Способ контроля герметичности изделий

С 0103 СОВЕ ГСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 9) (11) 0.01 М 3/02 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТПРИ ГКНТ СССР ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ К АВТОРСКО ВИДЕТЕЛЬСТВУ афин и В,К,Вла ство СССР02, 1987.Я ГЕРМЕТИЧ спектро- рметичвысить щают из- раивают ится к масс контроля г ляет и роля. Разме мере, Наст ветствует елия, Т - мной кам е(21) 4733198/28(54) СПОСОБ КОНТРОСТИ ИЗДЕЛИЙ(57) Изобретение относметрическим методамности и позвочувствительность контделие в вакуумной ка Изобретение относится к контрольноизмерительной технике и позволяет осуществлять контроль герметичности изделий масс-спектрометрическим методом.Цель изобретения - повышение чувствительности контроля путем исключения влияния монотонно изменяющейся нестабильности,На фиг, 1 представлена принципиальная схема установки для реализации способа; на фиг. 2 - сигнал компенсируемого течеискателя, настраиваемый на регистрацию пробного газа без компенсации; на фиг.3 - сигнал некомпенсируемого течеискателя, настраиваемого на регистрацию компонентов остаточного газа с молекулярной массой, близкой к молекулярной массе пробного газа; на фиг. 4 - сигнал компенсируемого. течеискателя после компенсации сигналом некомпенсируемого течеискатекомпенсируемый течеискатель на.регистрацию пробного газа, а некомпенсируемый течеискатель - на регистрацию компонента остаточного газа вакуумной камеры с молекулярной массой, близкой к молекулярной массе пробного газа. Компенсируют выходной сигнал компенсируемого течеискателя выходным фоновым сигналом некомпенсируемого течеискателя, при этом гасятся как высокочастотные случайные флуктуации, так и монотонно изменяющаяся нестабильность, связанная с уменьшением газоотделения изделия. По результирующему сигналу компенсируемого течеискателя судят о герметичности изделия. 4 ил, 1 табл,Участок а - б (фиг. 2) соотналу на негерметичность издмя. Установка состоит из вакуу 1, в которой размещено испытуемое изделие 2, и пневмопульта 3. Вакуумная камера 1 откачивается вакуумным насосом 4, к которому подключены компенсируемый 5 и некомпенсируемый 6 течеискатели, Последниесоединены вакуумным трубопроводом 7 и электрической цепью 8. Течеискатель 5 настраивается на регистрацию пробного газа. Течеискатель 6 настраивается на регистрацию одного из компонентов остаточного газа вакуумной системы, близкого по молекулярной массе к молекулярной массе пробного газа.Данное условие объясняется тем, что стабильность работы откачных вакуумных насосов зависит от молекулярной массы компонента остаточного газа вакуумной системы (см. табл,), В таблице представлено отношение величины фоновой флюктуации выходного сигнала течеискателя Ла ф к величине фона йф.Данные получены экспериментальным путем и в определенной мере характеризуют современный уровень развития массспектрометрического метода контроля герметичности.Если компенсируемый течеискатель 5 настраивается на регистрацию пробного газа гелия, то некомпенсируемый течеискатель 6 следует настраивать на регистрацию водорода, Если в качестве пробного газа используется аргон с м,ч, 40, то некомпенсируемый течеискатель настраивается на углекислый гаэ с м.ч. 44.Стабильность откачки газов с близким молекулярным весом одинакова, следовательно, флюктуации.течеискателей, настроенных на различные газы, будут типичны, Вместе с тем процессы газовыделения пробного газа и других компонентов подобны между собой (фиг. 2 и 3). Произведя компенсацию сигнала компенсируемого течеискателя 5 сигналом некомпенсируемого течеискателя 6, гасим флюктуации и нестабильности первого. Вместе с тем сигнал, вызванный утечкой пробного газа, не может быть скомпенсирован, поскольку такой вид изменения потока газа не регистрируется некомпенсируемым течеискателем 6,Способ контроля герметичности изделий осуществляется следующим образом,Изделие 2 размещают в вакуумной камере 1, Камеру 1 и иэделие 2 обеэгаживают. Компенсируемый течеискатель 5 настраивают на регистрацию пробного газа гелия, а некомпенсируемый течеискатель 6 - на регистрацию водорода,Изменяя чувствительность течеискателей, подбирают условия, при которых величина фонового сигнала и нестабильность двух течеискателей близки между собой. Компенсируют выходной сигнал компенсируемого течеискателя 5 выходнымсигналом некомпенсируемого течеискателя6. При этом гасятся флюктуации сигнала5 компенсируемого течеискателя 5, Подаютпробный гаэ в изделие 2, Если изделие 2негерметично, то появится сигнал, которыйне может быть скомпенсирован сигналомнекомпенсируемого течеискателя 6, По ве 10 личине данного сигнала судят о негерметичности изделия.Чувствительность способа повышается,так как производится гашение как высокочастотных случайных флюктуаций течеиска 15 теля, так и монотонно, изменяющейсянестабильности, связанной с уменьшениемгазоотдачи изделия, Кроме того, простотасистемы по сравнению с известными обеспечивает дополнительное повышение чувстви 20 тельности и технологичности способа,Реализация способа в производстве позволяет значительно сократить длительность испытаний (не менее чем на 5 - 6 ч)изделий с большими потоками газовыделе 25 ния и большими фоновыми потоками пробного газа, сократить его расход, уменьшитьтрудоемкость испытаний,Фарула изобретенияСпособ контроля герметичности изде 30 лий в вакуумной камере, заключающийся втом, что некомпенсируемым течеискателемизмеряют фоновый поток газа, фоновымсигналом некомпенсируемого течеискателягасят фоновый сигнал компенсируемого те 35 чеискателя, измеряющего суммарный потокпробного газа из вакуумной камеры, и порезультирующему сигналу компенсируемого течеискателя судят о герметичности иэделия, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью40 повышения чувствительности, измерениефонового потока газа осуществляют путемрегистрации компонента остаточного газа вакуумной камеры с молекулярной массой,близкой к молекулярной массе пробного газа.451693411Составитель Л,Пилишкинаэктор О.Хрипта Техред М,Моргентал Корректор В,Гирняк аказ 4069 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКН113035, Москва, Ж, Раушская наб., 45ственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул,Гагарин