Система управления процессом металлизации внутренних поверхностей кинескопов

41 Ц: тим,."сики1 иО 11 и 1 е 1 а 511 Е 4- .. " Ф. Союз Советск ихСр 1 иплиетицвсиикРеспублик ОЛ ИГРАНИ Е(71) Заяв 1 тель 54) СИСТЕМЛ УПРЛВЛЕНИЯ ПРОЦЕССОМ МЕ 1 ЛЛЛИЗЛЦИИ ВНУТРЕН ПСИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ КИ 1-1 ЕСКО 11 ОВНаиболее б тема управлен 111, вкл 1 очаО 11 ьгй через бло кала цспарцт ВОГО СИГНаЛа напыления, со ля напьобез О режцмоь,своимика регутеля 2 1 хода рован Н едос та тконизкое кач ес тв этои системы является металлизациц из-.а не мизации режимов наны достаточной 15 пения. Цель изо чества метаисте,остич ОЗВОЛ качественок, тиаряемоадсорбиЕРЦИОННкрыт ия ации за счет Оптнмизпы лен ця. а на лл лцз пылеци 51 мета ик благодарЕСКЕ 6 ОЛЬПГОГО К ЧЕСКХ ПЛ ЧИО В ЦСличестваЛОВОй Цг веской по к ии процесса наУказанная ц 1 налиль достигается ния проне ом элементом И, а ежима напылепи коррекции раж на ем, чтеталлиблок система управлезации снабженарегулирования ржен субблоками анньх газов испарте 151 с н жат дефекты и с од снабма паенно 1 плспки ос по тошцине н Изобретение Относится к областипроизводства электровакуумных приборов, а именно к системам управлен 151 процессом металлизации поверхностей электровакуум 1 гьх приборов детодом на пылен ця,Известная система управления процессом напыления металлчес 1 о пленок вклочаопа 1 ис 11 арптель, блок регулирования тока накала испарителя и датчики контроля нагы 1 ен 1 я, подк 1 поченнье к указаплому блоку, дает возможность регулировать процесс металлизации по велцчие ионцо о тока лапьляемого вешестьа 1 1. нОка к пред па гаемо й с исия процессом металлизаая испаритель, соединен регулировация тока ная с блоком подачи пуско- блок регулиро 1 ания режима единеьнпй с датчиками ения, и блок управления ажиГх 1 ня, сосдипешьй ми с первьм входом блоця тока накала цспар 69 345940 гл,тпецця по амплитуде пика обезгажцванп 51 ц по Лтос.ИЯО иОцнОГО тока, при этолл11 атуцки контроля напыдеци 51 соединенычерез дифференцирующие цепи с первымц вторым Входами одока управления рекиуиом обезгаживания, Второй Вход коТОРОГО СОЕДУУЯЕН СО ВЧОв-тМ ВХОЯОЛ: ЗПЕ.лсоулта И и третьпм входом суббпокя торрокции напыления по уровню ионноготоуса, второй вход которого соединен сЯ;ервым выходом блока управления рекимом обезгаживания и со вторым входомсуббпока коррекции режима НапыленияПО аллцууцтугтЕ 11 ИКЯ О 6 ЕЗГЯЖИВЯНИя, ВтОрЫЕВЫХОДЫ СуббусОКОВ КОррЕКцИИ рЕКИМа НаПЫПЕНИЯ СОЕЛЯПЯ 8 НЫ С ПЕРВЫМ ВХОДОМэлемента. И, Вькод которого соедяпуен со.гвтсрьтлл Входом блОка рег 5 ггплрОвацил топя цакала цспарцтеля и с третьим Вьуходсм 6 ЛОКя гцравлеяуц 51 рОЖИЛЛОМ 068 ЗГяустсванця, третий вход которого соединенс иьродом блока ууодачи пусковсго сигнала, а четвертьуй входс исцаритеПЕи.Иа чертеже представлена блок-схемаТИСтЕМЫ уцравпсцця ТГООНЕССОМ МЕТЯЛЛИзации,цс тем содержит исутартутель 1,вццоуусуый с блоком 2 по;уац цусковоу 01 сцауся уерез блок 3 регулирования то.ся накала испарцтеля 1. Блок 4 управленгтл регкцмолу обезгажцвания первым ивторыми входами соединен с цонпьцлчЯЯТСнкял.ц Коцтррля 1 тацЫЛЕНИ 5 с 5 ц 6ЧЕРЕЗ ДутСЯУфЕРОЦЦИРУУО 1 Т 1558 ЦЕПИ 7 и Я,:" цсок я 8 Г 1 гутууройану 151 режима няусь 1 печиясодержит суббпок 9 коррекции рекулллаНапыления пс амплитуде пика 0683 ГОукиВания и суббдок 1 О коррекцуц 1 реусилслТтаТ 1 ЫП 8 НУгл ЦО УРОИ 1 ТО ЦОЯП 10 ГО Тбна, 1 РИчем суббпоус 9 1.ыполнен в виде комлуутятора и ягейки памяти, а субблок 10В внле коммутатора и лупуии задержкипетреус 1101 ОН 1151 (ня схеме це п 01 сазяны) .Система Вклуочает также элемент И 11,который вторым входом соединен соВторьум Входом блока 4 и первым Входом .