Способ определения дефектов пленки

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 5 ц 5 0 01 й 15/О ОБРЕТЕНИЬСТВУ ТОРСК ЕТЕ 2(71) Латвийский государственный университет им, П.Стучки.(56) Авторское свидетельство СССР й. 1453260, кл. 0 01 й 15/08, 1986,Авторское свидетельство СССР В 1354067, кл. 6 01 й 15/08.(54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ДЕФЕКТОВ ПЛЕНКИ ользование: изобретение относится е контроля-пленочныхматериалов и быть использовано в электронной ленности. Сущность; способ заклюпротягивании исследуемой пленки меру измерейия, состоящую из нех частей с заданными выбранными частей и чувствительностью детекзмеряют количество прошедшего енку газа;-по которому судят о деленки. 3 з,.п.ф-лы.(57) Ик техникможетпромышчается вчерез касколькидлинамиторов. Ичерез плфектах и Изобретение относится к технйке контроля качества пленочных матерйалов.Известны способы определения сорбционных параметров, характеристик пористых материалов, проницаемостипористйхматериалов, основанных на массопереноседиффузанта, используемого в качестве зонда, в исследуемом материале,Эти способы не позволяют разделйтьдефекты различного типа в материале.Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является способ измерения проницаемостй газов и паровчерез мембраны, основанный на созданииперепада давлений между двумя камерами,разделенными мембраной, и измерении потока газа или пара,Способ не позволяет разделты разного типа в мембране,Цель изобретения - расширение инфор-.мативности путем обеспечения возможности разделения дефектов в исследуемойпленке,Поставлен чтоисследуемую камеруизмерения со средней скоростью, определяемой из условий-(-, )- 2где- скорость протягивания пленки, м/с;. б - длина камеры измерения, равнаятребуемой тонности локализации дефектовпленки, м;О - коэффициент диффузии через материал пленки газа, используемого в качествед, м/с;Оц - коэффициент диффузии через дефективные места пленки газа, используемого в качестве зонда, м 2/с;1 - толщина пленки; м,поддерживают внутри камеры измеренияпостоянную концентрацию газа,используемого в качестве зонда, преимущественногелия, с одной (входной) стороны пленки,измеряют количество прошедшего черезпленку газа в начальной части камеры длиной СЛ ч ить дефекдб 0-2 ная цель достигается тем, пленку протягивают через ОСУДАРСТВЕ ННЫЙ КОМИТЕТО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМРИ ГКНТ СССР ОПИСАНИЕ И 1 Т 53372 Аной стороны пленки в камере поддерживается постоянное парциальное давление Не,равное одной атмосфере. С выходной стороны пленки, имеющей коэффициент диффузии для Не О = 10 см /с, гелийпоявляется, только продиффундировав через дефектные места с коэффициентом диффузии Оц 5 10 см 2/с или через дырки, таккак число Фурье Р для диффузии через пленКуР= =0021,ОЛт1а для диффузии через дефектыРд = - Я -- = 21.О Л12Длина начальной части камеры измерения с выходной стороны пленки бо = 0,5 см,поэтому через дефектные места с коэффициентом диффузии Од = 10 см /с гелий неуспевает пройти, так как число Фурье дляначальной частиРд. = - 9 - =02 1,О бо12 чСигнал о появлении гелия в начальной частикамеры измерения с выходной стороныпленки свидетельствует о наличии дыркйили другого дефекта с коэффициентом диффузии для гелияч . сР/с 1,боИспользуя детектор, регистрирующИйгелий с чувствительностью р = 1015 атом, иобеспечивая концентрацию гелия в пленкена входной стороне С =10 ат/см, обнаруживают дефектные места с повышенным коэффициентом диффузии Оц = 10 см 2/с собщей площадью, превышающейЯ )-+ - = 0,3 10 см .. По сравнению с известным предлагаемый способ позволяет определить наличие нескольких типов дефектов пленки, Способ позволяет обнаружить в пленке дефекты структуры, не меняющие плотность, и поэ. тому не поддающиеся обнаружению с помощью рентгеновской дефектоскопии и других методов, основанных на измерении отклонений плотности от средней, Способ позволяет эффективно проверять качество металлического покрытия на полигерной пленке, а также разные другие многослойные пленочные изделия. Непрерывность процесса измерения позволяет легко использовать способ в качестве части непрерывного технологического йроцмессЗ изготовления пленки,Формула изобретения1, Способ определения дефектов пленки, основанный на создании перепада кбнцентраций между двумя камерами,5 разделенными пленкой, и измерении проникающего через плейку потока, о т л и ч аю щ и й с я.тем, что, с целью расширенияинформативности путем обеспечения разделения дефектов, протягивают исследуе 10 мую пленку через камеры измерения соскоростьюбо ч Од22где б - длина камеры измерения, равнаятребуемой точности локализации дефектовпленки,м;Од - коэффициент диффузии через дефектные места пленки газа, используемогов качестве зонда, м 2/с;О - коэффициент диффузии газа черезпленку, м 2/с;1 - толщина пленки, м,поддерживают внутри камеры измеренияпостоянную концентрацию газа, используемого в качестве зонда, с входной стороныпленки, измеряют количество прошедшегочерез пленку газа в начальной части камерыдлиной боч 1 /Од с Выходной стороны2пленки и в последующих одной или нескольких частях камеры длиной б 1ч 1 /Од каждая свыходной стороны пленки черезинтервалы времени Ь 1б/ч, причем концентрацию зондового газа выбирают из условия.35 с; с;с ц 1 дчАОд бОц 13где Я - минимальная суммарная площадьдефектов на участке пленки длиной б, которую необходимо обнаружить, м;40 С - концентрация газа в приповерхностном слое пленки с входной стороны С ==КР, где Р. - давление, Па,К - константа равновесия;рчувствительность детектора газа,см,и по наличию зондового газа с выходнойстороны пленки в начальной части камерысудят о наличии сквозных отверстий в пленке, а по наличию зондового газа В последующих частях камеры - о наличии дефектныхмест с увеличенной скоростью диффузии.2. Способ по п.1, о т л и ч а ю щ и й с ятем, что, с целью проверки сплошности поверхностного покрытия пленки, измерениеколичества выделившегося зондового газа свходной стороны пленки проводят после нагревания пленки непосредственно послепРохожд 8 ния плеНкой части камеры с зондовым газом.1753372 8 Составитель Е. КармановаТехред М,Моргентал . Корректор А Ворорич Редактор В. Данко Заказ 2764Тираж . Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 3. Способ по и 1, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что внутри камеры измерения с входной стороны пленки поддерживают давление, превышающее давленйе с выходной стороны пленки. 4. Способ по п.1, о т л и ч а ю щ и й с ятем, что в качестве зондового газа используют смесь нескольких газов с различными характеристиками взаимодействия с плен кой.