Патенты с меткой «меры»

Номер патента: 921385

Опубликовано: 07.11.1991

Авторы: Бабаджанов, Оксанич, Спектр, Тузовский, Шаповал

МПК: H01L 21/66

Метки: меры, образцовой, полупроводниковых, слоев, толщины

...низкая долгове ность меры, обусловлен н ая возмок ность ю от клеи вания пластины от подложки е процессе эксплуатации,ааеВЦелью изобретения является повышение точности воспроизведения толщины и долговечности образцовой меры.Цель достигается тем, что в известном способе изготовления образцовой меры толщины полупроводниковых слоев, основанном на шлифовке и полировке плас;ины из полупроводникового материала до получения номинальной толщины, пластину из921385 Техред М,Моргентал Редактор О. Юркова Корректор Т. Палий Заказ 4637 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 готавливают...

Номер патента: 1705750

Опубликовано: 15.01.1992

Автор: Тешев

МПК: G01R 19/00

Метки: меры, многозначной, формирования

...(2) на выходе исокочастотного детектора появляется сигнал, состояг 1 ий из сумми постоянной составляющей, пропорциональной амплитуде несущего колебания и переменной составляющей, пропорциональной огибающей сигнала (2)Ьд =КК 11 а 1+КК П 11 со з( Г . (3) Сигнал (3) подается на вход Фильтра верхних частот 9. С выхода Фильтра верхних частот 9 переменная составляющая сигнала (3) подается на низкочастотный детектор 10. После детектирования этого сигнала постоянная составляющая величиной Е К,11 поступает на первый вход блока срапения 11. На второй вход блока сравнения 11 с первого вихода блока опорного напряжения 12 подается сигнал величинойкоторый устанавливается равнымПосле сравнения сигналов в блоке 11 сигнал онибки с выхода блока 11...

Номер патента: 1753394

Опубликовано: 07.08.1992

Авторы: Агапов, Поздняков, Учанин

МПК: G01N 27/90

Метки: меры, неразрушающего, поверки, приборов

...операций калибровка завершена, прибор откалиброван в двух точках рабочего диапа эона, После этого поверяют прибор в произвольно выбранной, например, средней точке рабочего диапазона контроля, Для этого выбирают иэ первоначально набранной совокупности поверочный обра зец, для которого показания прибора, полученные при первичном контроле, лежат, например, в середине диапазона измеЗатем подвергают контролю выбранный поверочный образец при помощи прибора уже предварительно откалиброванного в двух точках рабочего диапазона контроля; записывают показания индикатора прибора для выбранного поверочного образца, после чего разрушают поверочный образец и измеряют методами непосредственного контроля значение контролируемого параметра для этого...

Номер патента: 1778513

Опубликовано: 30.11.1992

Автор: Цейтлин

МПК: G01B 11/02

Метки: линий, меры, ширины

...- 80 нм. При допустимой погрешностимеры 5% ширина линий никеля не должна, быть меньше 0,8 мкм,Таким образом, недостатками известного способа являются низкая точность ибольшая дискретность изготовляемой меры.Целью изобретения является повышение точности и уменьшение дискретностимеры,Указанная цель достигается тем, чтокаждый последующий образуемый слой выполняют с меньшей длиной, чем предыдущий так, что концы слоев меры образуютступенчатую структуру, а аттестацию мерыосуществляют по высоте этих ступеней,Сравнение заявляемого решения с другими техническими решениями показывает,что изготовление открытых ступенчатых аттестуемых структур известно в мерах толщины покрытий. Однако введение этихэлементов в укаэанной связи с остальнымиэлементами...

Номер патента: 1489351

Опубликовано: 10.01.1996

Авторы: Иноземцев, Куликов, Федорец

МПК: G01M 11/02

Метки: меры, поверки

СПОСОБ ПОВЕРКИ МЕРЫ в виде системы параллельных полос с постоянным периодом для калибровки увеличения и систем позиционирования оптических и электронных микроскопов, включающий облучение меры волной с волновым вектором, нормальным полосам меры, и измерении характеристик волны после ее взаимодействия с мерой, отличающийся тем, что, с целью удешевления поверки за счет использования радиотехнических методов, облучение меры производят поверхностной акустической волной релеевского типа, а в качестве измеряемых характеристик волны после ее взаимодействия с мерой используют верхнюю fв и нижнюю fн частоты режекции, при этом о периоде меры судят по величине ,...