Гидростатическая направляющая цилиндрической формы

(51)5 Р 16 С 32/06, 29/О ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИПРИ ГКНТ СССР(54) ГИДРОСТАТИЧЕСКАЯ НАП ЩАЯ ЦИЛИНДРИЧЕСКОЙ ФОР (57) Использование: в конструкц зионных координатных столов. изобретения: гидростатическая н щая цилиндрической формы сод лую цилиндрическую направ прикрепленную к станине, опору, ную с подвесным столом, карман ачи смазки высокого давления слива смазки, соединенные с пол линдрической направляющей д РАВЛЯОМЫ иях прециСущность аправляюержит поля ющую, соединены для поди камеры остью циля отвода Изобретение относится к области машиностроения и может быть использовано в конструкциях прецизионных координатных столов,Известна гидростатическая направляющая цилиндрической формы, содержащая полую цилиндрическую направляющую, прикрепленную к станине, опору, соединенную со столом, камеры подачи смазки высокого давления со встроенными регуляторами расхода смазки, камеры слива смазки, соединенные с полостью цилиндрической направляющей для отвода смазки.Недостатком известного решения является то, что конструкция не обеспечивает, Ы 17740 смазки. Герметизирующие камеры слива элементы выполнены в виде тонкостенных цилиндрических оболочек из резины, упомянутые оболочки охватывают радиальные ограничители в виде спиральных ленточных пружин, Внутренний конец пружины закреплен в опоре, а внешний - в узле вращения станины с возможностью поворота в сторону, противоположную намотке пружины, При перемещении опоры происходит раскручивание (скручивание) и вытягивание,(втягивание) ленты 8. Каждый узел вращения станины снабжен уплотнением. Уплотнение может быть выполнено магнитожидкостным. Это позволяет повысить надежность работы направляющей за счет полного предотвращения вытекания смазки из устройства в технологический объем, например, вакуумной камеры даже в случае аварийной разгерметизации (при разрыве герметизирующих элементов). 4 з.п, ф-лы, 4 ил. полной герметизации камер слива смазки, что приводит к загрязнению смазки продуктами окружающей среды, что ведет к снижению надежности отдельных узлов,Наиболее близким техническим решением к изобретению является гидростатическая направляющая цилиндрической формы, содержащая полую цилиндрическую направляющую, прикрепленную к станине, опору, соединенную со столом, камерь 1 подачи смазки высокого давления, камеры слива смазки, соединенные с полою цилиндрической направляющей для отвода смазки, герметизирующие элементы в виде тонкостенных цилиндрических обо 1774090почек из резины, армированных в.осевомнаправлении нитями и закрепленныхв зазоре мекду опорой и полой цилиндрическойнаправляющей,Недостатком известного решения является то, что она обладает низкой кесткостью в радиальном направлении, чтозначительно снижает точность позиционирования координатного стола, Кроме того,при разрыве герметизирующих элементоввозможно попадание смазки в герметизируемый объем рабочей технологической камеры.Целью изобретения является увеличение жесткости, надежности и уменьшениеосевых габаритов,Указанная цепь достигается тем, чтогидростатическая направляющая цилиндрической формы, содержащая закрепленную в станине обеими концами полуюцилиндрическую направляющую с полостью для отвода смазки, соединенную с подвижным столом опору, карманы дляподачи смазки под давлением и камеры слива смазки, сообщающиеся с полостью дляотвода смазки в цилиндрической направляющей, а также герметизирующие камерыслива элементы в виде тонкостенных цилиндрических оболочек из резины и охватывающие упомянуть 1 е оболочки радиальныеограничители, прикрепленные одним концом к опоре, снабжена смонтированнымина станине с обеих сторон опоры узламивращения сокруг оси цилиндрической направляющей, упомянутые радиальные ограничители выполнены в виде спиральныхленточных пружин, внешний конец каждойиз которых закреплен в соответствующемузлевращения с возможностью поворота всторону, противоположную намотке пружины, при этом упомянутые узлы вращениясвязаны с опорой посредством жесткой кинематической цепи; кроме того каждый узелвращения снабжен уплотнением, при этомспиральные ленточные пружины выполнены из намагниченного магнитопроводногоматериала, при этом уплотнение выполненомагнитожидкостным,На фиг.1 изображена предлагаемая гидростатическая направляющая, общий вид;на фиг.2 - разрез А-А на фиг.1; на фиг.З -узел вращения с магнитожидкостным уплотнением; на фиг.4 - в сравнении предлагаемая направляющая и по прототипу.