Инструмент для микросварки проволочных выводов

Союз Советски кСоциапистичесиикРеспублик ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ и 948582(51)М, Кл. В 23 К 20/10 с присоединением заявки И Ьеударствнный кемитет СССР ао делам изобретений и еткрытиЯ(23)Приоритет Опубликовано 07 08 82 БюллетеньДата опубликования описания 07.08,82(54) ИНСТРУМЕНТ ДЛЯ МИКРОСВАРКИ ПРОВОЛОЧНЫХВЫВОДОВ 1Изобретение относится к области микроэлектроники, а именно к области микросварки давлением,Известен инструмент для микросварки,содержащий капиллярное отверстие для подачи5проволочных выводов и расположенную нарабочем торце продольную канавку (Ц и (21Основным недостатком таких инструментов является отсутствиедатчика наличия привариваемого проводника в продольной канавке, что приводит к большому количеству бракованных сварных соединений.Наиболее близким техническим решениемк изобретению является инструмент для мик.росварки проволочных выводов, выполненныйв виде злектропроводящей иглы, имеющейкапилляр для подачи проволоки и продольнуюканавку на рабочем торце 131.Недостатком известного инструмента является отсутствие возможности определять наличие проволоки в продольной канавке инструмента в процессе сваркиЦелью изобретения является повышениекачества соединений за счет. определения в процессе сварки наличия проволочного выводав продольной канавке.Цель достигается тем, что в инструментедля микросварки проволочных выводов, вы.полненном в виде электропроводящей. иглы,имеющей капилляр для подачи проволокии продольную канавку на рабочем торце, наповерхность инструмента, противоположнуюповерхности с капилляром, нанесены изолиру.ющий и токопроводящий слои, при этом наружный токопроводящий слой выполнен отстоящим от торца инструмента на величину0,7 диаметра присоединяемого вывода и сходящимся к рабочему торцу инструмента довеличины, равной ширине продольной канавки,На фиг. 1 дан инструмент, вид сбоку; нафиг. 2 - то же, вид спереди; на фиг. 3 - тоже, вид сверху; на фиг. 4 - узел 1 на фиг.1;на фиг. 5 - узел 11 на фиг, 2,Инструмент для микросварки содержит кор.пус 1, капиллярное отверстие 2 для подачипроволочных выводов, размещенную на рабочемторце 3 продольную канавку 4, на поверхностьинструмента, противоположную поверхности с394858калилляриым отверстием 2, нанесен слой токопроводящего материала 5 в виде полосы, сходящейся к рабочему торцу 3 инструмента доширины продольной канавки 4, электрическиизолированного от корпуса 1 слоем диэлектрика 6; при этом токопроводящий слой 5 выполнен отстоящим от рабочего торца 3 на величину до 0,7 диаметра присоединяемого проводника,Слой токопроводящего материала 5, изоли орованный от корпуса 1 слоем диэлектрика 6,нанесен на боковую поверхность инструмента,это позволяет получить датчик наличия привариваемого проводника в продольной канавке4 и датчик контакта инструмент-свариваемыедетали,Инструмент работает следующим образом.Сварочный инструмент опускают на подложку, к которой приваривают проводник. В случае налиащ проводника в продольной канавке4 в момент опускания сварочного инструментана подложку, проводник замыкается на токонроводящий слой. 5, образуя электрическийконтакт между токопроводящим слоем 5 ипривариваемым проводником Образовавшийсяконтакт можно легко зафиксировать с помощью любого электроизмерительного прибора,например омметра, При наличии контактаЮ зону сварки. подается сварочный импульс,в противном случае с целью предотвращениячрезмерной деформации и соскока инструмента с проводника необходимо повторно располо,жить привариваемый проводник в продольной.канавке 4. Инструмент был изготовлен из сплава ВК 6 М,З 5 На рабочем торце 3 инструмента выполнена продольная канавка радиусом 15 мкм, Материал слоя диэлектрика 8102, толщина 1 - 2 мкм; толщина токопроводящего слоя В 2 - 3 мкм.С помощью данного инструмента проводили присоединение проволочных выводов диаметром 27 мкм к контактным площадкам и траверсам полупроводникового прибора.Экономический эффект от внедрения инструмента заключается в повышении выхода годных приборов" путем снижения процента брака на операции приварки проволочных выводов,Формула изобретенияИнструмент для микросварки проволочныхвьводов, выполненный в виде электропрово-.дящей иглы, имеющей капилляр для подачипроволоки и продольную канавку на рабочемторце, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что,с целью повышения качества соединений засчет определения в процессе сварки наличияпроволочного вывода в продольный канавке,на поверхность инструмента, протнвополож.ную поверхности с капилляром, нанесены изолирующий и токопроводящий слои, при этомнаружный токопроводящий слой выполненотстоящим от торца инструмента на величину0,7 диаметра присоединяемого вывода и сходя.щимся к рабочему торцу инструмента до величины, равной ширине продольной канавки,Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1, ОСТ, 11,409,017,10 - 79, с, 57 - 60.2. Патент США Иф 3986653, кл, 228 - 44.1,1976,3. Колешко В. М. Ультразвуковая микросварка. Минск, "Наука и техника", 1977,с, 256, 302-303 (прототип).