Способ определения примесей органических веществ в летучих хлоридах элементов iii у групп

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 753 51)5 0 01 И 30/08 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ЛЬСТВУ А ВТОРСНОМУ СВИ(54) (57) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПРИМЕСЕ 11ОРГАНИЧЕСКИХ ВЕЦЕСТВ В ЛЕТУЧИХ ХЛОРИДАХ ЭЛГМЕНТОВ 111-Ч ГРУПП путемпропускания пробы анализируемого вещества через колонку, заполненную комплексообразонателем на твердом носителе, с последуюпдм газохроматограАическим разделением выделенных примесей, о т л и ч а ю щ и й с я тем,что, с целью расширения области применения способа и повышения его чувствительности, в качестве комплексообразователя используют ,0 -дипиридил а 1) 2759379/04 ганических примесей от основы осуще ствляют путем взаимодействия треххл ристого мьппьякас трикрезилйосйатом при 800 С, в результате чего образуе ся нелетучий комплекс. Недостатком способа является его невысокая чувс вительность. При пробе 2 мкл предел обнаружения анализируемых примесей составляет 10 мас.Х.-4 зохроматограЬирганических примышьяке (АзС 1) ающий предварилизируемых приме- дующим их колкИзвестен ческого оп месей в тр включает и анализпруе ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ .И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР(71) Институт химии АН СССР(56) Кузнецова А,П. Газохроматографическое определение органическихпримесей в треххлористом мышьякеособой чистоты, Журнал аналитическо;химии, 27, 1972, с. 321-323.Зеляева И.А,. ГазохроматограАический анализ треххлористого бора намикропримеси, Журнал аналитическойхимии, 24, 1969, с. 1031-1033,Зуева М.В. Газохроматограйическийанализ четыреххлористого кремния насодержание примесей органическихвеществ, Журнал аналитической химии,32, 1977, с. 1249-1250,Изобретение относится к анализу веществ высокой чистоты, в частност к гаэохроматограйическому анализу л тучих хлоридов элементов 111-Ч груп высокой чистоты, которые широко используются в радиоэлектронике, воло конной оптике и других отраслях про мьппленности,Известен способ гаческого определения омесей в треххлористомособой чистоты, включтельное отделение анасей от основы с после чественным определением, Отделе способ гаэохроматограйиеделения органических приххлористом боре, который едварительное отделение мых примесей от основы споследующим их количествеццым определением.фПредееа 1 еителеное отделение анализируемых примесей осуществляют путем5связывания основы с полиметилсилоксацом, нанесенным в количестве 10 Х .а цосцтель сйерохром.Недостатком способа является его ееевысокяя чуествительнос те1 ОПредел обнаружения анализируемых примесей при пробе (0,5-1 мкл) составляет 10 -10Наиболее близким по техническойсущности и достигаемым результатамявляется способ определения примесейорганических вещестг в четыреххлористом кремнии путем пропускяция пробы анализируемого вещества через колонку, заполненнчю диАениламиномна сйерохроме с последующим газохроматогряЬическим разделением выделееецых примесей.Недостатком способа является егоневьесокая чувствительность (5-8) 2510 об.7 при пробе 2 10 г, я такжевозможность определения примесей только в четыреххлористом кремнии.Целью изобретения является расенирение области применения способа иповьпцение его чувствительности,Указанная цель достигается предлагаемым способом, который состоит втом, что пробу анализируемого вещества пропускают через колонку, заполнеее-)ную комплексообразовятелем (К,( -дипиридилом на твердом носителе, с последующим гязохроматогряйическим разделением выделенных примесей.Отличительная особенность способасостоит в том, что в качестве комплексообразователя используют КМ -дипиридил.