Патенты с меткой «экспони-рования»
Способ электронно-лучевого экспони-рования диэлектрических обектов
Номер патента: 803044
Опубликовано: 07.02.1981
Авторы: Ванников, Гришина, Заумыслов, Иванов, Смоляницкий
МПК: H01J 37/02
Метки: диэлектрических, объектов, экспони-рования, электронно-лучевого
...электронным лучом,Цель изобретения - упрощение технологического процесса и обеспечение сохранностиобъекта,Укаэанная цель достигается тем, что в кчестве проводящего слоя используют органические полупроводники,Э 1 Слой нан ойСоставитель В. ГаврюшинТехред А. Бабинец Корректор Г. Назарова Редактор М. Стрельникова Тираж 795 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб д. 4/5(полимер) выбирают нз условий, при которыхнанесенный слой сообщает диэлектрическомуобьекту поверхностную проводимость на уровне 10сим/см, а растворитель полимеране растворяет вещество объекта, После сушкиобъект на несколько часов помещают в рабочую камеру электроннолучевой установки,проводящую...