Патенты с меткой «162740»

Номер патента: 162740

Опубликовано: 01.01.1964

МПК: C03C 17/22, C03C 17/36, C23C 14/14 ...

Метки: 162740

...соединений, например арсенида галлия, нитридом алюминия,Наиболее распространенным материалом для контейнеров, применяемых для металлургической обработки полупроводниковых материалов, в том числе арсенида галлия, является чистый кварц. Известны также контейнеры из нитрида алюминия, изготовленные методами порогнксвой технологии.Отличие предлагаемого способа заключается в том, что на контейнеры из кварца сначала наносят напылением в вакууме слой алюминия, а затем нанесенный слой подвергают азотированию нагреванием в атмосфере азота нли аммиака,В результате на контейнере образуется плотная инертная пленка нитрида алюминия высокой степени чистоты, исключающая загрязнение полупроводниковых материалов гримесями из контейнера....