Патенты с меткой «409631»

Номер патента: 409631

Опубликовано: 05.09.1974

Авторы: Акимов, Логунов, Цырлин

МПК: H01L 21/443

Метки: 409631

...(10 - 30) к поверхности диэлектрика, причем направление потока атомов распыляемого металла перпендикулярно к образующей ступенек в слое диэлектрика, а толщина напыленного слоя не превышает высоту последних.При напылении металл наносят лишь на поверхности, образующие положительные углы с направлением напыления, а именно, на внешнюю поверхность рельефа, передние склоны канавок и примыкающие к ним участки оснований последних. Задние склоны канавок, образующие с направлением напыления отрицательный угол, и экранируемые ими участки оснований канавок, остаются непокрытыми металлом, в результате чего между электродами образуются зазоры субмикронных размеров, величина которых определяется высотой ступенек и углом напыления.5 Предлагаемый способ...