Патенты с меткой «340129»

Номер патента: 340129

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Иностранна, Иностранцы, Роберт, Соединенные

МПК: C23C 14/00, C23C 14/02, C23C 14/58 ...

Метки: 340129

...из тунгстена или в другой подходящий сосуд, оснащенный устройством для нагрева лодочки 10 и подложки, на которой конденсируется тонкая пленка.В качестве подложки используют тонкополированную пластину, например, из стекла или кварца, которую предварительно тщатель но очищают, например, промывкой в слабомкислом растворе, а затем - в дистиллированной воде и высушивают в струе инертного газа. Атмосферу колпака разрежают до давления 10 -мм рт. ст.20 Подложку нагревают до температуры 350 С,а лодочку с пятиокисью ванадия - до температуры 650 С. Пятиокись ванадия, испаряясь, осаждается на установленной подложке. Подложку с отложенной на ней тонкой пленкой 25 пятиокиси ванадия удаляют из испарительного колпака и помещают в другой колпак....