Электронный микроскоп

Союз Советскик Социалистических республ Н 01 У 37/26 ударстеенлц 3 кем сссрделам нзебретенн Д К 621.385, .83 3 ( 088.8) еткрытн 2) Авторы изобретени Н. Бобров и Г. И. Кузин пециальное конструкторское бюро биологическог приборостроения АН СССР(54) ОС КО ОННЫИ тного устройстрейф изображенияе углы наклона Изобретение относится к областиэлектронной микроскопии и может бытьиспользовано для исследования объектовс помощью электронного пучка при больших углах наклона,Известен просвечивающий электроннымикроскоп высокого разрешения со столиком с большим углом наклона 1),В этом устройстве наклон объекта осуществляется с помощью корпуса столнатками изв тся высокий точно больш н электронныи микроскоп, солик со сме патроном,мый, натальнойтаппионный в котором размещен н пример, относительно оси держатель объект электрический шаговь держателя 21 .Шаговые двигатели стве установлены снар микроскопа и передают телю объекта через ва ния посредством штан аклоняе горизо и ди Ф приво акло а и ско щего по нему в боковомсоосного наклоняющего койнаправл нуса, и ином жиненного тремя натяжнами и контактирующего с котеля образца. Горизонтальение наклоняющего конуса дпр жи на колоннеие держле уплотнеными пружинусом держаное переме движекуумнь еспечивается воздействующими на нег Н е достатком является значи жения, обусловл нических связей ности между дер бочими органами телей и прижим ма прикрепленными которые приводя при помощи меанизм писанном ус бъекта составляетвлении. стве 30 нтами к которым он пзонтальной пружиной,механическим тягам,в действие вручнуюи управления. В оугол наклона оов любом напра Не дос ва являю и недост объекта,Извес держащи известного устройства ельный дрейф изобранный наличием мехлзначительной протяженжателем объ.ктл и раисполнительных лвигпных пружин,721867 Конструктивная связь ротора двигателя с держателем объекта обеспечивает снижение количества внешнихсвязей и допускает одну степень свободы вращения, что позволяет резкоуменьшить дрейф изображения, Описашоеустройство обеспечивает высокое разорешение 5 А при углях наклона объектадо 80.о 1. Электронный микроскоп, содержащий15 столик со сменным патроном, в котором размещен цаклоняемый держательобъекта, и дистанционный электрическийшаговый привод наклона держателя,о т л и ч а ю ш и й с я тем, что, с20 целью уменьшения дрейфа, привод выполнен в виде шагового двигателя, установленного на столике, с пассивным ротором, закрепленным ца держателе объекта соосно с ним и связанным со стятором посредством коромысла, установленного в сменном патроне с возможностью продольного перемешеция,2, Микроскоп, по п. 1, о т л и ч а -ю ш и й с я тем, что на роторе шагового двигателя выполнен зубчатый венец, а ня взаимодействующем с нимконце коромысла выполнен зуб, профиль которого соответствует профилювпадин зубчатого венца,35 3. Микроскоп по п. 1, о т л и -ч а ю ш и й с я тем, что коромыслозакреплено в сменном патроне нв упругом шарнире,4. Микроскоп по п. 3, о т л и ч в -ю ш и й с я тем, что поверхностькоромысла, соприкасающаяся со статором, покрыта слоем инпия и коромыслу задано исходное смещение вдольоси, превышаюшее максимально возмож 45 ное отклонэнне в этом направлении вовремя работы. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе 1 М Воосьод, М/.4 "А НдИ-АндрееЖОдд 5 аде аког 1 ье б 50 кч НйасбЕ 0 есгоп И 1 сговсоре ", Реч 5 с ЭпМготч Я, й 4 (Э 73) Б М - 54 2.,2. Патент фРГ Мо 1,614528,кл, 21 37/10, опублик, 27,05,71(прототип) . Пель изобретения состоит в уменьшении дрейфа изображения,Пель достигается тем, что в предлагаемом устройстве электрический шаговый привод наклона пержателя выполнен в виде шагового двигателя, установленного на столике, с пассивным ротором,закрепленным на держателе объекта соосно с ним и связанным со статоромпосредством коромысла, установленногов сменном патроне с возможностью продольного перемещения, Коромысло закрепдено в сменном патроне ца упругом шарнире. Поверхность коромысла, соприквсаюдаяся со статором, покрыта слоем индия и коромыслу заданоисходное сцепление вдоль оси, превышаюдее максимально возможное отклонение в этом направлении во время работы.Па фиг. 1 показана конструкщиэлектрического шагового привода; нафиг. 2 - узел крепления держателяобъекта, на фиг. 3 - траектории рабочего движения коромысла.На чертежах обозначено: отблик 1,сменный патрон 2, цвклоняемый держатель объекта 3, пассивный ротор 4,электрический шаговый двигатель 5,коромысло 6, стенка колонны микроскопа 7, вакуумно-плотный электрический ввод 8 питания пвцгателя, подпружиненная насадка 9, пружинная накладка с призматическими пазами 1.0,цапфы 11, сетка-носитель объекте 12.Описанное устройство работает следующим образом.Расположенный на предметном столике 1 электрический шаговый двигатель5 содержит закрепленный на пьезоэлементах статор, движение которогоуправляется электрическими сигналами сприбора управления, Колеблющийся статор приводит в пвижение вдоль осиэлектронного микроскопа коромысло 6,концы которого движутся по замкнутымтраекториям (фиг.З), При таком дви. жении зуб коромысла входит в зацепление с зубчатым венцом ротора 4, поворачивает ротор на угол, соответствую 5 Оший одному рабочему ходу коромысла,выходит из зацепления и возврадаетсяв исходное состояние. М ногократнымповторением описанного движенияобеспечивается поворот ротора и ссор55ветстветвенно наклон объекта на заданныйугол,формула изобретения721867 Составитель В. Вдовиубина Техред С. Мигай ректор Г Назарова едактор аз 140/42 Тираж 844ЦНИИПИ Государственного компо делам изобретений и от113035, Москва, Ж, Раушская но ета СССР абд. 4/5 ипнал ППП Патент, г.Ужгород, ул,Проектна