H01J 39/40 — H01J 39/40

Номер патента: 672672

Опубликовано: 05.07.1979

Авторы: Кузьмин, Либман, Малеев, Цымберов

МПК: H01J 39/40

Метки: анализатор, магнитный, масс-спектрометра

...напряженностей магнитного поля в пределах рабочей ионной траектории, Требуемаяпараллельность в данном случае достигается точностью изготовления деталей магнита и правиль.б 72672между торцами подвижной и неподвижной частей ь. диполя, незначительно увеличивает магнитные поь терн устройства. Расчет и эксйериментальиые исследования возможных влияний магнитных по.терь в зазоре М показали, что величина потерьявляется несущественной и влияния иа топогра го, фию магнитного поля в рабочем зазоре не ока. б- зывает.Испытания показали, что с помощью регули 1 о ровки можно получить требуемую по расчету однородность магнитного поля, соответствующуюзаданной разрешающей способности масс-спектрометра в поле магнита,иПостоянныи магнит для...

Номер патента: 708437

Опубликовано: 05.01.1980

Авторы: Ольховский, Черепин

МПК: H01J 39/40

Метки: ионно-эмиссионный, микроскопмикроанализатор

...увеличенное изображение отверстия в катоде, при включенной системе развертки выводитна это отверстие интересующий участокструктуры для осуществления локального анализа,На чертеже схематически изображенпредложенный ионно-эмиссионный микроскоп-микроанализатор.Внутри вакуумной камеры по осирасположены аксиально-симметричнаяэлектростатическая оптическая система 1 с отклоняющей системой 2,ионно-электронный преобразователь 3,анализатор 4 масс и детектор 5 ионов.ИОнно-электронный преобразователь 3 20содержит катод 6,выполненный с отверстием 7, размер которого равен разрешаемому расстоянию на поверхностиобразца, умноженному на ионно-оптическое увеличение в плоскости катода р 5преобразователя, анод 8, фокуснруЮщий электрод 9 и область 10...