Способ измерения температуры полупроводниковых пластин

Номер патента: 1457554

Авторы: Биленко, Дружинина, Лясковский

ZIP архив

Текст

(САНИЕ ИЗОБРЕТЕН К ПАТЕНТУ СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИ СУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕЕДОМСТВО СССР ЕОСПАТЕНТ СССР)(71) Научно-исследовательский институт механикии физики при Саратовском государственном университете имНГЧернышевского(3) Научно-исследовательский институт механикии физики при Саратовском Государственном университете имНГЧернышевского(54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТЕМПЕРАТУРЫПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН(57) Изобретение относится к измерительной технике, конкретнее к бесконтактным способам определения температуры твердых вещест, и может быть использовано при проведении различных термических процессов над полулроводниковыми структурами, в частности на основе кремн я и соединений типа А В . Цель изобретения - повыше 3 5ние точности. Сущность изобре гения заключался в том, что регистрируют монохроматическое излучение, отраженное как от внешней, так и от внутренней поверхности полупроводниковой пластины. При этом монохроматическое излучение выбирают неинтерферирующим на пластине из области края поглощения полупроводника. Это позволяет измерять температуру с высокой точностью за счет исключения неоднородности нагрева пластины. 2 ил.1457554 Состааитель А,НастасюкТехред М.Моргентал Корректор О. Густи Редактор Т,Зуб к Заказ 32 Тираж Годписн НПО "Поиск" Роспатента 13035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5

Смотреть

Заявка

04009002, 14.01.1986

Научно-исследовательский институт механики и физики при Саратовском государственном университете им. Н. Г. Чернышевского

Биленко Д. И, Дружинина Т. Ю, Лясковский И. И

МПК / Метки

МПК: G01J 5/60

Метки: пластин, полупроводниковых, температуры

Опубликовано: 15.11.1993

Код ссылки

<a href="https://patents.su/4-1457554-sposob-izmereniya-temperatury-poluprovodnikovykh-plastin.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ измерения температуры полупроводниковых пластин</a>

Похожие патенты