Устройство для автоматической сортировки полупроводниковых приборов

ионов 2) Авторы изобретения аров и В.И(7 явите АВТОМАТИЧЕСКОЙ СОРТИРОНИКОВЫХ ПРИБОРОВй Изобретение относится к технологии производства полупроводниковых прибо" ров и может быть использовано при из- готовлении приборов для сортировки по электрическим параметрам интеграль 5 ных схем, помещенных в технологические спутники, предназначенных для контрольно-измерительного оборудования,Известен рычажный сортирующий механизм, содержащий вертикальную шахту с толкателямй, подпружиненными заслонками 1 1.. Недостатком известного устройства является низкий КПД, обусловленный темчто для загрузки каждого изделия, выгружаемого в последующую группу,. должны сработать все предыдущие толкатели, Это особенно снижает КПД и производительность сортировщика при большом числе групп. Кроме того,. снижается надежность работы сортировщика из-за ежецикличности срабатываний электромагнитов и толкателей.Наиболее близким к изобретению по техйической сущности является устроство для автоматической сортировки полупроводниковых приборов, в частности интегральных схем в плоском корпу" се Известное устройство для сортиров" о ки содержит механизмы загрузки и тран, спортирования изделий в зону контактирования, где происходит механичес"кий контакт изделия с измерительнойсистемой, осуществляющей контроль параметров полупроводниковых приборови формирующей сигнал разбраковки ихна соответствующие группы, блок сортировки, включающий толкатели по числу групп сортировки, выполненные в 2 о виде пневмопривода со штоком Т-образ"ной формы, и. отсекатели электромагни 1- ного типа по числу сортировочных групп.Измерительное устройство по результа"983836 там проверки устанавливает сортировочную группу и формирует сигнал, подаваемый. на катушку электромагнита соответствующего отсекателя. По окончании проверки изделие попадает в вертикальный транспортирующий канал,.где оно под действием силы тяжести перемещается до соответствующего электромагнитного отсекателя, срабатывающего от сигнала измерительного устрой.ства, т, е. перемещающегося относительно своего исходного положения и препятствующего тем самым перемещению изделия по вертикальному каналу, Затем под действием толкателя изделие заталкивается,в соответствующую сортировочную группу 2 .Однако известное устройство для сортировки имеет недостаток, обусловленный наличием отсекателей по числу 20 групп сортировки с приводными механизмами (в данном случае электромагнитного типа), поскольку необходимостьконструктивной компоновки отсекателейнаряду с толкателями значительно усложняет конструкцию устройства длясортировки, его электрическую схемуи делает его работу менее надежнойвследствие наличия пары электромагнит - собственно отсекатель. Это особенно критично при большом числе групп сортировки, необходимость которых обусловлена многочисленными измерениями электрических параметров полупроводниковых приборов, например больших и сверхбольших интегральных схем.Цель изобретения - упрощение конструкции и повышение надежности. сортировки полупроводниковых приборов,45 50 полнен Г-образным и снабжен пластиной,Поставленная цель достигается тем,цто в устройстве для автоматической преимущественно закрепленных в технологических спутниках, содержащем механизмы загрузки и транспортирования, блок контактирования, подключенный к электрической схеме управления, блок сортировки, включающий канал подаци спутников, пеналы"накопители по цислу групп сортировки, толкатели и отсекатели, конец каждого толкателя выразмещенной в плоскости основания пенала-накопителя с возможностью отсекания канала подачи спутников.На фиг. 1 показано устройство для автоматической сортировки полупроводниковых приборов, общий вид; на Фиг. 2 - блок сортировки. 