликовано: 01.01.1969

Авторы: Балткаула, Вайвр, Гкова, Институт, Миллер

МПК: C01B 21/097

Метки: оксинитрида, фосфора

...путем введения в жидкий аммиак оксихлорида фосфора с последующим нагреванием смеси с целью удаления аммиака и хлористого аммония и выдерживанием продукта при температуре 500 в 5 С в течение нескольких дней под давлением ниже 1 ты рт. ст.С целью получения кристаллического продукта и упрощения способа предлагается в качестве хлорсодсржащего соединения фосфора использовать пятихлористый фосфор, в качестве же соединения аммиака - хлористый аммоний. После смешения реагентов смесь выдсржива 1 от цри температуре 925 - 950 С в окислитсльцой атмосфере, а затем при температуре 750 - 800 С в атмосфере аммиака. Молярцос соотношение компонентов в смеси должно быть в пределах 1: 1.75 - 1: 2,75,П р и м с р. Смесь, содержащую 80 г пяти-...

Номер патента: 1630570

Опубликовано: 20.05.2000

Авторы: Волков, Логвинский, Мараховка, Парм, Соловьев

МПК: H01L 21/318

Метки: кремния, оксинитрида, слоев

Способ получения слоев оксинитрида кремния, включающий очистку полупроводниковой подложки, плазмохимическое осаждение слоев из смеси газов моносилан, аммиак и закись азота на нагретую подложку, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества диэлектрика за счет уменьшения электропроводности и повышения электрической прочности, плазмохимическое осаждение слоев ведут при активации высокочастотным разрядом смеси аммиака и закиси азота при соотношении газовых потоков 0,075 - 0,15 и удельной мощности высокочастотного разряда 5 - 10 Вт/см3, а подложку нагревают до 90 - 250oC.