Устройство для демпфирования колебаний в вакуумных системах

(54) УСТРОЙСТВО КОЛЕБАНИЙ В ВАК (57) Изобретени строению, а им для демпфирован умных системах,ДЛЯ ДЕМПФИРОВАНИЯ НЪХ СИСТЕМАХотносится к маыинонно к устройствамя колебаний в вакужет быть испол ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИПРИ ГКНТ СССР АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(71) фЕБ Карл Цейс Йен2) Руди Нойланд (ИЭ)3) 62-572(088.8) зовано для виброизоляции высокочувствительных к вибрациям приборов,в частности электронно-лучевых установок в полупроводниковой промышленности или электронных микроскопов.Цель изобретения - повьпдение эффективности демпфирования за счет исключения влияния атмосферного давления на эффект демпфирования. При работе вакуум-насоса 1 виброиэоляциявместилища 7 обеспечивается основным5 и дополнительным 8 компенсаторами.Жесткая связь обоих компенсаторов 5и 8 посредством дистанционных стержней 12 исключает влияние атмосферного давления на эффект демпфирования.3 ил.3 1502889Изобретеггие отггосится к машиностроеггию а иггегггго к устройствам дггядемпфирования колебаний в вакуумных системах, и может быть использовано для виброизоляции высокочувствительных к вибрациям приборов, в частности электронно-лучевых установок нполупроводниковой ггромышлеццостц цлиэлектронных ггикроскоггон. 10Известно устройство для демпфирования колебаний и вакуумных системах,.в котором между вакуум-насосом ивместилищем устанавливается компецсатор. Для того, чтобы н высоконакуумных условиях исключить возможностьсмятия комцецсатора под действием атмосферного давления, между вакуум-насосом и цггестилищегг предусмотрены дистанционные стержни, последовательно 20по отношению к которым установленырезиновые демпфирующие элементы, натяжение которых регулируется в зависимости от частоты возбугщения (проспект "ТцгЬошо 1 е 1 гг 1 агрипгреп спи252 цЬеЬог" - МТМ 5.1.1-НЧ 200 - часть 5фирмы 1.еуЬо 1 Й-Негаецн, Ко 1 п, 1977).Недостатком данного устройстваявляется то, что н результате воздействия атмосферного давления сущесгвенно ограничивается эффективностьдемпфирования.Цель изобретения - повышение эффективности демпФирования за счеткомпенсации влияния атмосферного давления на эффект демпфирования.Указанная цель достигается тем,что устройство снабжено установленнымсоосно с основным компенсатором до- .полнительным комценсатором с одина- щковыми основному статическими и динамическими свойствами, жестко связанным посредством дистанционных стержней с вакуум-насосом и вакуумно непосредственно с вместилищем или черезшланговые соединения с форнакуум-насосом, гцги жестко связанным посредством дистанционных стержней с вместилищем и через шланговые соединениявакуумно с форвакуум-насосом,50 На Фиг. 1 изображена схема устройства для цеггпфиронания колебаний в вакуумных системах; на фиг. 2 связь дополнительного компенсатора с Форнакуум-насосом накуумцо через шланговые соединения; на Фиг. 3 ,жесткая сцязь дополнительного компенсатора с нггестинищем и через шлангоцые соедицеция накуумцо с форнакуум-насосом,Устройство для демпфирования колебаний в вакуумных системах состоитиз вакуум-цасоса 1, который черезфлаццевые соединения 2 и 3 накуумносвязан с форвакуум-насосом 4 и с основным комценсатором 5. Через другоефлацценое соединение 6 компенсатора 5подсоединено вместилище 7, дополнительный компенсатор 8 фланценым соединением 9 так же непосредственносоединен с вместилищем 7. Компенсатор 8 через пластину 10 посредствомдистанционных стержней 12 жестко связан с вакуум-насосом 1Вместилище 7через механические элементы 13 связии через деггггфирующие элементы, например пружины 14 растяжения, связано соснованием 15 устройства.Вакуум-насос 1 через подпорки 24опирается ца основание 15 устройстваР, отличие от Фиг. 1 компенсатор 8на фиг. 2 це находится в непосредственной вакуумной связи с вместилищем 7, Фланец 17 компенсатора 8(Фиг. 2) пластиной 18 вакуумплотно .изолирован от вместилища 7, и черезФланцевое соединение 19 гнакуумпровод20 и фланценое соединение 21 дополнительный компенсатор 8 вакуумно связан с Форвакуум-насосом 4,В устройстве (фиг, 3) дополнительцый компенсатор 8 закреплен на фланце всасывания (флаггцевого соединения 3) вакуум-насоса 1, Пластина 22,прикрепленная к вакуум-насосу 1 по"средством подпорок 24, опирается наоснование 15 устройства и черезфлаццевое соединение 23 связана скомцецсатором 8. Вакуумное соединение компенсатора 8 с Форнакуум-насосом 4 аналогично Фиг. 2 осуществляется через Аланцевое соединение 11,пластину 10, флаццевое соединение 19,накуумпровод 20 и Фланцевое соединение 21.Устройство для демпфирования колебаний работает следующим образом.Вибрации, возникающие при работе вакуум-насоса 1, воспринимаются оснонным компенсатором 5 и дополнительным компецсатором 8, что обеспечивает ниброизоляцию вместилища 7. 11 ри этом силы атмосферного давления Р и Р, действующие вдоль оси симметрии устройства и имеющие одинаковую величину и противоположное направле2889 5 15 О ние, замыкаются через дистанционные стержни 12 и взаимно уничтожаются, в результате чего устраняется влияние атмосферного давления на эффект демпфирования. Формула изобретения Устройство для демпфирования колебаний в вакуумных системах, содержащее компенсатор, устанавливаемый между вакуум-насосом и вместилищем, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения эффективности демпфирования, оно снабжено установленным соосно с основным компенсатором дополнительным компенсатором с одинаковыми основному статическими и динамическими свойствами, жестко свяэапным посредством дистанционных стержней с вакуум-насосом и вакуумно непосредственно с вместилищем или черезшланговые соединения с форвакуум-насосом, или жестко связанным посредством дистанционных стержней с вместилищем и через шланговое соединение,вакуумно с форвакуум-насосом. 1 риэнано изобретением по результатам экспертизы, осуществленной Ведомством по изобретательству Германской Демократической Республики.1 502889 Фив Я Составитель С,ТаратухинТехред Л.Олийнык Корректор Л.Патай Редактор Л.Зайцева Заказ 50 б 9/48 Тирак 721 Подписное ВНИКЛИ Государственного. комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раущская наб., д. 4/5