Всесоюзная п1тейтп-г: ; -gt; amp;: п-; библиот: ка

Союз Советснин Ссциалистичесних РеспублинЗависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 04,1,1971 ( 1626056/26-9) 1. Кл. Н 051 с 310 рисоединением заявкиКомитет и ам ПриоритетОпубликовано 21.1 Х.1972. БюллетеньДата опубликования описания 28.1 Х,1972 аобретений и отноытийпри Совете МинистровСССР УДК 621.396.6.049.75 .002.5 (088,8) Авторыизобретения А. А, Мерлин, 3. М, Славинский,Р. В. Деулина, Н, Г, СимскаяОГОКРАТНОГО На фпт, 1 изображена схема фотокопировальной установки; на фиг. 2 - двухкоординатный стол; на фпг. 3 - механизм передачидвижения от привода к каретке.Фотокопировальная установка многократного действия содержит двухкоординатныйстол 1 с верхней и нижней каретками поперечного и продольного перемещения, лазерный интерферометр 2 для управления столом,10 приводные элементы 3 каждой каретки, репродукционную камеру и электронный блокуправления (не показаны).В интерферометр входят газовый лазер 4,светодслительная пластина 5, раздваивают 5 щая лазерный луч, светоделительная пластина 6, пройдя через которую два параллельных луча расходятся под углом 90, два неподвижных зеркала 7, две светоделительныепластины 8, направляющие лучи через зер 20 кальные призмы 9 в фотоприемные устройства 10, связанные с электронным блоком управления, два подвижных зеркала 11 наверхней каретке,Верхняя каретка 12 с аэростатическими на 25 правляющими перемещается относительнонаправляющей 13, неподвижно закрепленнойна нижней каретке 14, также с аэростатическими направляющими, которая перемещается по направляющей 15, неподвижно закреп 30 ленной относительно стола. Изобретение от товления интегра приборов, в част тошаблонов при микросхем. носится к технологии изгоьных и полупроводниковых ости, для изготовления фопроизводстве интегральных Известна фотокопировальная установка многократного действия, преимущественно для изготовления фотошаблонов, содержащая двухкоординатный стол с двумя каретками с аэростатическими направляющими, интерферометр с газовым лазером, светоделительную пластину, установленную под углом к оси лазера, элементы привода и механизмы перемещения кареток, репродукционную камеру с негативом и электронный блок управления.Цель изобретения - повышения точности шагового перемещения координатного стола. Достигается она тем, что механизмы перемещения кареток предлагаемой установки выполнены в виде подпружиненных стержней, один конец каждого из которых жестко связан с приводом кареток, а другой выполнен в виде сферы, взаимодействующей с конической поверхностью опорной пластины, связанной через элементы качения, например шарики, с опорной поверхностью кареток, а аэростатические направляющие замкнуты в горизонтальной плоскости кареток. П, Булычев, В. А. Калачев, , Х, Хитрин, Б. А, Овсов,М, Сундукова и В. В, Емели3На верхней каретке установлена рамка 1 б, с фотошаблоном 17.Чтобы механический привод не мог воздействовать на аэростатические направляющие, каждая каретка снабжена механизмом перемещения в виде стержня 18, один конец которого жестко связан с приводным элементом, а другой выполнен в виде сферы, связанной с кареткой пружиной 19.Через опорную пластину 20, расположенную на шариках 21 в сепараторе 22, каретка взаимодействует с приводными элементами. В пластине имеется отверстие с конусной поверхностью 2 З, взаимодействующей со сферической поверхностью стержня. Светоделительная пластина 5 интерферометрарасполагает два параллельных луча в горизонтальной плоскости, совпадающей с плоскостью экспонирования.Аэростатические направляющие кареток замкнуты также в горизонтальной плоскости, что обеспечивает плавность движения и исключает перекосы. Установка работает следующим образом.Рамку 1 б с заготовкой фотошаблона 17 укладывают в исходном положении на верхнюю каретку 12 под негативов экспонируемой схемы, расположенной в репродукционной камере. Каретка под действием привода перемещается по оси Х на шаг, равный шагу размещения схем на фотошаблоне. При движении зеркала 11 вместе с верхней кареткой на фотодиодах наблюдается инерференциопная картина, вызывающая на выходе фотодиодов импульсы, считываемые реверсивным счетчиком электронного блока управления. Достигнув заданной координаты, кареткаостанавливается, и происходит экспонирование, Шаговое перемещение с последующим экспонированием производится на всей дли не фотошаблона по оси Х. Затем нижняя каретка передвигается на шаг по оси У, т, е.на следующий ряд, и процесс шагового перемещения и экспонирования,продолжается аналогично описанному выше. После обхода 10 всей рабочей площади фотошаблона столостанавливается. Предмет изобретения15 Фотокопировальная установка многократного действия, преимущественно для изготовления фотошаблонов интегральных микросхем, содержащая двухкоординатный стол с двумя каретками с аэростатическими направ ляющими, интерферометр с газовым лазером, светоделительную пластину, установленную под углом к оси лазера, элементы привода и механизмы перемещения кареток, репродукционную камеру с негативом и элект ронный блок управления, отличающаяся тем,что, с целью повышения точности шагового перемещения координатного стола, механизмы перемещения кареток выполнены в виде подпружиненных стержней, один конец каж дого из которых жестко связан с приводомкареток, а другой выполнен в виде сферы, взаимодействующей с конической поверхностью опорной пластины, связанной через элементы качения, например шарики, с опорной 35 поверхностью кареток, а аэростатические направляющие замкнуты в горизонтальной плоскости кареток.352424 гг авитель Е. Куликов Техред Л, Куклин Корректор Е. Усов федот Редак Сапунова,Типография аказ 3341/17 Изд.1356 ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений Москва, Ж, РауТираж 406 Подписное открытий при Совете Министров СССР ая на 6., д. 4/5