Устройство для контроля и сортировки полупроводниковых изделий

Х 07 С 5/344/ 1 Ь 21/6 0 ПИСАНИС ИЗ 0 БЕЕТН АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Я(56).кл. В ол и- Я аГОСУДАРСТВЕНКЫЙ КОМИКИ ОССдо делАм иэовщтений и о едыти 9 3980553, 76.(54)(57) 1, УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ И СОРТИРОВКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ, ИЗДЕЛИЙ, содержащее привод, механизм подачи изделий, измерительную пози цию, блок управления, транспортирующий ротор с равномерно располо женными на его периферии несущими органами,.установленными с возможностью взаимодействия с приводными фиксаторами, и сортировочный ме низм с электромагнитами и накопителями рассортированных изделий,о т л и ч а ю щ е е с я тем, что,с целью повышения производительности за счет одновременного измерения нескольких изделий, оно имеетдополнительные измерительные позиции,равномерно расположенные вокруг ротора, каждый несущий орган имеет ползун с базовыми роликами, шарнирносоединенный кривошипно-шатунным механизмом, ротор имеет кольцевую направляющую для размещения базовыхродиков ползунов, механизм возврата несущих органов в исходное положение и копир управления фиксаторс пазами по числу измерительных изицнй, а каждая измерительная позция имеет контактныймеханизм и приводной упор для контакта с несущимиорганамн.С:1028388 2. Устройство по п. 1, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что механизм возврата несущих органов в исходное положение выполнен в виде установленного соосно ротору с возможностью возвратно-поступательного перемещения толкателя и размещенных на ротоИзобретение относится к контрольно-сортировочной технике и может быть использовано для сортировки полупроводниковых иэделий, например стабилитронов.Известно устройство для контроля и сортировки полупроводниковых изделий, содержащее привод, механизм подачи изделий, измерительную позицию, блок управления, транспортирующий ротор с равномерно расположенными пс его периферии несущими органами, установленными с возможностью взаимодействия с приводными фиксаторами, и сортировочный механизм с электромагнитами и накопителями рассортированных изделий 1 . Недостатком этого устройства является его невысокая производительность в случае длительного времениизмерения.Цель изобретения - повышение производительности эа счет одновременного измерениянескольких изделий.Указанная цель достигается"тем,что устройство, содержащее привод,механизм подачи изделий, измерительную позицию блок управления, транспортирующий ротор с равномерно расположенными на его периферии несущими органами, установленными с возможностью взаимодействия с приводными фиксаторами, и сортировочныймеханизм с электромагнитами и накопителями рассортированных изделий,имеет дополнительные измерительныепозиции, равномерно расположенныевокруг ротора, каждый несущий орган.имеет ползун с базовыми роликами,шарнирно соединенный с кривошипношатунным механизмом, ротор имееткольцевую направляющую для размещения базовых роликов ползунов, механизм возврата несущих органов висходное положение и копир управле-.ния Фиксаторами с пазами по числуизмерительных позиций, а каждая измерительная позиция имеет контактныймеханизм и приводной упор для кон-.такта с несущими органами,Механизм возврата несущих органовв исходное положение выполнен в виде ре равномерно по окружности Г-образных рычагов, при этом одно плечокаждого Г-образного рычага контактирует с толкателем, а другое шарнирносоединено с осью кривошипа соответствующего кривошипно-шатунного механизма. установленного соосно ротору с возможностью возвратно-поступательногоперемещения толкателя и размещенныхна роторе равномерно по окружностиГ-образных рычагов, при этом одно 5 плечо каждого Г-образного рычага контактирует с толкателем, а другоешарнирно соединено с осью кривошипа соответствующего кривошипно-шатунного механизма.10На фиг. 1 изображено устройство,общий вид, на Фиг. 2 - схема транспортного ротора в процессе задержки несущих органов, на Фиг. 3 - раз рез А-А на фиг. 1; на фиг. 4 ; узелна фиг. 3; на фиг. 5 - узел П нафиг. 