Конвейерная электропечь

(5)5 Г 27 В 9/22 ГОСУДАРСТВЕНЪЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(56) Авторское свидетельство СССРМ 1223000, кл, Г 27 В 5/04, 1984.Авторское свидетельство СССРВ 1177630, кл. Р 27 В 9/22, 1983.(54) КОНВЕЙЕРНАЯ ЭЛЕКТРОПЕЧЬ 57) Изобретение относится к оборудованию для термообработки иэделий электронной техники. Цель изобретения - повышение качества обработки путем удаления продуктов не Ыпц 1705683 А 1 возгонки без нарушения технологнческо о процесса, Конвейерная электропечь содержит мнсгозонную секционную камеру нагрева с камерой 1 выжига связки и камерой 2 вжигания, муфелем 3, свод и напрагляющие с щелевидными каналами. В направляющих установлен сменный свод 9. выполненный иэ жаропрочной металлической ленты. Концы ленты свода 9 заделаны в барабаны 11 и 12, Между камерои 1 выжига и камерой 2 вжигания установлено вытяжное устройство 16. Изобретение позволяет осуществить очистку слога без нарушения технологического процессов термообработки, исключив время простоя. 2 з. и. ф-лы, 7 ил,10 15 20 25 30 35 Изобретение отдэсится х оборудованию для термообрвботки изделий электронной техники, в частности стекло-керамических корпусов интегральных схем (СКК ИС) нэ опв рациях вжигвния золотосодержащих паст и оплавления стеклопокрытия и может быть использовано при выполнении другихтермических операций при производстве толстопленочных микросхем.Известна проходная муфельнэя печь, содержащая последовательно соединенные камеры нагрева и выдержки с гэзогорвлочными устройствами и дымоотводящими каналами, выполненными в футероокв, камеру охлаждения, эжекторы, дополнительную футврованную камеру с подом и дополнительным промежуточным перфорированмыее сводом, образующим со сводом печи камеру смешения, соединенную с подподовым пространством.Известна муфвльмая печь для восстановления окислов, содержащая футероеанный корпус с нагревательными элемемтами и муфелвм, загрузочное и разгрузочное устройства, холодильник, систему удаления газообразных продуктов реакции, трубчатые гэзоходи с о геврстиями по их длине и установленными в нижней части муфеля вдоль его боковых станок. Наиболее близкой по технической сущности и достигаемому эффекту является конвейера электропвчь, содержащая многозонную смс 1 ионную камеру нагрева с нагревателеи. муфвлем и с вытяжным устройством.К недостаткам известной печи следует отнести то что нагнетательным вентилято. ром инертный газ со стороны загрузки печи нагнетается в рабочее пространство. Смешиваясь с продуктами возгонки в зонах выжиг э связки, этот гэз частичмо попадает и е чистые гоны печи - зоны вжигания пасты, что отрицательно сказывается на качестве изделий, Кроме того, средство отбора и удаления из рабочего пространства продуктов возгонки, выполненное е виде двух коэкси альных труб, не может полностью удалить эти продукты по всей длине эон выжига связки, особенно при значительной ширине рабочего пространства, Часть этих продуктов неизбежно оседает на своде и боковых стенках муфеля, постоянно загрязняя атмосферу рабочего пространства, э в конструкции печи не предусмотрена очистка этих поверхностей беэ демонтэжэ печи. Перфорация внешней трубы в пространстве отбора продуктов возгонки постепенно зарастает продуктами выжига связки, т. в. уменьшэется проходное сечение отверстий и снижается эффективность вытяжки.