Вакуумный манипулятор

(ц) Н 01,1 37/2 САНИЕ ИЗОБРЕТЕН СТВУ рукторское строения Н ия АН СССР чнотельство ССС 1 37/20, 198 льство СССР Л 37/20, 198 ельство СССР Л 37/20, 198 Фиг ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМРИ П(НТ СССР К АВТОРСКОМУ СВИД(71) Специальное констаналитического приборотехнического объединен(57) Изобретение относится к вакуумной технике и может быть испольэова но в электронной спектроскопии. Целью изобретения является сокращение време ни подготовки и ввода пробы и расширение Функциональных возможностей эа счет обеспечения выборочного анализа проб, Устройство содержит вакуумную камеру предварительной подготовки проб, в которой расположен эубчатореечный телескопический механизм 3 с вакуумным вводом 4 и кассета 5, выпол ненная в виде вращающегося барабана с прркинными захватами для образцов.1705913 Носитель 18 с пробой в подложке вводится в вакуумную камеру и устанавливается над кассетой 5. Вращением рукоятки вакуумного ввода 7 толкатель 10с выступами обеспечивает отклонениекассеты от оси вращения с центромв районе гибкого элемента навстречу сносителю 18. С помощью пружинного захвата проба передается с носителя 18на кассету, после чего кассета возвраИзобретение относится к вакуумной технике, в частности к вакуумным манипуляторам и вводам высоковакуумных установок для электронной спектроскопии, и может быть применено в областях науки и техники для исследования поверхности твердых тел и обеспечениявозможности проведения химического анализа металлов, определения энергии 25 связи электронов внутренних валентных оболочек атомов и т,д,Цель изобретения - сокращение времени подготовки и ввода пробы в анализатор ц РасшиРение функциональных возможностей за счет обеспечения выборочного анализа проб. На фиг, 1 представлено устройство, общий вид на фиг. 2 - разрез А-А на935 фиг. 1; на фиг. 3,4 - кассета, в двух проекциях: на фиг, 5,6 - то же, разрез.Устройство состоит из вакуумной камеры 1 предварительной подготовки 40 проб с фланцем 2 для высоковакуумной откачки, соединенной через фланец,с вакуумной камерой анализатора (не показано). В вакуумной камере предварительной подготовки проб расположен 45 зубчато-реечный механизм телескопический 3 с вакуумным вводом 4, а также кассета 5, выполненная в виде бара. бана с ячейками, содержащими пружинные захваты для подложек с образцом, каждая из которьчс;набжена подложкой с образцом фиг3, Кассета имеет два вакуумных ввода 6 и 7 и жестко закреп. лена на оси вращения 8 с гибким элементом 9, соединенной с толкателем 10,,55 Зубчато-реечньп телескопический меха- низм 3 имеет шток-рейку 11 с направляющей 12 и носитель 13, расположенный на конце шток-рейки. 11 позовая кащается в исходное положение. Поворотомвокруг оси можно заполнить пробами всюкассету. Для подачи проб в анализаторноситель останавливают перед кассетой 5, которая отклоняется толкателем10 от своей оси навстречу держателюштока-рейки, после чего проба снимается с кассеты и подается в анализатор. 6 ил. мера 14, с уплотнителем 15 и клапаном 16 имеет шток 17 с носителем образцов 18 ввода 19. Вакуумная камера 1 предварительной подготовки проб перекрывается клапаном 16 ввода 19. Клапан 20 предназначен для подачи проб в камеру анализатора.Устройство работает следующим образом.Подложка с пробой устанавливается в носителе 18 штока 17 вакуумного ввода 19 шлюзовой камеры 14 в атмосфере при перекрытой клапаном 16 вакуумной камеры 1 предварительной подготовки проб, После этого шлюзовая камера 14 герметизируется и откачивается до среднего вакуума, далее, открыв клапан 16 вводится носитель 18 с пробой в подложке в вакуумную камеру 1 предварительной подготовки проб для передачи пробы в ячейки с держателями кассеты 5, при этом носитель устанавливается над кассетой, Вращением рукоятки вакуумного ввода 7 толкатель 10 с выступами обеспечивает отклонение кассеты от осц вращения с центром в районе гибкого элемента 9 навстречу носителю 18 штока 17 вакуумного ввода 19. С помощью пружинного захвата кассеты фиг, 3 носитель 18 передает пробу на кассету, после этого шток 17 ввода 19 и кассета 5 возвращается в исходное положение. Таким образом поворотом вокруг оси 8 можно заполнить пробами всю кассету 5. Для подачи пробы в камеру анализатора (не обозначена) открывается клапан 20 и вращением рукоятки вакуумного ввода 4 осуществляется поступательное движение штока-рейки 11 зубчато-реечного телескопического механизма 3 с закрепленным на конце носителем 13. При этом носитель 13 останавливается перед кассетой 5, которая вращением рукоятки вакуумного ввода 7 отклоняется толкателем 10 от своей оси вращения навстречу держателю штока-рейки после чего проба снимается с кассеты носителем 13. Установленная на шток- рейке 11 подложка с пробой подаются в анализатор, Отработанная проба с подложкой возвращаются в вакуумную камеру 1 предварительной подготовки йроб штоком-рейкой 11 обратным ходом механизма, Вращение кассеты для установки и снятия с нее подложек с образцом относительно оси вращения осуще ствляется вращением рукоятки вакуумного ввода 6.Предлагаемый манипулятор позволяет выполнять выборочный поэтапный ввод проб в анализатор беэ нарушения ваку- д ума и чистоты проб, а сохранение в камере предварительной подготовки проб высокого вакуума позволяет значительно сократить время ввоца пробы и ее подготовки к анализу. Дополнительный 25 ввод манипулятора через шлюз малого объема позволяет производить анализ проб в любой последовательности без нарушения вакуума и чистоты проб, и в целом получать качественный и быстрый анализ проб. Формула изобретенияВакуумный манипулятор, содержащий камеру предварительной подготовки проб с фланцем для высоковакуумной откачки, соединенную с вакуумной камерой анализатора и включающую зубчато-реечный телескопический элемент с вакуум- ным вводом, а также кассету с носителем лбраэцов, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью сокращения времени подготовки и ввода пробы в анализатор и расширения функциональных воэможносте, эа счет обеспечения выборочного анализа проб, он снабжен шлюзовой камерой с клапаном, в которой устанОвлен шток с носителем образца для ввода пробы, а кассета выполнена в виде вращающегося барабана с пружинными захватами для образцов, двумя вакуумными вводами и жестко закреплена на оси вращения с гибким элементом, соединенной с толкателем.1705913 Редактор М.Товтин ктор С. Шекмар Заказ 198 одписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 11303 5, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5изводственно-издательский комбинат "Патент", г.уагород, ул. Гагарин ст хр ль Н,Катинова