Способ контроля герметичности изделий

СОЮЭ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 9) (11) 6 б 01 М 3 02 ТЕТ СССРИ ОТНРЫТИЙ УДАРСТВЕННЫЙ КО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИ ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕ ДЕТЕЛЬС ТОР СНОМ(71) Горьковский ордена Трудового Красного Знамени политехнический институт им. А. А. Жданова(54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ГЕРМЕТИЧНОСТИ ИЗДЕЛИЙ(57) Изобретение относится к контролю герметичности масс-спектро метрическим методом и позволяет повысить чувствительность и надежность контроля путем обеспечения возможности обнаружения течи до достижения недопустимого для течеискателя газового потока. Контролируемое изделие помещают в камеру, в изделие подают пробный газ, после выдержки пропускают пробу газа из камеры через селективно проницаемый по пробному газу элемент на течеискатель, по показаниям которого судят о негерметичности изделия,. причем площадь селективно проницаемого элемента выбирают из условия обеспечения требуемой чувствительности, а толщину - из условия превышения времени достижения, допустимого для течеискателя полного газового потока через селективно проницаемый элемент над временем достижения минимального регистрируемого тече- искателем потока пробного газа, а селективно проницаемый элемент выполнен из открытопористого материала. Это позволяет зарегистрировать течь и отсечь поток газа от гечеискателя до того, как газовый поток через селективно проницаемый элемент достигнет максимально допустимого для течеискателя. 1 з. и. ф-лы, 1 ил.45 50 55 Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при контроле герметичности изделий масс-снектрометрическим способом.Цель изобретения - повышение чувствительности и надежности путем обеспечения возможности обнаружения течи до достижения максимально допустимого для течеискателя газового потока,На чертеже изображена схема устройства для реализации способа,Устройство содержит камеру 1 для размещения контролируемого изделия 2, газопроницаемую приставку 3 с селективно проницаемым по пробному газу элементом 4, полость 5, по одну сторону которого сообщена через клапан 6 с камерой 1, а полость 7 по другую сторону селективно проницаемого элемента 4 сообщена через клапан 8 с те чеискателем 9 вакуумного поста 10, сообщенного через клапаны 11 и 12 соответственно с полостями 5 и 7. Селективно проницаемый элемент 4 изготовления в виде набора дисков, площадь которых выбирается из условия обеспечения требуемой чувствительности, а толщина - из условия превышения времени достижения допустимого для течеискателя полного газового потока через селективно проницаемый элемент над временем достижения минимального регистриуемого течеискателем потока пробного газа.Селективно проницаемый элемент 4 может быть выполнен как из микропористого материала с молекулярным режимом течения газов через поры, так и из материалов с избирательной способностью (полимерные материалы), проницаемость которых обусловлена наличием электронного взаимодействия между молекулами газа и твердого материала.Способ контроля герметичности изделий реализуется следующим образом.Изделие 2 помещают в камеру 1, последнюю герметизируют, в изделие 2 подают гелий и выдерживают изделие 2. Одновременно полости 5 и 7 приставки 3 откачивают насосами вакуумного поста 10 до давления 5 10мм рт.ст, После выдержки изделия 2 закрывают клапаны 11 и 12, открывают клапаны 6 и 8 и содержимое камеры 1 перепускают в полость 5 приставки 3. Через селективно проницаемый элемент 4 из микропористого материала гелий проходит раньше, чем воздух и другие газы. Поэтому раньше, чем в полости 7, будет сформирован суммарный поток газов, превышающий допустимый для течеискателя 9 газовый поток, клапан 8 закрывают и открывают клапаны 1 и 12 для освобождения полостей 5 и 7 от находящихся в них остатков газов. Количество дисков в наборе устанавливалось в зависимости от требуемой разницы по времени появления потока гелия и суммарного потока всех газов. Так при свободном объеме камеры 5 10 15 20 25 зо З 5 1, равном 0,1 л, и допустимой утечке, равной 5,2 10л мкм/с, длине селективно проницаемого элемента 75 мм, его диаметре 80 мм через 7 с поток течи на течеискателе 9 фиксируется на шкале 0 - 1 В в виде полезного сигнала 430 мВ, и если не отсоединить течеискатель, он выключается через 11 с с помощью вакуумной блокировки при приближении потока суммарной течи к максимально допустимому.Отсоединение течеискателя 9 от элемента 4 после регистрации допустимой утечки, позволяет исключить срабатывание защиты и тем самым повысить надежность испытаний и работы оборудования.Таким образом, изобретение позволяет за счет увеличения площади селективно проницаемого элемента значительно увеличить чувствительность контроля. В то же время использование известной закономерности, согласно которой скорость диффузии газа через газопроницаемую перегородку обратно пропорциональна квадратному корню из его молекулярной массы, позволяет пропустить сначала на течеискатель 9 пробный газ, например гелий, зафиксировать создаваемый им сигнал и отсечь от течеискателя 9 поток других газов, проходящих через селективно проницаемый элемент 4, через некоторое время после регистрации полезного сигнала.Выполнение в предлагаемом устройстве селективно проницаемого элемента газопроницаемой приставки из открытопористого материала с кнудсеновским режимом течения газов в порах позволяет получить более четкую временную границу между проникающими через элемент газами, и чем длиннее элемент из открытопористого материала, тем четче эти границы. Все это позволит увеличить диаметр селективного элемента и повысить чувствительность контроля. формула изобретениея 1. Способ контроля герметичности изделий путем помещения изделия в камеру, подачи в полость по одну сторону стенок изделия пробного газа, выдержки изделия, отбора порции пробного газа по другую сторону его стенок, пропускания ее через селективно проницаемый по пробному газу элемент и регистрации с помощью течеискателя количества пропущенного пробного газа, по которому судят о негерметичности изделия, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности и надежности, площадь селективно прони цаемого элемента выбирают из условия обеспечения требуемой чувствительности, а толщину - из условия превышения времени, достижения допустимого для течеискателя полного газового потока через селективно проницаемый элемент над временем достижения минимального регистрируемого течеискателем1250862 Составитель Л. Внхляев Редактор М. Товтин Техред И. Верес Корректор Т. Колб Заказ 4399/35 Тираж 778 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4/5 филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4потока пробного газа, а после регистрации количества пробного газа, соответствующего допустимой утечке, отсоединяют течеискатель от селективно проницаемого элемента. 2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве селективно проницаемого по пробному газу элемента используют элемент из открытопористого материала.