Патенты с меткой «интегральные»
Способ диффузии в кремниевые полупроводниковые приборы и интегральные микросхемы
Номер патента: 1400387
Опубликовано: 30.06.1994
МПК: H01L 21/324
Метки: диффузии, интегральные, кремниевые, микросхемы, полупроводниковые, приборы
СПОСОБ ДИФФУЗИИ В КРЕМНИЕВЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ И ИНТЕГРАЛЬНЫЕ МИКРОСХЕМЫ, включающий диффузию фосфора с последующим отжигом при понижении температуры до 650oС, отличающийся тем, что, с целью улучшения электрофизических параметров за счет снижения концентрации генерационно-рекомбинационных центров, отжиг проводят при понижении температуры от температуры диффузии со скоростью 2 - 4 град/мин.