Гидростатическая направляющая цилиндрической формы содержит закрепленную на станине 1 обеими концами полуюцилиндрическую направляющую 2 с полостью для отвода смазки, соединенную с подвижным столом 3 опору 4, карманы 5 для10 25 30 35 40 45 50 подачи смазки под давлением и камеры 6 слива смазки., сообщающиеся с полостью для отвода смазки в цилиндрической направляющей, а также герметизирующие камеры слива 6 элементы 7 в видетонкостенных цилиндрических оболочек из резины и охватывающие упомянутые оболочки радиальные ограничители; выполненные в виде спиральных ленточных пружин 3, прикрепленных одним концом к опоре 4, а другим внешним концом закреплены в соответствующем узле 9 вращения с возможностью поворота в сторону, противоположнуюнамотке пружин 8, Узлы 9 вращения могут быть связаны с опорой 4 посредством жесткой кинематической цепи 10 и снабжены уплотнениями 11: Спиральные ленточныепружины 8 могут быть выполнены из намагниченного магнитопроводного материала, Уплотнение 11 может быть выполнено магнитожидкостным 12.Устройство работает следующим образом,В карманы 5 (см, фиг,1,2,3) для подачи смазки под давлением от насосной станции (на фиг, не показана) подается постоянный расход сглазки, например ферромагнитной жидкости(ФУ)К). При этом смазка протекает через магнитореологические дроссели (на фиг, не показаны), карманы 5 для подачи смазки под давлением, камеры 6 слива смазки, полую цилиндрическую направляющую 2 и через сливной дроссель (на фиг. не показан) отводится в бак насосной станции. Под действием высокого давления в карманах 5 опора 4 со столом 3 "всплывает" на полой цилиндрической направляющей 2 и может по ней перемещаться. При перемещении опоры 4, например (см,фиг,1) влево (вправо) происходит раскручивание (скручивание) спиральных ленточных пружин 8 и их вытягивание (втягивание) из узла (в узел) вращения 9, при этом, за счет того, что один конец пружин 8. прикреплен к опоре 4, а другой внешний конец их закреплен в узле вращения 9 с возможностью поворота в сторону, противополокную намотке пружин, кроме того, узел вращения 9 связан с опорой 4 посредством жесткой кинематической цепи 10, осуществляется равномерное согласованное раскручивание (скручивание) и вытягивание (втягивание) спиральных ленточных пружин 8, Благодаря тому, что поверхность, по которой в 55 процессе работы перекатываются герметизирующие элементы 7, выполнена не жесткой в осевом направлении (в виде спиральной ленточной пружины), уменьшаются осевые габариты гидростатической направляющей (см,фиг.4), При этомувеличивается их жесткость и точность изготовления за счет уменьшения статических прогибов при той же внешней нагрузке на направляющую. Выполнение спиральных ленточных пружин 8 из намагниченного маг нитопроводного материала и выполнение уплотнения 11 в узле вращения 9 магнитожидкостным 12 (см,фиг.3) приводит к тому, что при аварийной разгерметизации (разрыве герметизирующих элементов 7) смазка 10 (ФМЖ) попадает в зазоры между соседними витками пружины 8 и в зазоры магнитожидкостного уплотнения 12 и становится при этом герметизирующей средой. Тем самым исключается вытекание смазки из устрайст ва, например в объем вакуумной технологической камеры, т.е. ее загрязнение, и, тем самым повышается надежность работы устройства.Настоящее устройство позволяет повы сить жесткость направляющей в радиальном направлении, вследствие уменьшения ее статического прогиба за счет уменьшения ее осевого габарита, повысить надежность работы за счет полного предотвращения 25 вытекания смазки из устройства в технологический объем, например вакуумной камеры, даже в случае аварийной разгерметизации при разрыве герметизирующих элементов 7, 30Формула изобретения1. Гидростатическая направляющая цилиндрической формы, содержащая закрепленную в станине обоими концами полую 35 цилиндрическую направляющую с полоДь 6 3 5 . 6 4 1 7 стью для отвода смазки. соединенную с подвижным столом опору, карманы для подачисмазки поддавлением и камеры слива смазки, сообщающиеся с полостью для отводасмазки в цилиндрической направляющей, атакже герметизирующие камеры слива элементы в виде тонкостенных цилиндрическихоболочек из резины и охватывающие упомянутые оболочки радиальные ограничители,прикрепленные одним концом к опоре, о тл и ч а ю ща я с я тем, что. с целью увеличения жесткости, надежности и уменьшенияосевых габаритов, она снабжена смонтированными на станине с обеих сторон опорыузлами вращения вокруг оси цилиндрической направляющей, упомянутые радиальные ограничители выполнены в видеспиральных ленточных пружин, внешнийконец каждой из которых закреплен в соответствующем узлу вращения с возможностью поворота в сторону, противоположнуюнамотке пружины.2, Направляющая по п.1, о т л и ч а ю -щ а я с я тем, что упомянутые узлы вращения связаны с опорой посредством жесткойкинематической цепи,3, Направляющая по пп.1 и 2, о т л и ч аю щ а я с я тем, что каждый узел вращенияснабжен уплотнением.4, Направляющая по пп.1-3, о т л и ч аю щ а я с я тем, что спиральные ленточныепружины выполнены из намагниченногомагнитопроводного материала,5. Направляющая по п,4, о т л и ч а ющ а я ся тем, что уплотнение выполненомагнитожидкостным.Ре од рина,Заказ 3915 ТиракВНИИПИ Государственного комитета по изобрете113035, Москва, Ж, Раушска роизводственно-издательский комбинат "Пате Подписноеям и открытиям при ГКНТ ССнаб 4/5