3; на фиг. б - узел 11 на фиг,1;на фиг. 7 - несущий орган, сечение,на фиг. 8 - вид Б на фиг, 7, на О Фиг. 9 - сечение В-В на фиг. 7.Устройство для сортировки содержит механизм подачи изделий - вибробункер 1, блок 2 управления, подключающие контактные устройства 3, 25 узел транспортировки и раскладки измеренных изделий и накопители 4 измеренных изделий.Узел транспортировки и раскладкивыполнен в виде транспортного ротора 5 с равномерно расположенными по ЗО периферии несущими органами б. Транспортный ротор 5 содержит барабан 7с жестко прикрепленными горизонтальными дисками 8. и 9, Барабан 7 закреплен на вертикальном полом валу 35 10, который установлен с возможностью вращения в подшипниках 11,размещенных в неподвижном корпусе12. Вал 10 соединен с приводом 13.На нижнем диске 8 равномерно уста новлены радиальные фиксаторы 14с роликами 15. Несущие органы бвыполнены в виде ползунов 16 кривошипно-шатунного механизма. На каждом ползуне 16 установлены на вер" 45 тикальных осях 17 три цилиндрическихролика 18, выполненные с возможностьюкачения по боковым поверхностям кольцевого выступа 19 на диске 9. Самползун 16 закреплен на оси 20, ко О торая установлена в подшипниках 21,находящихся на шатуне 22.Снизу на оси 20 закреплен захватный орган, выполненный в виде призлы 23 с отверстием 24 и подпружиненного прихвата 25 с роликом 26. Ша" тун 22 установлен с возможностью поворота вокруг оси 27 через подшипники 28. Ось 27 размещена в криво- шипе 29, который закреплен на оси 30, установленной с возможностью поворота в подшипниках 31. Все оси 30 расположены на окружности, центр 10 которой совпадает с центром ротора. Подшипники 31 смонтированы в дисках 8 и 9, На осях 30 закреплены рычаги 32, которые тягами 33 соединены с плечами 34 Г-образных рычагов 35. 15 Рычаги 35 установлены на осях 36, которые закреплены в кронштейнах 37, расположенных на диске 9. В полом валу на направляющей шпонке 38 установлен толкатель 39 с возможностью вертикального перемещения от кулака 40 с помощью ролика 41. Плечи 42 рычагов 35 расположены над толкателем 39. К неподвижному корпусу 43 прикреплены копиры 44 и 45. На копире 45 имеются пазы 46, количество которых равно количеству одновременно поступающих на сортировку изделий. Под ротором на неподвижном основании 47 расположены вибробункер 1, позиции измерения и накопители 4 с электромагнитами 48. Позиции измерения состоят из подключающих контактных устройств 3 и выдвижных упоров 49 для остановки 35 несущих органов на позициях измерения. Электромагниты 48 закреплены на неподвижном основании 50. На якорях 51 электромагнитов закреплены копиры 52, 40Устройство для сортировки работает следующим образом.Полупроводниковые иэделия стабилитроны ) загружаются в вибробункер 1, который обеспечивает подачу вертикально ориентированных изделий, В процессе непрерывного вращения ротс" ра 5 несущий орган б подходит на позицию загрузки, при этом он фиксатором 14 соединен с ротором. При подходе несущего органа к позиции загрузки прихват 25 заходит в поток ориентированных стабилитронов и отсекает один из них от потока.Отделенный от потока стабилитрон прихватом 25 прижимается к призме 23 и, зафиксированный в несущем органе б, перемещается вместе с ним. После загрузки стабилитрона в захватные органы ролик 15, катясь по соответствующему пазу на копире 45, 60 перемещается к центру ротора и фиксатор 14 выходит иэ отверстия 24, освобождая несущий орган от связи его с ротором. Так как несущие оргаВы через шатун 22 и кривошип 29 65 связаны с ротором, то они и перемещаются совместно с ротором. Ба траекторию перемещения несущих органов б при подходе их к позициям измерения первого параметра выдвигаются упоры 49 и останавливают несущие органы. При .