Устройство для селекции дефектов фотошаблонов

(61) 11203 (21) 44097 (22) 2601 (46) 07.02 (72) А.Ф.Г (53) 681,3 (56) Автор Г 1120376,90. Бюл. Г" 5идченко7,2 (088,8)кое свидетелькл, Г 06 К 9/ тво СССР 6, 1983. ЕФЕКТО омат обе в.ю в 3 тор ГОСУДАРСТ 8 ЕННЫЙ НОМИПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТПРИ ГКНТ СССР САНИЕ ИЭОБР А ВТОРСКОМУ СВИ(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ СЕЛЕФОТОО 1 АБЛОНОВ(57) Изобретение относит Изобретение относится к автоматикеи вычислительной технике, может бытьиспользовано, например, для контроляФотошаблонов и является усовершенствованием известного устройства поавт. св. Р" 1120376,Целью изобретения является повышение точности устройства.На фиг,1 представлена блок-схемапредлагаемого устройства; на фиг,2 .фрагмент исследуемого обьекта (а,б)и диаграммы, поясняющие работу .уст"ройства (в); на Фиг.3 - принцип формирования выходных сигналов второгоФормирователя сигналов; на фиг.4-7 дефекты фотошаблонов,Устройство содержит блок 1 сканирования, первый 2 и второй 3 компараторы, сумматор 4, первый 5 и второй6 Формирователи сигналов, первый 7и второй 8 элементы ИЛИ-НЕ, первый 9,второй 10 и третий 11 элементы И,группы 12 и 13 элементов И, входы 14и 15 компараторов, третий 16 и чет 80541638 ке и вычислительнои усовершенствованием ства по авт. св. 8 1 полнительного изобре точности устройства сти дополнительно об ты фотошаблонов в ви Поставленная цель до ем в устройство тре Формирователей сигна второго .элементов ИЛ и четвертого элемент технике и являетсяизвестного устрой 120376, Цель дотения - повышениеза счет возможнонаруживать дефекде узких царапин,стигается введейитьего и четвертоголов, первого иИ, элемента И-НЕа И. 7 ил. вертый 17 формирователи сигналов, первый 18 и второй 19 элементы ИЛИ, элемент И-НЕ 20, четвертый элемент И 21, выходы 22-25 устройства.Устройство работает следующим разом.Видеосигнал, поступающий с выхоДа блока 1 сканирования, подается на первые входы компараторов 2 и 3, с помощью которых квантуется по амплитуде на два уровня (уровни соответствуют логическому "0" и "1") путем сравнения с пороговыми уровнями напряжений, соответствующими эталонному уровню белого по входу 14 (фиг.2 в, 0,) и эталонному уровню черного по входу 15 (Фиг.2 а, 0), которые подают" ся на вторые входы компараторов 2 и 3. Таким образом, на выходе первого компаратора 2 Формируется первыи опорный сигнал, а на выходе второго компаратора 3 - второй опорный сигнал (И, ( 3.,. ); И () на Фи г, 2 а, в) . С выходов компара ов 2 и 3 опорные сиг35416 налы поступают на входы сумматора 4. В результате сложения на выходе сум" Матора 4 Формируется сигнал суммы (С(1,) йа Фиг.2 б,в).С выхода сумматора 4 сигнал суммыодается на формирователь 5 сигналов (блок электронного окна), с которого снимаются сигналы, соответствующие функциям яркости данного элемента ок О на. Первая группа сигналов, соответствующая элементам Х,-Х (фиг.3), по" ается на формирователь 6, на выходе старого появляется сигнал, если растояние между объектами или размер амого объекта меньше минимально до" пустимого. Вторая группа сигналов,оответствующая элементам окна У, - Уз (Фиг.3), подается на входы первого лемента И 9 и на входы первого элемента ИЛИ"НЕ 7. Сигнал с выхода Формирователя,б подается на один вход лемента И 10, на другой вход которо, го подается сигнал с выхода элемента ИЛИ-НЕ 7. На выходе элемента И 10 Сигнал появляется в том случае, если расстояние между участками серого меньше минимально допустимого (Фиг.4).Первая группа сигналов, соответст"вующая элементам абсциссы (фиг.3), Подается также,на элементы И 11 и ИЛИ-НЕ 8, с выхода последнего подаетСя на первый вход элемента И группы 12. На второй вход данного элемента И подается сигнал с выхода элемента И 9На выходе элемента И группы 2 сигнал Появляется в случае наличия дефекта джипа вкрапления (фиг.5 и 26), Сигналвыхода элемента И 11 подается на первый вход другого элемента И групйы 13, на второй вход которого податся сИгнал с выхода элемента И 9. Иа выходе элемента И группы 13 сигнал появляется в случае наличия дефекта Оптической плотности фотошаблона (фиг.б и 26), т,е, когда ширина учаСтка серого больше допустимой величины,Опорные сигналы ,(з.,З)ф 1(11) (фиг,2 в) с выходов компараторов 2 и 3 поступают также на входы третьего и четвертого формирователей 16 и 7 сигналов (блоки электронного окна), с которых снимаются сигналы Х -Х 4 и Х-Х, соответствующие Функциям яркостй данного элемента окна. Расположение выходов элементов Х 1-Х ли1 Х,-Х формирователей 16 и 17 сигналов соответствует расположению выходов элементов У,-Х +формирователя 5 сигналов (фиг.3). Группа сигналов Х -Х . подается на вход элемента ИЛИ 18, на выходе которого появляется сигнал, если хотя бы один элемент окна Х,-Х , принадлежит светлому участку фотошаблона. Группа сигналов Х,-Хподается на вход элемента ИЛИ 19, на выходе которого появляется сигнал, если хотя бы один элемент окна Х,-Х принадлежит черному участку контролируемого Фотошаблона. Одновременное наличие сигналов на выходах элементов ИЛИ 18 и 19 свидетельствует о наличии зоны перехода из белого в черное .(из черного в белое).Сигналы с выходов элементов ИЛИ 18 и 19 подаются на входы элемента И-НЕ 20, с выхода которого сигнал поступает на первый вход элемента И 21, На второй вход элемента И 21 подается сигнал с выхода второго формирователя 6 сигналов. Таким образом, на выходе элемента И 21 появляется сигнал, если ширина участка серого меньше допустимой величины и отсутствует переход из белого в черное (из черного в бе" лое), т.е. в случае наличия на фото- шаблоне узкой царапины (Фиг.7 и 26).Введение предлагаемых узлов и эле" ментов позволяет повысить точность устройства .за счет. возможности дополнительно обнаруживать дефекты фото" шаблонов в виде узких царапин.Формула изобретенияУстройство для селекции дефектов фотошаблонов по авт. св. М 1120376, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности устройства, оно содержит третий и четвертый Фор" мирователи сигналов, элемент И"НЕ, четвертый элемент И, первый и второй элементы ИЛИ, причем входы третьего и четвертого формирователей сигналов подключены соответственно к выходам первого и второго компараторов, выхо" дц третьего и четвертого формирователей сигналов подключены соответствен" но к входам первого и второго элементов ИЛИ, выходы которых подключены к входам элемента И"НЕ, выход которо" го подключен к входу четвертого элемента И, другой вход которого подключен к выходу второго формирователя сигналов, а вцход является выходом устройства.,Юрко Корректор М.Кучерява кая Тех КНТ ССС Прои твенно-издательский комбинат "Патент", г.Ужгород Гагарина, 191 Заказ 283 Тираж 559 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открцти 113035, МоскваЖ, Раушская наб. д, 4/