Способ получения борсодержащих покрытий

(1 И 621802 Союз Советских Социалистичесюа республик(21) 2379236/22-02 присоединением заявки3) Приоритет С 23 С 11/О Гфеудврфтеаннюй квинтетВеввта Мнннвтреа СССаю дман нзйртееан онантФ 43) Опубликовано 304 Б) Дата опублнков(54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ БОРОСОДЕ ПОКРЫТИЙИзобретение относятся к патучепокрытий путем термического разложсоединений на поверхностн нагретой иложки, в частности к полученшо бордержащих покрытий с проводящими налектрнческнмн свойствами, которыегут быть кспользоввны в апектротехнческой промышленности.Известен способ получения боросожащнх покрытий путем термическоголоження трихлорнда бора в смеси сом пори температурах, превышающкх1 ооо с ф.Однако известный с воляеполучать покрытия тол ектрнкими свойствами.Наиболее близким к изобретению итехнкческому существу и достигаеморезультату является способ полученияросодержвщнх покрытий щтем термнго разложения хлорида бора нли днборв смеси с аммиаком, азотом илн нх сСыо 21.Однако известляет получать т пособ поэ ько с днап ный способ также поэвсмолько диапектрнческке нню .покрытия н имеет вязкую скорость осаження дення - 50-10 О мкм/ч прн нспольэованкнод- . хлоркда бора н 5-10 мкм/ч прн нспопьос озояаннк днб врака.дн- . а Предложенный способ отличается отмо- нзвестного тем, что с целью ннтенснфнн- кацнн процесса к псаучення покрытий стокопроводящнмн н днэлектрнческимн свойдер- ствамн в качестве соедянення бора берутраэ р трехфторкстый бор эфнрат н процесс проаммиа. водят прн температуре подложки 70 О 140 О С к соотношения трехфтористого бо.-ара афнратв к аммиаку 1: (1-24), прнт чем для попучення покрытий с токопровочео тЗ дящнмн свойствамн процесс осуществляютопрн температуре подложки 700-1100 Со и соотношении трехфторнстого бора эфираму та к аммиаку 1: (б), а для получебо ння;дналектрнческих покрытий - при темоческо пературе 1200-1400 С н соотношенииана 1: (1-5).ме- Характер формнрующнхся покрытий определяется ак температурой подложки, такн соотнашенкем трехфтористого бора афи 2% рата к вммнаку. Температура подложки700 С является минимальной для осаждения покрытия. При этом скорость осаждения составляет 9-15 мам/ч. При температуре подложки 1400 С скорость осаж дения составляет 2775 мкм/ч. Однако дальнейшее повышение температуры нецелесообразно, так как приводит к образованию некомпактных покрытий при незначительном увеличении скорости осаждения.При снижении соотношения трехфтористогс бора афирата к аммиаку менее 1: 116 степень использования основного сырья снижается до 20%, а увеличение укаэанногб соотношения более 1:24 приводит к снижению скорости осаждения и ухудшению качества покрытий вследствие ден 35 дритообразования.Трехфтористый бор эфират представляет собой комплексное соединение бора с общей формулой ВСН Р О и выпускается по ТУ 6-09-804-71.Полученные осадки по составу соответствуют оксикарбонитриду, бора, причем в осадках с диэлектрическими свойствами содержание азота составляет 35- 52 ат.,%, а в осадках с токопроводящи 2 ми свойствами - 5-1 ат, Ъ при содержании углерода 40-507 о. Последнее свидетельствует о формировании в покрытии нестехиометрического а оксикарбонитрида, обогаценного углеродом.Температуры 1100 и 1200 С ограничивают области получения токопроводящих и диэлектрических покрытий. Область температур от 1100 до 1200 С является переходной.Влияние температуры на свойства покрытий, получаемых при атмосферном давлении, и скорость осаждения представлены в табл. 1.Из данных табл 1 видно, что предложенный способ поэвопяет вести осаждение со скоростью до 2775 мкм/ч, что значительно интенсифицирует процесс.Для получения многослойных покрытий с чередованием проводящих и диэлектрических слоев в одном технологическом цикле последовательно изменяют условия осажденияП р и м е р 1. На молибденовую проволоку, нагретую в атмосфере водорода, наносят многослойное покрытие с чередующимися слоями проводника и диэлектрика при условиях, укаэанных в табл. 2. При этом температуру в испарителе т;рех-, фтористого бора эфирата поддерживают в пределах 110-115 С.П р и м е р 2. При необходимости получения однослойного проводящего покрытия процесс осуществляют при условиях, указанных в табл, 2.Таким образом, предлагаемый способ позволяет получать покрытия с проводящими и диэлектрическими свойствами в одном технауогическом цикле, а также многослойные покрытия с чередованием диэлектрических и токопроводящих слоев при высокой скорости осаждения.,0 Проводяпок ыт р ие свло-серого пвета толщиной40 мкм я проподл сс осуществляю жкн 700-1100 хфторнстого бора рн температурен соотношениирата к аммиаку н м л 1: (6-24).3, Способ по п. 1, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью получения покрытий с диэлектрическими свойствами, процесс осуществляют прн температуре подложки 1200-1400 С и соотношении трехфтористого бора эфирата к аммиаку1; (1-5).Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:1. Высокотемпературные неорганические покрытия. Под реь Дж. Гуменика, Мау Металлургия1 968 у са 7 12. Криворучко В. М. Получение тугоплавких соединений из газовой фазы, М., Атомиздат, 1976, с. 16-20. сова Коррект витель Е. дА, Богдан. Демчик дактор 3. Хо ва 177 Полли комитета Совета Мин ретений и откр;:тий5, Раушская э д. 4 сноенстро Заказ 4991/5 ЦНИИПИ1303 1. Способ получения боросодержащих тр покрытий путем термического разложения 3 з галогенсодержащего соединения бора в смеси с аммиаком на поверхности нагретой подложки, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью интенсификации процесса и получения покрытий с токопроводя- а щими и диэлектрическими свойствами, в качестве; галогенсодержащего соединения бцра берут трехфтористый бор эфират и пр(щесс проводят при температуре.подлож ки 700-1400 С и:соотношении, трез фтористого бора эфирата к амиаку 1: (1 - 24).2. Способ по п, 1, о т л и ч а ю зц и й с я тем, что, с целью получения покрытий с токопроводящими свойствами, 50 филиал ППП Патент г. Ужгород, ул. Просити Двухслойное покрытие; .внутреннийслой - проводниктолщиной 130 мкм, наружный слой- диэлектрик черного цвета толщиной 25 мкм, про бнвное напряжение 3,5 кВ