этом подключающие контактные устройства 3 соединяют ста, билитроны с блоком 2 управления. Следующие несущие органы, встретив на пути остановившиеся несущие органы, упираются в них и тоже оста" навливаются, Так как продолжительность измерения превышает темп ротора в и раэ, то эа время остановки иэделий на позициях измерения. ротор перемещается на И угловых шагов, При при этом на каждой позиции измерения останавливается по и несущих органов с изделиями. Во время задержки несущих органов на позициях измерения ползуны 16, а также шатуны 22 икривошипы 29, поворачивающиеся вокруг осей 20 и 27, меняют свое взаимное расположение, оси 30 кривошипов поворачиваются в направлении, обратном направлению вращения ротора на угол, соответствующий углу задержки.Вместе с осями 30 поворачиваются рычаги 32 и увлекают тяги 33, которые перемещают плечи 34 Г-образных рычагов 35 от центра ротора, При этом Г-обраэные рычаги поворачиваются, их плечи 42 опускаются, а механизм возврата задержанных несущих органов возвращается в исходное нижнее положение. Во время измерения ролики 18, проворачиваясь вокруг осей 17 и обкатываясь по кольцевому выступу 19 на роторе, не препятствуют вращению ротора.Такая задержка несущих органов с изделиями на время измерения про- исходит на всех измерительных позициях, После окончания измерения первого параметра все иэделия на позициях измерения освобождаются от контах тов подключающих устройств 3; а также от упоров 49.В это время толкатель. 39, который все время находился в своем нижнем положении, перемещается кулаком 40 вверх и поднимает горизонтальные плечи 42 двуплечих Г-образных рычагов 35. Вертикальные плечи 34 рычагов 35 через тяги 33 поворачивают рычаг 32 и кривошип 29 в направлении вращения ротора.Поворачиваясь, кривошипы 29 через шатуны 22 перемещают задержанные на позициях измерения полэуны 16 в исходное положение на роторе, Полэуны 16, догоняя свое место на вращающемся роторе, проходят каждый несколько угловых шагов ротора. При этом ролики 18 катятся по кольцевому выступу 19. После возвращения ползунов в ис 1028388ходное положение толкатель 39 перемещается вниз, Устройство готово к следующему циклу измерения. Несущие органы с изделиями перемещаются к позициям измерения второго параметра, где на их пути также встают выдвижные упоры 49.упоры выдвигаются на траекторию перемещения несущих органов на всех позициях измерения всех.параметров одновременно. Одновременно происходит остановка несущих органов, измерение параметров на всех позициях, возврат всех задержанных несущих органов, Так как время измерения параметров разное, то время задержки выбирается по самому про должительному времени измерения. После окончания измерения всех параметров в момент выстоя толкателя 39 в верхнем положении все фиксаторы 14 заходят в отверстия 24 несущих ор ганов с измеренными изделиями.Соединенные фиксаторами 14 сротором несущие органы перемещаются на раскладкуВ тот момент, когда несущий орган р 5 с изделием проходит мимо электромагнита 48, соответствующего данной сортировочной группе, по сигналу с блока 2 управления замыкается цепь питания электромагнита.Якорь 51 втягивается и опускает на траекторию перемещения несущего органа копир 52, При этом при перемещении ролика 26 по копиру 52 прихват 25 отходит от призмы 23 и освобожденное от захватного органа изделие падает в накопитель 4. После снятия импульса с электромагнита 48 копир 52 возвращается в исходное положение. Ротор продолжает свое вращение, осуществляя непрерывную выгрузку изделий в накопители.Предлагаемое устройство позволяет при одном механизме подачи производить одновременно измерение множества параметров большого количества изделий и непрерывную раскладку их по сортировочным группам, при этом время измерения превышает темп ротора, а рассортировка производится в темпе ротора. При непрерывной раскладке операция загрузки и операция одновременногоизмерения одинаковых параметров нескольких изделий совмещены во времени.1028388 Составитель В.АганинРедактор М.Петрова ТехредА,Вабинец КорректорВ.Бутяг к П "Патент", г. Ужгород, ул. Проектн или 849/7Тираж 6ВНИИПИ Государствпо делам изобре 113035, Москва, Ж7 Подписинного комитета СССРений и открытийРаушская наб., д. 4