Вакуумный клапан шиберного типа

1у СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИК 51)56 К 3/О ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ на вкладторо го,верхности Г 22 5 3 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМПРИ ГННТ СССР ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(54) ВАКУУМНЫЙ КЛА 11 АН ШИБЕРНОГО ТИНА(57) Изобретение относится к запорным устройствам высоковакуумных систем, Целью изобретения является иовышение ремонтопригодности, умеьшеннегабаритов и расширение эксплуатационных возможностей Это достигаетсяэа счет того, что каретка 16 снабжеышем 26, в отверстии 28 коимеющем ограничительные по 29, на шарнирной оси 24 установлена поворотная серы а 23, соединенная с запорным органом, который, в свою очередь, соединен с кареткой 6 с помощью пружин. В положении "Открыто" серьга 23 опираетсяна переднюю ограничительную поверхность 29, в положении "Закрыто" назаднюю поверхность 29, При переходеиз одного положения в другое запорный орган проходит верхнюю мертвуюточку, что обеспечивает надужную герметизацию фланца 2Снабжение червячного колеса тягой, соециненной с ходовым винтом посредством исицевогостержня, и расположение тяги и винтав резьбовых отверстиях ступиц, имеющих разный шаг резьбы, сокращают габариты привода, Расположение уплотняемых поверхностей фланцев на равном расстоянии от направляющих 6 и 7каретки 1 б дает возможность устанавпинать запорный орган к любому изфланцев 2 и.ч 3. 2 зп, фалы, 5 ил, 16349 5Изобретение относится к арматуростроению, в частности к вакуумнойарматуре, и может быть использованов сверхвысоковакуумных системах вразличных областях народного хозяиства,Цель изобретения - повышение ремонтопригодности, уменьшение габаритов и расширение эксплуатационныхвозможностей устройства,Поставленная цель достигается засчет обеспечения проведения ремонтных работ как в открытом, так и взакрытом состоянии клапана, созданияравномерной деформации эластичногоэлемента, Уменьшение габаритов обеспечивается сокращением хода тягидатчиков, а расшрение функциональных возможностей достигается обеспечением работы клапана на сверхнизкихдавленияхНа фиг.1 изображена схема клапана; на фиг.2 - червячный редуктор,продольный разрез; на фиг3 - разрезА-А на фиг.2; на фиг4 - запорныйорган, продольный разрез, в открытомсостоянии; на фиг.5 - то же, в закрытом состоянииВакуумный клапан шиберного типасодержит коробчатый корпус 1 с присоединительными фпанцами 2 и 3Внутри корпуса 1 на его боковыхстенках симметрично относительноуплотняемых поверхностей 4 с конусными расточками 5 размещены параллельные направляющие 6 и 7, Корпус 1снабжен герметизирующей крышкой 8, ккоторой прикреплен привод 9, состоящий из червячного колеса 10 со ступицами 11 и 12, ходового винта 3 исильфонного толкателя 14, герметичнозакрепленного на крышке 8, Сильфонный толкатель 14 системой рычагов15, связанных между собой шарнирно,соединен с кареткой 16 клапана. Кроме того, сильфонный толкатель 14 спомощью штифта 17 соединен с ходовымвинтом 13, который, в свою очередь,снабжен шпицевым стержнем 18, соединяюцим его с тягои 19 датчиков 20крайних положений,Каретка 16 содержит четыре гориэонтапыплх и четыре вертикальных опорных ролика, регулируемый упор и соединена с запорным органом 21, содержащим кольцевой уплотнитель и упорный ролик 22, посредством поворотной серьги 23, оси 24 и сферического шарнира 25В регулируемом вкладыше 26,вставленном в отверстие 27 каретки 16,выполнено прямоу 1 ольное отверстие 28с ограничительными поверхностями 29поворота серьги 23Каретка 16 соепинена с запорныморганом 21 при помощи пружин 30В корпусе электромеханическогопривода 9 выполнены сквозные монтажные Окна 31, расположенные в местеустановки штифта 17В ступице 12 колеса 1 О червячноговыполнено червячное отверстие 32, ав ступице 11 дополнительное резьбовое отверстие 33 для тяги 19 датчиков 20 положения20 Во фланце 3 выполнены кольцеваяпроточка 34 для уплотнителя, герметичный канал 35 для подвода охлаждакгщей жидкости, гнездо 36 для термопарного устройства и теплоотводящее25 кольцо 37Вакуумный клапан шиберного типаработает следующим образом,Электродвигатель привода 9 передает движение червячному колесу 10,30 при вращении которого ходовой винт13, находясь в винтовом соединениис резьбой, выполненной в отверстии32 ступицы 12, совершает осевые линейные перемещенияХодовой винт 12 передает линейныеперемешения сильфонному толкателю14, герметично присоединеннол 1 у посредством сильфона к крышке 8Через систему рычагов 15 