Генератор для объемных интегральных схем

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 0555 19) ( 1) 7(14 01 Л 29/00, Н ГОСУДАРСТВЕННО ВЕДОМСТВО ССС ГОСПАТЕНТ ССС АТЕНТНОЕ ИЗС)Б НИ И СВИДЕТЕЛЬСТВУ К АВТО РС я к радиотехнике приемно-передано в устройствах шение термоумов и излучефильтрации,Генераторхем работает(71) Московский институт электронного машиностроения(54) ГЕНЕРАТОР ДЛЯ ОБЪЕМНЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ(57) Использование: изобретение относитсяк электронике СВЧ и может быть использовано в устройствах обработки сигнала. Сущность изобретения; генератор для обьемных Изобретение относитси может использоваться вющей аппаратуре, а именобработки сигнала.Цель изобретения - повыстабильности, уменьшение шния, увеличение самодобротности и мощности.На фиг.1 представлен генератор для объемных интегральных схем; вид сверху, его продольный и поперечный разрезы; на фиг. 2 показан фрагмент генератора с активными элементами.Генератор для объемных интегральных схем (фиг.1) содержит щелевую линию 1, первый конец которой является выходом генератора и в которую параллельно включен активный элемент 2 и резонатор 3, выполинтегральных схем содержит входную щелевую линию, активный элемент и резонатор, выполненный из слоев металлизации, расположенных через слои диэлектрика с вырезанными круглыми отверстиями друг под другом, на внешних краях слоев металлизации расположены поглощающие пленки, в слоях металлизации вырезаны шлейфы щелевых линий, в которые включены активные элементы, Повышение термостабильности и уменьшение шумов генератора достигается в результате увеличения добротности резонатора при выборе расстояния между слоями металлизаций, обеспечивающем запредельность участков плоских волноводов образованных ими,ненный в виде пакета М параллельных металлических слоев 4 с круглыми отверстиями 5, соединенных через слои диэлектрика 6, второй конец щелевой линии соединен с круглым отверстием 5 металлического слоя 4. Центры круглых отверстий 4 смещены один относительно другого, а по периметру внешних краев металлических слоев 4, кроме участка щелевой линии 1, расположены поглощающие пленки 7, В металлических слоях 4 выполнены щелевые шлейфы 8, закороченнце на одном конце 9, в которые включены дополнительные активные элементы 10 и которые другим концом соединены с круглыми отверстиями 4 обьемных интегральнцующим образом.При подаче управляющего напряжения на активные элементы 2, 10 возникает генерация СВЧ волн, которые возбуждают в резонаторе 3 волну основного типа Ноц. Поскольку для данной волны основной ток протекает по внутреннему краю круглых отверстий 5, то потери в резонаторе практически равны потерям в диэлектрике (О 10"). Потери за счет других типов волн исключаются, благодаря выбору запредельных пазмеров слоев диэлектрика б (б Й/2 Ч) и введению поглощающих пленок 7 на внешние стороны металлических слоев 4. Экспериментально получено, что улучшение самофильтрации резонатора 3 достигается при смещении соседних центров круглых отверстий на величину не бол ее 0,14,/1 Я. Рост числа активных элементов 10, включенных в щелевые шлейфы 8 позволяет увеличить выходную мощность генератора, Потери на излучение исключаются благодаря введению со стороны крайних металлических слоев экранов либо . параметры крайнего слоя диэлектрика должны удовлетворять следующему условию д2 лЛО, где д - поперечное (в плоскости слоя) волновое число.Увеличение функциональных возможностей генератора, например, для суммирования мощности, в каждый металлический слой включены активные элементы или для распределения мощности по слоям в обьемной интегральной схеме в слоях металлизации выполнены выходные щелевые линии.В зависимости от функции генератора активные элементы в резонаторе могут быть генераторными, усилительными, варэкторными и др, Резонатор может быть возбужден не только щелевой линией, но и полосковой, копланарной, диэлектрической, а также активными пучками электромагнитных полей. Конструктивной красотой генератора является возможность выполнения резонатора по монолитной технологиисовместно с активными элементами.Формул а изобретен и я 5 1. Генератор для обьемиых интегральных схем, содержащий щелевую линию, первый конец которой является выходом генератора, в которую параллельно включен активный элемент, и резонатор, о тл и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышениятермостабильности и уменьшения шумов, резонатор выполнен в виде пакета параллельных й слоев металлизаций с отверстиями, расположенными одно под другим, 15 соединенных через слои диэлектрика с диэлектрической проницаемостью й, где 1 - номер слоя, и толщииами б А/2 Я, где 3 О- длина волны, щелевая линия выполнена в 1-м слов металлизации, причем первый ее 20 конец подключен к внешней кромке металлизации, а второй - к внутренней.2, Генераторпо п.1, отличэющийс я тем, что, с целью увеличения самофиль трации, центры отверстий металлизэцийсмещены один. относительно другого на величину не более 0,1 АО/Я, а иа внешней кромке 2-й, З-й, , й-й метэллизаций нанесены поглощающие пленки иа расстояниях 30 ие менее б 1 от их внешних кромок.3. Генератор по и, 1, о т л и ч а ющ и й с я тем, что с целью увеличения мощности сигнала, в металлизациях выполнены щелевыв шлейфы, закороченные иа 35 одном конце, в которые включены дополнительные активные элементы и которые другим концом подключены к внутренней кромке соответствующей метэллизации,4, Генератор по п.1, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью уменьшенияизлучения, в резонатор со стороны крайних металлизаций введены экраны.фффф 4фффффеф фф е ф ф 4ффф ф Составитель В. ГвоздевРедактор С, Кулакова Техред М.Моргентал Корректор Т. Вашко Заказ 2524 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СС 113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5