Патенты с меткой «микрозондовый»

Номер патента: 443292

Опубликовано: 15.09.1974

Авторы: Бабад-Захряпин, Борисов

МПК: G01N 23/20

Метки: анализатор, микрозондовый, рентгеновский

...излучаемой регистрируемым элементом.На чертеже приведена схема предложенного рентгеновского микроанализатора.Перед выполнением анализа в ,вакуумной камере 1 вместо образ.ца 2 устанавливается эталонный образец. В эталанном образце под воздействием электронного пучка возбуждается рентгеновское характеристическое излучение, на определенную длину волны которого настраивается ручкой 3, либо мотоомкристалл-анализатор 5 и деектор б так чтобы интенсиметр 7 и самописец 4 регистрировали максимальную интенсивность, фиксируеМую детектором б. После этого эталонный образец заменяется иссле дуемым образцом. Включается систе ма, состоящая из усилителеИ 9 и 10, блока 11 сравнения сигналоз, индикатора разбаланса 12, системы реле 15, при этом система реле...

Номер патента: 1605288

Опубликовано: 07.11.1990

Авторы: Вайсберг, Доля, Кузема, Лялько, Овчаренко, Огенко, Павленко, Савин

МПК: H01J 49/30

Метки: анализатор, ионный, микрозондовый

...15 составляет .2000 эВ, В качестве энерго- анализатора может быть применен цилиндрический конденсатор с параметрами: гр = 300 мм, ф = 63,5 . Напряожение ца пластинах 1440 В. В качестве масс-анализатора 17 может быть использовано секторц )е однородное магнитное поле с параметрами; г, = 300 мм, Аз 300 мм,Ц=45 . Напряженность магнитного поля в зазоре магнита масс - анализатора Н = 10000 Э. Ширина селекторной диафрагмы 16 регулируется н пределах 0-2 мм, При ширине пятна, с которого эмиттируются вторичные ионы, равной 5 мкм, разбросе энергий ионов ДБ = 10 эВ и энергии ионного пучка, поступающего в масс-анализатор, Ц - 2000 эВ масс-спектральное разрешение системы сбора и анализа вторичныхНионов -- = 4000, а диапазон массДш1 - 3100...