Патенты с меткой «оксидной»

Номер патента: 682055

Опубликовано: 10.04.2001

Авторы: Бредихин, Ломакина, Милешко, Чистяков

МПК: H01L 21/469

Метки: кремния, легирования, мышьяком, оксидной, пленки, электролит

Электролит для легирования окисной пленки кремния мышьяком, содержащий азотную кислоту и этиленгликоль, отличающийся тем, что, с целью повышения воспроизводимости результатов легирования и увеличения срока годности электролита, дополнительно он содержит ортомышьяковую кислоту, а компоненты взяты в следующем соотношении, об.%:Азотная кислота (уд. вес 1,40 г/см3) - 4 - 5Ортомышьяковая кислота (уд. вес 2,26 г/см3) - 0,5 - 10Этиленгликоль - Остальное

Номер патента: 527989

Опубликовано: 10.04.2001

Авторы: Бредихин, Милешко, Селиванова

МПК: H01L 21/306

Метки: кремния, легирования, оксидной, пленки, фосфором, электролит

Электролит для легирования оксидной пленки кремния фосфором, содержащий ортофосфорную и азотную кислоты, отличающийся тем, что, с целью улучшения свойств легированной пленки, в его состав введен этиленгликоль в качестве основного растворителя при следующем соотношении компонентов, об.%:Ортофосфорная кислота (уд. вес 1,68 г/см3) - 1 10-4 - 10Азотная кислота (уд. вес 1,40 г/см3) - 1 10-2 - 5 10-1Этиленгликоль - Остальное

Номер патента: 599667

Опубликовано: 10.04.2001

Авторы: Бредихин, Волкова, Милешко, Палиенко, Чистяков, Шкиров

МПК: H01L 21/306

Метки: кремнии, легированной, оксидной, пленки, электролит

Электролит для получения легированной оксидной пленки на кремнии, содержащий этиленгликоль, борную и азотную кислоты, отличающийся тем, что, с целью улучшения свойств легированной оксидной пленки как источника диффузии для формирования слоев p-типа в кремнии, в его состав дополнительно введена ортомышьяковая кислота при следующем соотношении компонентов, мас.%:Борная кислота - 5 - 15Азотная кислота (уд. вес 1,40 г/см3) - 0,1 - 0,3Ортомышьяковая кислота (уд. вес 2,26 г/см3) - 0,001 - 0,01Этиленгликоль - Остальное

Номер патента: 1720250

Опубликовано: 27.01.2010

Авторы: Аникин, Кабалдин, Ковалев, Мокрицкий

МПК: C04B 35/10

Метки: керамики, оксидной, пластин, режущих

Способ изготовления режущих пластин из оксидной керамики, включающий формование, обжиг, окончательное спекание, механическую обработку и получение мягкого, металлического слоя толщиной 1 мкм, методом ионной бомбардировки, отличающийся тем, что, с целью повышения работоспособности пластин, мягкий слой получают последовательным нанесением ниобия и циркония при следующем соотношении толщины, мкм: Ниобий0,2-0,5 Цирконий 0,8-0,5 при температуре разогрева пластин 700-900°С.

Номер патента: 1642692

Опубликовано: 10.04.2010

Авторы: Аникин, Верещака, Григорьев, Кабалдин, Ковалев, Мокрицкий

МПК: C04B 35/10

Метки: керамики, оксидной, пластин, режущих

Способ изготовления режущих пластин из оксидной керамики, включающий формирование полуфабриката, обжиг, обработку поверхности ионами, окончательное спекание и механическую обработку, отличающийся тем, что, с целью повышения работоспособности пластин, обработку ионами осуществляют насыщением ионов азота и алюминия.