линейное40 перемещение сообщается каретке 16,которая начинает движение спорнымироликами по направляющим 6 и 7При двнжении к уплотняемым Фпанцам 2 и 3 каретка 16 касается упор 45 ным роликом 22 передней стенки корпуса 1 и совместное движение запорногооргана 2 с кареткой 16 прекращаетсяВ этом положении ось запорного органа 21 совмещена с общеи осью отверс 5 п тий 2 и 3При дальнейшем движении каретки16 до касания ее регулируелым упором по ве рхнос ти корпу са 1 ирои сходит поворот серьги 23 относительно оси 24,55при этом запорный орган 21 вместе с роликом 22, прижатым к поверхности корпуса 1, перемешается вертикально вверх к уплотняел 1 ой поверхности 416В открытом положении запорным орган 21 перемещается по напранпяю 1 ш 1 м6 и 7 с заданным зазором к уплотняемым поверхностям 411 ри этом запорный орган 21 и поворотная серьга 2.3под действием пружин 30 прижаты соответственно к каретке 16 и к перецнейограничительной поверхности 29 отверстия 28 Б закрытом положении запорный орган 21, перейдя верхнююмертвую точку, упирается серьгой 23в заднюю ограничительную поверхность29 отверстия 28Таким образом обеспечивается герметизация отверстий 2 и 3 посредством заклинивания системы корпусгерметизирующий запорный оргапсерьга - каретка даже при снятии на"грузки на каретку 16 от привода 9,что позволяет производить демонтажэлектромехацического привода 9 какпри открытом, так и при закрытом(рабочем) положении вакуумного клапана,В уплотняемой поверхности 4 предусмотрена конусная расточка 5, которая ограничивает горизонтальноеперемещение запорного органа 21 прчвозвращении каретки 16 в положениецОткрыто"При вращении червячного колеса10 линейные перемещения соверша,.1 итяга 19, размещенная в до 1 Опццт.:.пном резьбовом отверстии 33 сгупицы11 червячного колеса 10Вниду того, что резьба в тверс-.тиях 32 и 33 имеет разные 1",эгц, т 1 а19 и ходовой винт 13 совер 111 п,1 различные линейные перемещенп, чтопозволяет уменьшить габариты ваку:1 ного клапана,При примен ции вакуумного лапападпя сверхвысоковакуумных систем неообходим его прогрев до 380-400 С.При этом кольцевой уплотнитель размещается в кольцевой г 1 роточке 34,охлаждаемой жидкостью, подаваемойпод давлением в герметичнггй канал 35.Контроль за температурой осущест;",ляется термопарцым устройством, установленным в гнезде 36. Симметричное расположение направляющих 6 и 7 относительно уплотняемых поверхностей 4 присоедицитепьных фланцев 2 и 3 позволяет устанавливатг, каретку 16 так, что запорный орган 134915 10152530 3540455055 21 взаимодействует с охлаждаемой по" верхностью 4 фпанца 3Формула из обре тени1Вакуумный клапан шиберного типа, содержа 1 цигг корпус с присоединйтельными фпаццамг 1, уг 1 лотняемь 1 ми поверхностями и наг 1 равляющими, каретку с запорным органом, .соединенную посредством системь 1 рычагов с сильфонным толкателем, герметично установ ленным на крышке корпуса, привод включающий червячное колесо со ступицами, ходовой винт, установленный в реэьбовом отверстии ступицы и соеди" ненный с сильфонным толкателем при помощи съемного штифта, и датчиюг крайних положений кпапана, о т л ич и ю щ и й с я тем, что, с целью повышения ремонтогригодцости, карет ка снабжена регулируемым вкладышем с шарнирной осью и пружинами, во вкладыше выполнено отверстие с ограничительными поверхцостямп, а привод соединен с крышкой сильфонного толкателя, причем эапорный орган подвижно соединен с кареткой пружинами, а с вкладышем - серьгой, установленной шарнирной Осью в отвер.тии вкладыша с воэможностью в 1 пмо,1 к йствия с его ограничительными поверхностями2. Епапаг 1 по и1, о т л ц ч э ющ и й с я тем, чгос цел 1 умень 111 ения габаритов, червячное колесо снабжено тягои, ц 1 лнцевым стержнем и дополнительным реэ ьоовь 1 м Отверстием вьп 10 лнеппым Р с Гупице соосно с Осфионными ре 11 бовы;1 Огверстием ц имена.щим меь 1 ци 11, чем у основного, шагрезьбы, гри 1 ем тяга соедиц 1 па с ходов;1 м гинтом посредством щлицевогстсрг ья и у стано.1 еца в доппцительпом реэьбоном отверстии с воэможпость 1 вэаимодейс; вия с;,атчцками крайних по гоже ций 1 гапац;1,3Клапан по пп1 и 2, о т л ич а ю щ и и с я тем, что, с цельюрасширения эксплуатационных возможно с гей, на уплотцяемой поверхностифлапцев выполнена коцусцая рдсточка,а в одном иэ присоедицительных фпанцев - герметичпый капал охлажденияи кольцевая проточка и установлентермопарцый элемент, при этом каналохлаждения расположен под кольценойпроточкой, а уплотняемые поверхностирас 1 оложсны на равпом расстоянии от1;апранляющпх корпуса.