Установка для тепловой обработки изделий

СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 06, 3/3 51 4 Я САНИ ОБРЕТ ЕЛЬСТВ К АВТОРСКОМУ 533.55(088;8 видетельство 26 В 9/06,ЛЯ ТЕПЛОВОЙкроэлектромообработки ние качестение га транспо льких р в я,п, ф-лы, 6 ил ОО СР 1 Р ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР(57) Изобретение м.б исппри сушке плоских изделийводниковых микроплат в минике для инфракрасной терЦель изобретения - повышева термообработки и уменьритов установки, Лента 9ра выполнена в виде неско тальных тросиков, соединенных м 801478007 А 1 собой сборными клеммовыми яажцмамц.Каждый ролик трацспс ртера выполненв виде пары усеченных конусов, соединенных друг с другом в приводном инатяжных роликах меныяимц основаниями, а в нажимных роликах - большимиоснованиями, Под рабочей ветвью транспортера перпендикулярно его оси размещен перфорированцый газораспределитель 20, а цад ветвьк 1 установленыпродольные трубопроводы 21, снабженные эжекторами, Сборные клеммовыезажимы м,б, выполцецы в виде планокс канавками и установлены в шахматном порядке, Охлажденный гаяообраяный азот проходит через транспортери охлаждает мцкроплаты и нагретыйотбрасывается трубопроводом 21,07 формула изобретения1, Установка для тепловой обработки изделий, преимущественно микроплат, содержащая мнагозонную камерус последовательно соединенными зонами предварительной обработки, сушкис ИК-излучателями и окончательнойобработки, и ленточный транспортерс приводным и натяжным роликами, о т-л и ч а ю щ а яс я тем, что, с целью повышения качества термообработки и уменьшения габаритов, транспортер снабжен нажимными и дополнительным натяжным роликами, лента транспортера выполнена в виде несколькихрядов стальных тросиков, соединенныхмежду собой сборными клеммовыми зажимами, и каждый ролик транспортеравыполнен в виде пары усеченных конусов, Соединенных друг с другом в приводном и натяжных роликах меньшимиоснованиями, а в нажимных роликах -большими основаниями, при,этом подрабочей ветвью транспортера перпендикулярно его оси дополнительно размещен перфорированный газораспределитель, а над ней дополнительно установлены продольные трубопроводы,снабженные эжекторами,2. Установка по и1, о т л и -ч а ю щ а я с я тем, что сборныйклеммовый зажим выполнен в виде планок с канавками, соединенных посредством двух штифтов со сферическимиголовками, и винта. 45 1 14780Изобретение относится к техникесушки плоских иэделий, преимущественно полупроводниковых микроплат, иможет быть использовано в производ 5ствах микроэлектроники для инфракрасной термообработки, в частности,полупроводниковых микроплат.Цель изобретения - повышение качества термообработки и уменьшение 10габаритов,На фиг.изображена установкадля тепловой обработки изделий, общий вид, разрез по оси транспортера;на фиг, 2 - разрез А-А на фиг.1; на 15фиг. 3 - разрез Б-Б на фиг,1; нафиг.4 - установка, сечение по оси роликов; на фиг, 5 - ленточный транспортер, вид сверху; на фиг, 6 -узел 1 на фиг. 4. 20Установка для термообработки изделий содержит многозонную камеру 1с ИК-излучателями 2 и установленнйена каркасе 3 загрузочные 4 и разгрузочные 5 механизмы, расположенные 25соответственно в начале и в конце. транспортера, содержащего приводные6, нажимные 7 и натяжные 8 ролики.Лента 9 транспортера выполнена изнескольких рядов бесконечных стальных тросиков 10, соединенных сборныии клеммовыми зажимами 11-13, состоящими из двух планок 4 и 15, в одной,из которых выполнены штифты 16 сосферическими головками, а в другой -отверстия 17 Планки 14 и 15 дополнительно соединяются винтом 18 и имеют канавки 19 нод установку на тросиках 10. Под рабочей ветвью чранспортера перпендикулярно его оси дополнительно размещен газораспределитель20, а над ней дополнительно установлены продольные трубопроводы 21,снабженные эжекторами. На обращеннойв сторону транспортера поверхностигавораспределителя 20 выполнены отверстия 22 перфорации. Обрабатываемыеизделия 23 например, полупроводниковые микроплаты устанавливаются вкассетах 24 на загрузку; Приводной 50ролик связан цепной передачей 25 сприводом 26, управление которым осуществляется от блока 27 электроавтоматики. Каждый ролик 6-8 выполнен ввиде пары усеченных конусов, соединенных друг с другом в приводных 6и натяжных 8 роликах меньшими основаниями, а в нажимных 7 роликах -большими основаниями, Сборные клем/ мовые зажимы 11-13 расположены в шахматном порядке.Установка работает следующим образом,Кассета 25 с микроплатами 23 устанавливается на загрузочный механизм 4. От блока 27 электроавтоматики происходит включение ИК-излучателей и после установления в камере1 требуемой температуры запускаетсяпривод 26 транспортера, загрузочныймеханизм 5 подает микроплаты 23 натранспортер, где они располагаютсяна сборных клеммовых зажимах 12 и 13строго по оси транспортера, Охлажденный газообразный азот, подаваемыйчерез отверстия 22 газораспределителя 20, проходит. через транспортер,охлаждает микроплаты 23 и нагретыйотсасывается трубопроводом 21, эффектразрежения в котором создается припрохождении азота через эжекторы,47800714780 7 г Составитель С. ПолянскииРедактор И, Дербак Техред М.Ходанич Коррек ерни инат "Патент", г . Ужгород, ул . Гагарина, 101 зволственно-издатель аказ 2349/38 Тираж 594 НИИПИ Государственного комитета и 113035, Москва, Ж Подписноеизобретениям и открытиям при ГКНТ СССР Раушская наб., д. 4/5