Цель изобретения - повышение качества обработки изделий путем удаления продуктов возгонки беэ нарушения технологического процесса. Предлагаемая печь позволяет осуществить очистку свода беэ нарушения технологического процесса термообрэботки, исключив время простоев, и повысить качество изделий,Цель достигается тем, что конвейерная электропечь преимущественно для вжигания пасты в подложки при изготовлении толстопленочных микросхем, содержащая многозонную камеру нагрева с зонами выжига связки и вжигания пасты, муфелем, газораспределительным коллектором и вытяжным устройством, снабжена сменным промежуточным сводом, выполненным в виде закрепленныхверхней части боковых стенок муфты зоны выжига связки, продольных направляющих с щелевидными каналами и размещеннойних металлической лентой, закрепленной на барабанах, установленных ма входе и выходе зоны выжига связки, При этом распределительный коллектор установлен мад промежуточным сводом. Вытяжное устройствб размещено между зонами выжига связки и вжигамия. Лента выполнена иэ жаропрочного сплава,На фиг. 1 изображена конвейерная электропечь, общий вид; ма фиг. 2 - сечение А-А на фиг. 1, поперечный разрез камеры выжига саязки; на фиг. 3 - сечение 6-6 мэ фиг. 1,поперечный разрез камеры вжигания; на фиг.4 - вежд В мэ фиг. 1, барабан перемещения сменного свода с приводом; нэ фиг. 5- сечение Г-Г ма фиг. 2, одна из направляющихмуфеля со щелевидными каналами; на фиг. 6 - элемент 1 на фиг, 1, уплотнение сменного своде со стороны загрузочного конца печи; на фиг. 7- сечемие Д-Д на фиг. 1, схема устройства вытяжного патрубка. Конвейерная электропечь содержит футврованную камеру 1 выжига связки, футероеэнную камеру 2 вжигания, муфель 3 со сводом 4,гаэораспределительнывколлекторы 5 и 6 с равномерно расположенными по длине отверстиями для выхода воздуха, направляющие 7, размещенные в муфеле 3 на участке выжига связки. В направляющих выполнены щелевидные каналы 8.Сменный свод 9 установлен в направляющих 7 и образует со сводом 4 муфеля 3 газораспределитвльную камеру 10. Концы сменного свода 9 заделаны в барабаны 11 и 12, установленные на муфеле 3 с помощьюкронштейнов 13. Общая длина сменного свода 9 рассчитана так, чтобы его часть, находящаяся в рабочем пространстве камеры выжига связки, полностью должна быть выведена из него (заменена). Вращение барабана 11 может осуществляться вручную рукояткой 14 или с помощью привода 15. Аналогично осуществляется вращение ба. рабана 12 (рукоятка и привод барабана 12 не показаны).На муфеле 3 между камерой 1 выжига связки и камерой 2 вжигания установлено вытяжное устройство 16 в виде патрубка.Печь содержит также геплообменник 17, газовые(воздушные) завесы 18, нагреватели 19, термопары 20, конвейерную ленту 21, привод 22 конвейерной лен 1 ы,На входе в муфель 3 и выходе иэ него сменный свод 9 уплотнен устройствами 23 и 24, причем уплотнительное устройство 23 выполнено с возможностью перемещения по вертикали.Печь снабжена также устройством очистки и сушки воздуха, пультами управления нагревом и механизмами печи, устройством распределения очищенного и осушение"о воздуха в печь (не показаны).Очищенный и осушенный воздух подается в завесы и рабочее пространствоечи через патрубки 25,Формула изобретения 1, Конвейерная злсктропечь, преимущественно для выжигания пасты в подложки5 при изготовлении толстопленочных микросхем, содержащая многоэоиную камеру сзонами выжига и Вжигания связки, муфелем, гаэораСпределительным коллектором нвытяжным устрблством, о т л и ч а ю щ а я 10 с я тем, что, с целью повышен. з ка,естгзобработки изделий путем удаления прсдуктов возгонки без нарушения технологического процесса, он снабжена сменнымпромежуточным ссодом, выполненным в ви 15 де закрепленных в верхней части боковыхстенок муфеля зоны выжиа продольных направляющих с щелевидными каналами и установленной в них металлич;ской ленты,барабанов, установленных на входе и оыхо 20 де зоны выжига и на которых закрепленыленты, при этом газораспределительныЛколлектор устаноелен над промежуточнымсводом,2. Электропечи по и. 1, о т л и ч а ю щ 25 а я с я тем, что вытяжное устройство размещено между зонами выжига и ожиганиясвязк .3. Электропеь по и. 1, а т л иа ю щ.а я с я ем, что лента выполнена иэ жароп 30 рочного сплава.Редак обьлянск Тира аказ 187 ВНИИПИ Государстве 11Производственно-и Составитель Н.ЩукинТехред М,Моргент,л ного комитета по изобг т035, Москва, Ж-.5, Рече:. ательский комбинат 1 ате