Патенты с меткой «оксидохромовых»

Номер патента: 1708921

Опубликовано: 30.01.1992

Авторы: Левин, Слушков

МПК: C23C 16/40

Метки: нанесения, оксидохромовых, покрытий, состав

...пленок.П р и м е р. 2, В качестве исходного металлорганическогд соединения используют бис-этилбензолхром и многоатомный спирт в процентном соотношении 16,5:83,5, который подают из дозатора в камеру металлизации со скоростью 1-1,5 мкм/мин, Температура нагрева подложек 420 С. Температура испарения смеси 210"С, давление в камере металлизации 10-2 мм рт.ст. Количество кислорода, поступающего в камеру, 0,3 смз/мл (10 об.).При таких условиях получают пленку с неустойчивыми электрическими свойствами, адгезия к подложке ухудшается. ление в камере метаялизации 10- мм рт. ст. Количество кислорода, поступающего в камеру, 0,5 смз/мл.При таких соотношениях при осаждении получают пленку с удельнь 1 м сопротивлением ) = 10 - 10 1 Ом фсм....

Номер патента: 1765254

Опубликовано: 30.09.1992

Авторы: Пухин, Слушков, Смирнов

МПК: C23C 16/40

Метки: диэлектрических, оксидохромовых, парогазовая, покрытий, смесь, цвета, черного

...компонентов, три из которых показали оптимальные результаты.1, На вращающийся столик рабочей камеры устанавливают изделие - алюминиевый цилиндр. Из камеры с помощью вакуумнасоса откачивают воздух, термостатируют, нагревая изделие до 400 С, затем на внутреннюю поверхность изделия подают со скоростью 2-3 мл/мин парогазовую смесь, состоящую из следующих компонентов, мас. :Хромоорганическаяжидкость "Бархос" 44Этиленгликоль 50Барная кислота 6После тридцатиминутной подачи парогазовой смеси на внутренней поверхности изделия нанесено оксикарбидо-хромовое покрытие толщиной 15 мкм с 97-98 коэффициентом диффузного светопоглощения, микротвердостью до 1700 кГ/мм электросопротивлением до 1109 Ом/см, выдерживающим напряжение 300 В и не...