Способ состоит в следующем.Введенная в газовый хромятограА 45анализируемая проба подается газомносителем в реякеионную колонку, заполненную 207,-цым М,М -дипиридилом натвердом носителе - хромятоце.Реакционная и аналитическая колонки помещены в термостат хроматограЬя при 60-6 йпС,При прохождении пробы через реакционную колонку летучий хлорид образует с р,0 -дипиридилом чстойчивейнелетучий комплекс ЭС 1 П Ю,( в (,С Н И)где Э - элемент 111-Ч группы.В результате этого основа отделяется от анализируемых примесей, которые потоком гязя-ниителя подаютсяв аналитическую колонку, где они разделяются, и далее регистрируются детектором, Пределы обнаружения анализируемых примесей определяют по калибровочному гряееику.П р и м е р 1. Определение примесей органических веществ в тетрахлориде кремния высокой чеестотее (Б 1 С 14) .Анализируемая проба Б 1 С 1.4 (4 мкл),введенная в газовый хроматогряЬЦвет, подается аргоцом, осуепенным до 10 7, в реакционную колоннуразмером 2 мх 4 мм, заполненную207.-ным Ф,С -дипиридилом на хроматоне И-АИ-Н.ПЕБ. Скорость газа-носителя45 мл/миц. После прохоже(еееия пробычерез реакционную колонку отделенныеот основы примеси подаются потокомгаза-носителя в аналитическую колонку (4 мх 4 мм), заполненную 107.-цьемполиметилсилоксяцовым эластомером(Е)-301 на хроматоне. Реакционную ианалитическую колонку термостятируютпри 65 С. После разделения примесгрегистрируют электронно-захватцымдетектором. Для количественного определения анализируемых примесей строяткалибровочный график: площадь хроматограепического пика - концентрациявещества в газе.Определение примесей органическихвеществ в тетрахлориде германии(СеС 14), трихлориде бора (ВС 1 З),трихлориде ееосйоря (РС 1 5), трихлорсилане (Б 1 НС 1 ) осуществлялось аналогично примеру 1.В табл. 1 приведены пределы обнаружения анализируемых примесей в указанных хлоридах.П р и м е р 2 Определение примесей органических веществ в четыреххлористом олове (БпС 14).Анализируемая проба БпС 1 4 (4 мкл),введенная в газовый хроматограе Цвет 110, подается газом-носителем (аргоном) в реакционную колонку размером12 мх 4 мм, заполненную 207-ным М,О -дипиридилом на хроматоне,Скорость газа-носителя 45 мл/мин.После прохождения пробы через реакционную колонку отделенные от основыпримеси подаются потоком газа-носителя в аналитическую колонку (4 мхх 4 мм), заполненную 5 Х-ным нитрилсиликоновым каучуком (Е)=60 на хроматоне. Реакционная и аналитическая коолонка термостатируются при 65 С. По 5 753249 бсле разделения примеси регистрируются электроннозахватным детектором,,1 ля количественного определения анализируемых примесеи строят калибровочньв граАикплощадь хроматограАического пика - концентрация вещества в газе. Определение примесей органическихвеществ в четыреххлористом ванадии ЧС 1), треххлористом мьппьяке (АзС 1 ), 5гексахлордисилане (81 С 16) и окситрихлориде ванадия осуществляют аналогично примеру 2.Результаты сведены в табл. 2.сл - -сс 00 -ОХ ц ц Е б О ф Я 0 ф 44 О ХХЦ сс сссс й сЗО 41-С СОЧСС 1444 С 4 СС В1 1.1 1 1 1 11 1Л С СЧ с 4 с Ь с.с 0О О О м се1О О сс иъ 441ООООО Ц ЦЕ 1Е О 1ф Х 4н 01Хц11 1 1ц о 1 1оЭ е 1 11 О сс О л Со ьсо ЭЮ МФс ОООО с- Л 4 СС СОлСП .Ч СС 4 Со СЧ Сс 1 1 ОИ О О Е Э О й Д 40 ф 440 Х Х цсч ц1 Е1а1 Хе1й1 д1 Х1 с11 ОО4 сс ссО мсС 4 ссЖ ОО1О сч счм вС 4 -Э Ц0 ОЭ Хм сс Ь . Ь б 4 м4 Э1 44 1 СС 404 СССОС1алоО 1 С Сс С 4 С 4 Г Ф Сс1 - 1О фс, Е Х-,аОО 1 Х ХСОМС 4 СЧИ АСе1"фц х Сс 4 ЬЬ 444 аоц ц хЕ О СС 4 СССОСО1ЭХО1 Х Х ц 1-лссчс 444 Фсс1 111 1 1ы оЭ Ц 11о1 ф Х 1 моь1 ц1Э Х 1 -- - - ,-о.оЪсы МСЧСчм тиссцф, ЦЦХ 1 соеЕ 01 ОЬсЩ 01 ЫЭОы оЭ Цс о 1ЕХ 1 мЯЬФ.ЬссорцС - ., С С С О С .,Р.301-ХХ 4 1 С С 1:ЧСЧСИ ФССф ццх с 4 Э1 хЕ О 1:4 С