Устройство для контроля

3 7469 предметном столике размещается пров ряемая пластина или микроплата коммута-, ции, которая перемещается совместно спредметным столиком 11 .Недостаток этого устройства - слож 5 ность конструкции,Известны устройства для контроля гибридных интегральных схем, содержащие координатный стол с механизмом его перемещениясоединенный с блоком управления 1 о перемещением стола, блок памяти, размещенные на держателях зонды, соединенные через коммутатор с блоком измерения сопротивлений и блоком управления перемещением зондов 2315Недостаток устройств заключается в сложности оборудования контактирования, поскольку для перемещения каждого из двух держателей контактирующий игл по осям Х и У нужны специальные манипуляторы, изготовленные по высокому классу точности. Кроме того, раздельное перемещение указанных держателей требует затрат времени, что снижает производительность работы устройств. 25Йель изобретения - упрощение устройст ва и псеышение производительности его работы, Это достигается тем, что в устройстве для контроля преимущественно многослойных микроплат коммутации боль- зо щих гибридных интегральных схем с регулярным расположением контактных площадок, содержащем координатный стол с механизмом его перемещения, соединенный с блоком управления перемещением стола, З 5 блок ЭВМ, размещенныена держателе зонды, соединенные через коммутатор с блоком измерения сопротивлений и блоком управления перемещением зондов, зонды размещены на держателе двумя взаимоперпендикуляр ными рядами, в одном из которых количество зондов равно количеству контактных площадок в соотВетствующем ряду контролируемой микроплаты коммутации, а в другом ряду - на единицу меньше удвоенного количества контактных площадок другого ряда.На чертеже изображена функциональная схема описываемого устройства.Устройство для контроля преимущественно многослойных микроплат 1 коммутации содержит координатный стол 2, служащий для размещения микроплат 1 коммутации, с контактными площадками 3, зонды 4, размещенные на держателе дву мя взаимно перпендикулярными рядами, например Т-образно. Механизм перемещения стола 2 соединен через блок 5 управления 67 фперемещением стола с блоком ЭВМ 6, который через коммутатор 7 соединен с зондами 4 а через блок 8 управления пер мешением зондов - с электромагнитами 9, Блок 10 измерения сопротивления соединен с блоком ЭВМ 6 и коммутатором 7, На микроплате 1 коммутации размещены соединительные проводники 11.Устройство работает следующим образомМикроплата 1 коммутации устанавливается на столе 2, который может перемешаться в горизонтальной плоскости по двум ортогональным осям и по вертикали.Перемещением стола 2 совмещают Т-образный набор зондов 4 с крайним рядом контактных площадок 3 микроплаты 1, расположенных регулярным образом, например взаимно перпендикулярными рядами, Т-образный набор зондов 4 устанавливается на неподвижном держателе (на чертеже не показан). При этом количество зондов 4, например, в горизонтальном ряду, равно удвоенному количеству контактных площадок в одном из их рядов на проверяемой микроплате коммутации минус один зонд, а количество зондов 4 в вертикальном ряду Т-образного набора равно количеству контактных площадоКв другом их взаимно перпендикулярном ряду, Укаэанное соотношение количества зондов обусловлено тем, что один из этих зондов, а именно зонд, находящийся на пересечении горизонтального и вертикального рядов Т-образного набора, равно принадлежит обоим рядам и поэтому учитывается, например, как зонд вертикального ряда при определении количества зондов горизонтального ряда.