Пила

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических РеспубпикВ 2825 1 вв 1 йвфвтввввы 1 ввввтвтСвввтв Мввввтввв СССРвв Иввв ввв 1 рвтввв 1в ютврмтвй иоритет(45) Дата опубликования описания 25 ь 1077 79 8 053(088.8) Авторыизобретения П.В.Кобин н Ю.П.Коби 1 Заявител 4) ПИЛА Изобретение относится к полупроводниковой промышленности, а именноК станкам для разделения заготовокполупроводниковых приборов, особеннопластин со структурами и рисункамиинтегральных схем,Известна пила для разделения плас"тин, содержащая направляющую и полэун, которая имеет защитное устройство .ЫНедостатком указанной пилы является то, что защитные устройства недают необходимой гарантии от загрязнения трущихся поверхностей абразивным материалом.Также известна пила для разделенияпластин полупроводниковых приборов,включающая направляющую и привод, ввиде кинематически связанных междусобой кривошипно-шатунного н параллелограммного механизмов, одно иэзвеньев параллелограммного механизмавыполнено в виде полэуна Г 2).Недостатком этой пилы являетбя то.что прн обработке инструментом онане обеспечивает плавного воздействияна обрабатываемую заготовку, в, результате чего около пропилов образуютсяледопустимые сколы и нарушения структуры материала, При выполнении глубак лож мой их пропилов процесс обработки осняется неполным удалением сиимаестуржки, а зто ведет к уменьшению скорости распила.Цель изобретения - повышение про."иэводительности и износостойкостипилы.Это достигается тем, что пила снабжена дополнительными 1 параллелограьвяным и кривошипно-шатунным механизмами, причем первый связан с основным чпругинв звеньями, второй - припомощи зубчатых колес, направляющаявыполнена одним иэ,звеньев дополни-.тельного параллельграммного механизма.Ча фиг. 1 изображена предлагаемаяпила, общий вид на фиг. 2 - схемамитично предлагаемая направляющая с уттругими шарнирамит на фнг. 3 - направляющая с упругими звеньями.Пила состоит из станины 1, двигателя 2, суппорта 3, направляющей сползуном 4 и средств обеспечения воз-действия инструмента на разделяемую в заготовку. Инструмент 5 в виде нитей,лент или лезвий крепится на полэуне,а разделяемая заготовка 6 - на суп"порте. Для прикрепления инструментаползун содержит присоедннительные 30 элементы 7.,Параллелограммные механиэмы состоят из эненьев 4, 8-13,причем звено 8 общее для обоих параллелограммов, звено 4 - ползун, звено9 - неподвижное оснонание направляющей, а эненья 10-13 упругие. Шарнирные сочленения звеньев выполнены ввиде упругих опор 14.Кривошипно-шатунные механизмы 15 Й26 соединены между собой зубчатыми койесами с передаточным отношением=1,кривошипы при помощи шатунов 17 и 18соответетненно с общим звеном и полнуном. Соотношения длин звеньев параллелограммов, радиусов и фаз вращеМмя кривошипов дают множество разнорбразных Форм движения 1 ползуна. Орга"ны 19 и 20 регулируют длины звеньев,основания и общего энена, а 21 - изменяет величину размаха и Фазы движения общего звена.Предлагаемая пила работает следую" ИОим образом,Нитяной инструментв виде натянутой на раму системы параллельных проВолочек - нитей " укрепляют на ползуНе 4, а обрабатЫваемую заготовку, на- Фпример приклеенную воском к технологической подложке подлежащую разделению пластину со структурами и рисунками интегральных схем, закрепляютйа суппорте 3. Затем совмещают ваго1 овку с инструментом и задают необхоДимое для обработки давление рабочейподачи, т,е, давление нитей инструМента на заготовку Не снимая давления рабочей подачи, ползун с инстру" фментом перемещают в крайнее положениЕи регулируют направляющую .на требующуюся Форму движения инструмента, нданном случае на егодополнительные,повороты-качания.Сущность регулировки сводится кизменению длины общего звена 8 доразмера, при котором ползун,с инструМентом понорачивается так, чтобы углыкзгиба нитей инструМента при их входеда заготовку и сходе с заготовки былиодинаковыми.,В процессе обработки двигатель 2 вращает вал кривошипно-шатунного механизма 16, при помощи которого сообщает закрепленному на полэуне 4 инструменту 5 обрабатывающие движения., Совершая эти движения, инструмент пе" риодическй меняет свое положение ото.- сительно заготовки. В момент симметричного расположения перед суппортом он йараллелен его плоскости, поддерживающей заготовку. При перемещении к тому или другому крайнему йоложению конец. инструмента, находящий на заготовку, отводится от нее, а конец, удаляющийся от заготовки, все больше и больше надавливает на последнюю так, что нити инструмента с обеих ее сторон образуют одинаковые углы изгиба относительно заготовки. Формула изобретенияПила для разделения пластин полупроводниковых, приборов,. включающаянаправляющую й привод, н виде хине"матически связанных между собой кривошипно-шатунного и параллелограммногомеханизмов, причем оцно из звеньев,параллелограммного механизма выполнено в виде ползуна,о т л и ч а ющ а я с я тем, что, с целью повыше ния производительности и износостойкости, пила снабжена дополнительнымипараллелограммным и криношипно-шатунным механизмами, причем дополнительйый параллелограьщный механйзм сняэанс основным упругими звеньями, а дополнительный кривошипно-шатунный механизм - при помощи зубчатых колес,причем направляющая. выполнена однимсиз Ьвеньбв дополнительного паралле-лограммного механизма.Источники инФормации, принятые новнимание при экспертизе:1, Лвторское свидетельство СССР9 209947, кл . В 23 В 1/00, 19642 . Патент Франции Р 1292867, кл .В 2813 1/00, 575221575221 Сост ави тел ь К. Хамидул овфщ н ех И Рокси" Ко ек о А.Вла Ввкаэ 3966/1 ЦНИИПИ Го ССР 35 Филиал ППП Патент, г. Ужгород, Ул. Проектная Тираждарственнопо деламМосква Ж 714 Подписиоео комитета Совета Министр эобретений и открытий 55 а Ракянская наб. ц 4