Патенты с меткой «микрополости»

Номер патента: 345639

Опубликовано: 01.01.1972

Автор: Чесноков

МПК: H05K 3/00

Метки: герметизированной, микрополости

...в вакууме через трафарет, наносят буферный материал 2 в количестве и конфигурации, соответ ствующих объему и конфигурации микрополости. Затем на всю подложку с участками буферного материала наносят сплошной герметизирующий слой 3, Коэффициент диффузии буферного материала в материал герме тизирующего слоя должен быть больше коэффициента обратной диффузии.Полученную систему нагревают до температуры, при которой заметна диффузия буферного материала 2 в толщу герметизирую щего слоя 3. В результате диффузии буферного материала на местах его нанесения образуются полости 4 (фиг. 2). Материал вокруг полости 4 - слой 5 оказывается обогащенным буферным материалом 2. Так как 20 количество и состав газов, заполнивших полость 4, зависит от...

Номер патента: 383118

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Гилев, Мурин

МПК: H01L 21/48

Метки: микрополости, образования, твердом, теле

...селективного удаления основного материала в местах, незащищенных контактной маской. 25Предлагаемый способ позволяет упростить технологию, повысить производительность процесса, повысить точность геометрических размеров и повысить чистоту поверхности микро- полости. Для этого контактную маску наносят 30 На подложку 1 (см. чертеж) наносят то- кую пленку материала маски 2. Методом фотолитографии или любым другим способом, имеющим необходимое разрешение, вырезают окна 3 в материале маски. Подложку с маской нагревают в вакууме до температуры, при которой имеет место сублимация материала подложки, и выдерживают при этой температуре для испарения необходимой толщины материала подложки. После удаления материала маски химическим травлением...