Инструмент для ультразвуковой микросварки

(71) Заявител ОСВАРК РАЗВУКОВОИ М ДЛЯ(54) ИНСТРУ поэтомуэтой целрьия достаточн зовать дл деформирована н приходится испол дополнительные специальные губ бок приводит к у тройства Испольэеличению ание гу баритов(72) Авторы изобретенияС. В. Кулявцев, МИзобретение относится к ультразвуковой сварке мйкродеталей и мОжет быть использовано в полупроводниковой технологии при присоединении проволочных выводов диаметром 0,01-0,5 мм в процессе сборки полупроводниковых приборов.Известен инструмент для ультразвуковой микросваркн, выполненный в виде иглы, имеющей на рабочем торце плошадку"с продольной канавкой .Такая геометрия рабочей площадки является оптимальной, так как продоль- ная канайка фиксирует проволочный вы- вод от бокового смешения и ограничивает его деформацию в процессе сварки 1Однако обрыв проволочного вывода после последней сварки производится обычно при помощи специальных губок. Для повышения надежности обрыва необходимо заднюю кромку рабочей площадки инструмента делать возможно более острой, с другой стороны, для увеличения прочности вывода переход от, сварной точки к недеформированному сечению должен быть плавным, для этогообе кромки рабочей площадки следуетделать скругленными.Известен также инструмент для микросварки, выполненный в виде иглы,имеющей., по крайней мере, две рабочиеплощадки с продольными канавками ирежущую кромку на одной из плоша- Одок 12 .Острая задняя кромка второй площад.ки деформирует только ту часть сечения вывода, которая находится под плоскостью площадки, а основная часть сечения, расположенная в канавке, практически не деформируется, что не позволяет осуществлять обрыв проволокипри помощи инструмента, так как проволока в месте предполагаемого обрываИнструмент для ультразвуковой микросварки, выполненный в ьиде иглы,имеюшей, по крайней мере, две рабочие30 плошадки с продольными канавками и реяжушую кромку на одной из плошадок,о т л и ч в ю ш и й с я тем,что, сцелью увеличения степени деформированияв месте обрыва проволоки, режущаяЗ кромка выполнена в виде перемычки,т между кромкой площадки и линией пересечения плоскости плошадки и плоскости,секущей йродольную канавку перпендикулярно ее продольной оси.40 Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. ОСТ 11 П 0,409,003-72, с. 3,2. Патент СШЛ % 3934783,кл. 228-110, 1976. 3 :;.:-".: . -:.,.: .7 2рабочего торца инструмента, йтб снижает его технологические возможности.Цель изобретейия - увеличение степени деформироввния в месте обрыва проволоки,Поставленная цель достигается тем,что в известном инструменте для микро сварки,выполненном в виде иглы, имеющей, по крайней мере, две рабочие пло-щадки с прдольными" канавками и режущую кромку на одной иэ площадок, режушая кромка выполнена в виде перемычки между кромкой плошадки и линией йересечения йлоскостй площадки иплоскоети, секущеМ . продольнуюканавкуперпендикулярно ее продольной оси,Нв фиг. 1 изображен рабочий торецинструмента, общий вид; на фиг. 2варианты (в, б, в г) схемы присоединения выводов.Инструмент выполнен в виде иглы 1с двумя рабочими площадками, имеющими продольные канавки 2 и 3. Канавка 2 ограничена спереди перемычкой 4образующей режушую кромку. Для подачипроволочного вывода под рабочую площадку ййсгрумент имеет капиллярное,отверстие 5 прямоугольного сечения.После последней сварки (фиг, 2 а) инструмент 1 перемешают относительнопроволочного вывода 2 "гак, чго режушакромка 3 передавливает вывод непосредственно за сварной точкой 4 (фиг.2 б).Затем инструмент перемешают вдольоси вывода и производят обрыв (фиг.2 в)Первую сварку ноъого вывода производяэтой же плошадкой (фиг,2 г).11 р и м е р, Инструмент изготов-.ляют из .сплава ВК 6 М. На рабочем"торце инструмента выполняют две рабочие г,лошадки с продольнымй"квйввквмирадиусом 14 мкм иглубиной 7 мкм..Внутри одйой из канавок в передней еечасти нв всю ее глубину выполняется 9834 4перемычка шириной 15 мм, образующаярежущую кромку. Длина рабочей плошадки 80 мкм, Квпдллярное отверстие инструмента в поперечном сечении70 х 40 мкм.,С помошью указанного инструментаг.роводяг присоединение проволочныхвыводов диаметром 27 мкм из алюминияк контактным площадкам и траверсвм 10 полупроводникового прибора методомультразвуковой сварки.Квпиллярйое отверстие прямоугольного сечения даег возможность перемешать инструмент перпендикулярно оси 15 приваренного вывода., Укаэанная схемаприсоединения и обрыва выводов позволяет отказаться от использования каких-либо дополнительных устройств дляподачи и обрыва, что существенно упрощает конструкцию сборочного оборудования, повышает его надежность и универсальность. 25 формула изобретения, Патрушева Заказ 2749 с ПП "Патент", г. Ужгоро ул, Проектная илиа 113Ф Составитель Н, ТютченковаТехред О. Андрейко Корректор Т, Скворцоваое Тираж 1160 ЦЙИИПЙ Государственногопо делам изобретений и 5, Москва, Ж, Раушс Подписи омитета СССР 1 открытий я набд. 4/5