Патенты с меткой «экспони-рования»

Способ электронно-лучевого экспони-рования диэлектрических обектов

Загрузка...

Номер патента: 803044

Опубликовано: 07.02.1981

Авторы: Ванников, Гришина, Заумыслов, Иванов, Смоляницкий

МПК: H01J 37/02

Метки: диэлектрических, объектов, экспони-рования, электронно-лучевого

...электронным лучом,Цель изобретения - упрощение технологического процесса и обеспечение сохранностиобъекта,Укаэанная цель достигается тем, что в кчестве проводящего слоя используют органические полупроводники,Э 1 Слой нан ойСоставитель В. ГаврюшинТехред А. Бабинец Корректор Г. Назарова Редактор М. Стрельникова Тираж 795 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб д. 4/5(полимер) выбирают нз условий, при которыхнанесенный слой сообщает диэлектрическомуобьекту поверхностную проводимость на уровне 10сим/см, а растворитель полимеране растворяет вещество объекта, После сушкиобъект на несколько часов помещают в рабочую камеру электроннолучевой установки,проводящую...