Патенты с меткой «хтги»

Номер патента: 408509

Опубликовано: 15.04.1974

Авторы: Вервыка, Кузнецов, Левинзон

МПК: C30B 25/02, C30B 29/08

Метки: изобретения(ц)408509, хтги

...эпитаксиального слоя толщиной 0,1 - 1 мкм не по зволяет возвитать бугоркам, запечатывая дефекты подложки, и препятствует образованиео микросплавов, возевикающих до начала эпитаксиального роста при взаимодействии с запрязнениями подложки, газов и применяе мых материалов.Пример 1. Способ испытан на опытно- промышленных установках.При испытаниях наракцивают слои толщиной 150 мкм со скоростью 0,7 мкм/мин на 30 германиевых подложках р-типа проводимости с удельным сопротивлением 0,75 ом см, ориентированных в направлении 111 Ц, диаметром 28 мм. Окончательная обработка поверхности подложек - алмазная полировка. Перед наращиванием подложками травят газообразным хлористым водородом.Наращивают:слой толщиной 1,0 мкм при 780 С, а затем...