2530 4Предлагаемое устройство для автоматической сортировки содержит механизм 1 загрузки полупроводниковых приборов, например больших интегральных схем, закрепленных в технологических спутниках 2, механизм 3 транспортирования, блок 4 контактирования, блок 5 сортировки, канал 6 подачи спутников. Механизм 1 загрузки приборов предназначен для циклицной подачи приборов, закрепленных в спутниках 2 из пенала 7 загрузки в механизм 3 транспортирования, которым осуществляется подключение приборов к измерительной системе не показано) посредством блока 4 контактирования., Блок 5 сортировки предназнацен для выгрузки приборов в соответствующей группе сортировки пенал-накопитель 8. Направляющая 9 предназначена для выгрузки спутников 2 из механизма транспортировки направляющей в канал 6 блока 5 сортировки, Блок 5 сортировки содержит толкатели 10 прямоугольной формы, служащие одновременно и отсекателями предыдущей группы сортировки за счет того, что верхняя часть толкате" ля выполнена в виде плоской пластины 11, Толкатели приводятся в движение пневмоцилиндрами 12. Конец каждого толкателя снабжен Г-образным фиг, 2 ) вырезом для захвата технологических спутников, при этом верхняя цасть толкателя выполнена в виде плоской пластины 11 для отсекания канала подачи спутников 2.Устройство работает следующим образом,Из пенала 7 загрузки приборы, закрепленные в спутниках 2, поступают в подвижную часть механизма 3 транспортирования й подаются на подключение к измерительной системе. Происходит механический контакт изделия сблоком 4 контактирования, и после процесса измерения изделие выгружается механизмом 3 транспортирования в направляющую 9, по которой спутник 2 поступает в канал подачи спутников блока сортировки. По сигналу от измерительной системы срабатывает один из пневмоцилиндров 12, последующий за группой сортировки данного спутника 2. Толкатель 10, жестко связанный со штоком соответствующего пневмоцилиндра12, выдвигается в направлении пеналов- накопителей 8 и своей плоской пласти6Формула изобретения 5 98383 ной 11 перекрывает путь движению изделия.Благодаря тому, что толкатели рас" положены друг от друга на расстоянии,соизмеримом с размером спутников с эа-крепленными в них приборами вдоль канала подачи спутников 2 приборы занимают положение против соответствующего группе сортировки пенала-накопителя 8. Затем срабатывает пневмоцилиндр 1 ф 12 и, следовательно, толкатель 10 против данной группы сортировки и спутник 2 подается в соответствующий своей группе пенал-накопитель 8, имеющий основание, на которое опирается спут" 1 ф ник 2.Таким же образом совершается выгрузка в любую группу сортировки, т. е. по сигналу от измерительной системы сначала срабатывает последующий за ф группой сортировки пневмоцилиндр , вы" . двигая соответствующий толкатель, а затем пневмоцилиндр, находящийся против данной группы. Один и тот же толкатель играет роль элемента выгрузки иэделия в пенал и отсекателя, Это упрощает конструкцию сортировщика и увеличивает надежность его работы, особенно при большом числе группы сортировки (в данном случае 12 групп). ЗО Устройство для. автоматической сортировки полупроводниковых приборов,. преимущественно закрепленных в техно логических спутниках, содержащее механизмы загрузки и транспортирования, блок контактирования, подключенный к электрической схеме управления, блок сортировки, включающий канал подачи спутников, пеналы-накопители по чис" лу групп сортировки, толкатели и отсекатели, о.т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью упрощения конструк-. ции и повышения надежности, конец каж. дого толкателя выполнен Г-образным и снабжен пластиной, размещенной в плоскости основания пенала"накопителя с возможностью ее отсекания канала по" дачи спутников. Источники инФормации,принятые во внимание при экспертизе 1. Артоболевский А,И. Механизмы в современной технике, И., "Наука", 196, т. 5, с, 661.2. Авторское свидетельство СССР И 535859, кл. Н 05 К У/00, 1976 (прототип ).983836 оставитель Е. Ковалеваехред М.Надь Корректор А. фер О. Бугир ел каэ 9939/6 1 Л лиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проект Тираж 761 ВНИИПИ Государственного по делам изобретений 113035; Иосква, Ж, Рау