В процессе работы устройства выходные сигналы сблока ЭВМ 6 посупают на входы блока 5 управления перемещением стола 2, блока 10 измерения сопротивления, коммутатора 7 и блока 8 управления перемещением зондов 4. В соответствии с управляющими сигналами блока ЭВМ 6 координатный стол 2, на котором. устайовлена проверяемая микроплата 1 коммутации, перемещается по заданной программе в горизонтальной плоскости по осям Х и У и в вертикальной плоскости по оси Е,Перемещение микроппаты коммутации относительно Т-образного набора зондов 4 осуществляется таким образом, что зонд, находящийся в точке пересечения горизонтального и вертикйльного рядов Т-образного набора, последовательно проходит в общем случае все контактные площадки 3Устройство для контроля преимущественно многослойных микроплат коммутациибольших гибридных интегральных схемс регулярным расположением контактныхплощадок, содержащее координатный столс механизмом его перемещения, соединенныйс блоком управления перемещением стола,блок ЭВМ, размещенные на держателезонды, соединенные через коммутатор сблоком. измерения сопротивлений и блокомуправления перемещением зондов, о т -л и ч а ю щ е е с я тем, что, с цельюупрощения устройства и повышения произ-водительности его работы, зонды размещны на держателе двумя взаимно перпендикулярными рядами, в одном из которых количество зондов равно количеству контактных площадок, в соответствующем рядуконтролируемой микроплаты коммутации,а в другом ряду - на единицу меньшеудвоенного количества контактных площадок другого ряда.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1, Патент США % 3446065,кл. 73-105, 19692, Патент СССР % 473383,кл, Н 01 С 17/00,1971 (прототип),микроплаты коммутации. При каждом из таких перемещений по командам из блока ЭВМ 6, поступающим через блок 8 управления перемещением зондов 4, осуществляется контактирование зондов 4 только с . теми контактными площадками 3, между которыми в данном положении Т-образного набора зондов производится измерение электрического сопротивления. Остальные зонды находятся в это время в поднятом 1 О положении, что исключает механические повреждения соответс твуюгпих контактных площадок 3.По программе, хранящейся в памяти блока ЭВМ 6, осуществляется последова тельное подключение с помощью коммутатора 7 соответствующих зондов 4 к блоку 10 измерения сопротивлений После коммутации блок 10 осуществляет измерение величины сопротивления между выбранны- щ 0 ми контактггыми площадками, а результат измерений вводится в блок ЭВМ 6 которая выполняет сравнение этой величины с уставкой, хранящейся в оперативной памяти ЭВМ 6. Если рассогласование изме ренной величины и уставки лежит в заданных пределах, то по команде блока ЭВМ 6 стол 2 перемешается в следующее заданное положение относительно Т-образного набора зондов 4, и цикл измерений повто- з 0 ряется. Если значение измеренной величины сопротивления и уставки различаются на величину, выходящую эа установленные пределы, на печатающее устройство из блока ЭВМ 6 любым известным способом выводится информация Брак".Во время каждого из циклов контроля соединений в многослойных микроплатах зонды 4 совмещаются избирательно только с теми контактными площадками 3, кото рыми заканчиваются проверяемые в данный момент соединительные проводники. Остальные зонды в данный момент находятся в поднятом состоянии. При перемещении Т-образного набора зондов 4 в другое 45 (очередное) положение проверяются связи, существующие уже между другими контакг ными площадками. Эго означает, что по заданноя программе осуществляется опускание части зондов, которые ранее 56 находились в поднятом положении, и их совмещение с соответствующими контактными площадками. Наряду и одновременно с этим осуществляется подъем ранее опущенных зондов 4. 55Подъем и опускание зондов 4 осуществляется с помощью электромагнитов 9, используемых по одному на каждый зонд. М 1 6Электромагниты 9 соединены жесткой тягой с зондами 4, Обмотки электромагнитовподключены к блоку 8 управления перемещением зондов 4, с выхода которогопитание на обмотки соответствующихэлектромагнитов подается по управляющимсигналам, поступающим в блок 8 из блокаЭВМ 6,Периодическое по заданной программеизбирательное и кратковременное совмещние зондов 4 только с заданными контактными площадками существенно уменыцаетвероятность механического поврежденияконтактных площадок (царапины, проколыи т. д.).Кроме Т-образного размещения, зонды4 при их расположении двумя взаимноперпендикулярными рядами могут бытьрасположены на держателе П-образно илиже Г-образно.В описанном устройстве исключаетсяиспользование раздельных манипуляторовдля перемещения двух держателей зондов,что упрощает устройство, повышает производительность его работы эа счет сокрашениявремени настройки,Формула изобретения