=- со вторыми выходами суббпоков9 ц 1 О, датчик 5 соединен также спервымн Входами субблоков 9 и 10 ттретийВхОд суобпока 1 Осоединенсо Вторым ЕухОдом элемента И 11 и со вторым выходомблока 4 упраВпения режимом ОбезГажиВаниявторой выход которого соединен с перууымВходом блока 3 реГулирования тока накалац с первыми выходами субблоков 9 и:Я,О, со вторыми выходами которьгх соединен первый вход элемента И 11, а 10 О 5 30 35 выход элемента И 11 соединен со вторым Входом блока 3 регу. ированил тока накала ц третьим выхолом блока 4 управления режимом обезгаживания, третий вход которого соединен с шгхолом блока 2 подачи пускового сигнала, а четвертый Вход - с испарцтепем 1.Система управления процессом метадлцзации работает спедууошим обра ОМ.Блок 2 подает пусковой сигнал ня блок 3 регудировация тока накала и блок 4 управления режимом обезгакцвянил, последний подает сигнал ца блок 3 длл управления током цау"рева испарителя 1 . Прохождение тока через ис.царитель 1 Вызывает дегязацию яуполлупуиеутоуу цавески ц исгуаритепя 1, уто цриво 11 ит к появлению ионного тока в лйтчиусах 5 ц 6, сиуцаус О Г которых через лууфференцируюуусие цепи 7 и 8 постутуает па первый и Второй Вхо,;ы блока 4, при этом ца третьем выходе блока 4 форлсируется суп цап, поступаюуццй В блок 3, котогьтй 01 купО 1 Яст питанусе ттспарултепгт 1 ц вклю"яет сго через опредопеппый промежуток Врсмеци, загаНЫуту 6;10 КОЛЛ 4 туг 1 ргтВЯТЕНН 51 рЕЖ 1 ГъЛОЛЛ С 6 ЕЗГЯкцвацуля,. 1 срОНЕСС Оту: ТЯОЧ;1 уц 51 Никли 1 НО новторлетсл ДО достижения Необходимой степени обозгажцванил в соответствии с программой режима обезгяжулваци 51, после чего наступает про- ЦЕСС ЦЯПЬУЛЕЦИЯ. ПРИ Отг ЧГТСТВИИ СИГНЯ- па Яуя первом ц Втор 011 вхс.лах блока 4 первый выход его полает сицап на Второй вхоЛ субблока 9 и третий ууход субблока 1 О,Такулул образом окажутся автоматически отусляочецны ми Вс е блоки, связанные с обезгажигуанием цасескц и исясярителя 1. Поскольку это обезгаживание происходит в импульсном режтце, амуулитуда теллперятур нагрева испарения 1 может быть Выбрана существенно большей, чем в режикле непрерывного обезгяживяния. Это сушественцо улучшает обезгаживяние и резко уменьшает выделение газов из испарителя 1 в начадьньуй моллент напыления, что способствует в конечном итоге улучшению качества пленки и опгимизации процесса напыления. Система снабжена также устройством аварийного отключения на случай нарушений режима работы схемы, Если В заданное время я не произойдет откгпочецие коммутатора тока нягрегуя оугятелным6 934596ного тока, с датчика 5 проходит черезубблок 10 и,поступает на первый входблока 3 регулирования тока накала испарителя 1, Однако переключение с о.5 ного вила коррекции тока нагрева падругой произойдет только ппц сс.ловилналичия импульса па второь. :холе субблока 10 коррекции режима пагылспппо уровню ионного тока, Прн появлениина втором входе элемента И 11 сигнала,соответствующего спаду ионного тока и,следовательно, окончанию процесса напыления, элемент И 11 отключает токнагрева цспарцтеля 1 подачей соответствующего сигнала на второй вход блока 3, ц система перехолпт в исхолпсосостояние.Оптимальное управление процессомиспарения позволяет получать нашчлсп 20ные металлические слои значительно 25 30 35 40 45 50 55 импульсом обезгаживания, с первых выходов субблоков 9 и 10 и на четвертый вход блока 4 не поступит сигнал,отключающий блок 10 и свидетельствующий о конце обезгаживания, то реле времени само подает сигнал, производящийотключение блока 10 (этот сигнал аналогичен сиги,1 лу, вырабатываемому вторым выходом блока 10), После отключения блоков, связанных с дегазаццей,происходит включение системы в режимнапыления с корректировкой тока нагрева испарителя 1 по амплитуде последнего импульса обезгаживания. Это происходит следующим образом. Значениеамплитудь импульса обезгаживания заводится с выхода датчика 5 (по отрицательным ионам) на первый вход субблока 9 коррекции режима напыления поамплитуде пика обезгаживания, где этозначение хранится до прихода следующего импульса, Прцхол каждого нового импульса сопровождается стиранием старого значения амплитуды подачей навторой вход субблока 9 памяти амплитуды пика обезгаживания импульса спервого выхода блока 4, Таким образом,в памяти блока 9 хранится значениеамплитуды только последнего импульсаобезгаживания,Применяя известную линейную зависимость между амплитудой импульсаобезгаживания и значением ионного токав режиме напыления, истюльзуют ее дляформирования сигнала корректировки тока нагрева испарителя в режиме напыления Это происходит следующим образом. При наличии включающего сигнала на втором входе субблока 9 сигнал,формируемый на его первом выходе, подается на первый вход блока 3, которыйустанавливает на своем выходе сигнал,зависящий от суммы сигналов на еговходах. Послелней стадией работы системы ,является переключение режима с корректировки тока нагрева испарителя 1 по амплитуде пика обезгаживания на корректировку нагрева по значению ионного тока, что достигается следующим образом. Импульс, подаваемый с первого выхода блока 4 на второй вход субблока 9 и третий вход субблока 10, через заданное время отключает субблок 9 и открывает субблок 10 для прохождения сквозь него сигнала. Таким образом сигнал, соответствующий значеццчо ионлучшего качества, улучшает однородностьраспределения пленки по площади экрана, существенно сокращает брак ц экономит время, затрачиваемое на нанес епце пленок. Формула изобретения Система управления процессом металлизаццц внутренних поверхностей кинескопов, включающая испарцтель, соединенный через блок регулирования тока накала испарцтеля с блоком подачи пускового сигнала, блок регулирования режима напыления, соединенный с датчиками контроля напыления, ц блок управления режимом обезгаживания, соединенный своими выходами с первым входом блока регулирования тока накала цспарителя, о т л и ч а ю ш а я с я тем, что, с целью улучшения качества металлизации за счет оптимизации процесса напыления, система снабжена элементом И, а блок регулирования режима напыления.снабжен субблоками коррекции режима напыления по амплитуде пика обезгаживания и по уровню ионного тока, при этом датчики контроля напыления соединены через дифференцирующие цепи с первым и вторым входами блока управления режимом обезгаживания, второй вход которого соединен со вторым входом элемента И и третьим входом субблока коррекции реФима напьления по уровню ионного тока, второй вход которого соединен с первым выходом блока управления режимом обезгаживанця и со вторым8ВХОДОМ СубОЛОКа Кор 13 ОКП;ПЛ рЮЕптфа НЯГЪХ.", м ГфГСЬйна, а ЧЕТВертЫЙ ВХОД - С ИС -ленпя по амплитуде пика обезгажиьаний,ф . даунгелем,втсые выходы субблоков коорекнии рс- Источнни нпформаии,жГяа пагпялеппя Соединены с первым прин)вгые ВО внимание при экспертноевхсдом элегиента И, выход которого сседннеп со вторым входом бпока регулирования тока накала исп".Оптел и с трот , д ввходом блока 7 пв.влепив рс кнмо;1ОО"згаживания, третй вход которого соедпчен с Ря,гходот . блока поданп пусково 1, Авторское сгнлдетелвство СССРПодпис номите га СССРкрыти;ая наб,. д. 4/5 Тираж 923 ударственлоБвобретений Ж, Ра;Г 1 И Г Ко и ДОЛаМ Мос кв 1 13035,. дск Филиал 11 ПП "Пагент", г. Ужгород,. ул. Проектная, 4