Термостатированный кварцевый резонатор

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИК 03 Н 9 5 БРЕТ ИЯ САН ВИДЕ П:ЛЬСТВУ Н АВТОРСКОМУ эи. - Сер. ТРС31-34.ЦЙ КВАРЦЕВЫИится к областиизобретениячастоты. ТерТехника средств с1978, вып. 10 (26),(57) Изобретение отнрадиоэлектроники. Цповьппение стабильнос е ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ(56) Волков А.А., Вороховский Я,Л., Петросян И.Т. и.Трошин И.С. Кварцевые резонаторы-термостаты. - Электронная промышленность, 984, вып. (129), с. 64-66. мостатиоованный кварцевый резонаторсодержит кристаллический элементавозбуждающими электродами 2, 3 в ак"тивной области. На первой ОСновнойграни кристаллического элементавокруг активной области в периферийной зоне расположен реэистивный1пленочный нагреватель 4, на второйосновной грани размещен датчик 6 температуры, выполненный в виде терморезистивной текстурированной пленкинз окислов кобальта и марганца соследующим соотношением компонентов,мас.й; окисел кобальта 50-65; окиселмарганца остальное. При этом внешниеконтуры рабочей эоны терморезистив- дной текстурированной пленки совпадают с контурами рабочей зоны резистив- дного пленрчного нагревателя. 3 ил.Изобретение относится к области радиоэлектроники и может испольэовать ся в высокостабильных кварцевых резонаторах.Цель изобретения - повышение стабильности частоты.На фиг. 1 показан термостатированный кварцевый резонатор, вид спереди; на фиг, 2 - то же, вид сбоку; на 10 фиг. 3 - структурная схема резонатора.Термостатированный кварцевый резонатор содержит кристаллический элемент 1, возбуждающие электроды 2 и 3, реэистивный пленочный нагреватель 4 . 15 с токопроводящей перемычкой 5, датчик 6 температуры с тонкопленочными проводящими контактами 7 и 8 и с терморезистором 9 в виде текстурированной пленки из окислов кобальта и марган ца,.контактные площадки 10, блок 11 терморегулирования и автогенератор 12,Резонатор работает следующим образом.Входной сигнал подается на элект роды 2 и 3 резонатора, при этом в кристаллическом элементе .1 возникают колебания. Выходной электрический сигнал со стабилизированной частотой снимается с электродов 2 и 3. З 1ТермоСтабилизация пьезоэлемента осуществляется следующим образом,При включении блока 11 терморе" гулирования сопротивление терморе- эистора 9, выводы которого соединены35 с входными клеммами блока терморегулирования, велико и сравнивающий термочувствительный элемент блока терморегулирования разбалансирован. При этом через реэистивиый пленочный на" греватель 4, выводы которого соединены с выходными клеммами блока 11 терморегулирования, протекает полый . ток подогрева пьезоэлемента кварцевого резонатора. По мере нагрева пьезоэлемента иследовательно, терморезистора, сопротивление последнего уменьшается, а через резистивный пленочный нагреватель 4 протекает меньший ток. При этом величина тока регулируется пропорционально напряжению раэбаланса сравнивающего термочувст" вительного элемента блока 11 терморегулирования, за счет чего обеспечивается постоянство, температуры по 55 догрева пьезоэлемента кварцевого резонатора.Иысокая точность стабилизации температуры, а следовательно, и частоты кварцевого резонатора достигается эа счет повышенного теплового контакта с объектом термостатирования, который достигается использованием тонкопле" ночного терморезистивного датчика 6 температуры с контурами рабочей зоны, совпадающей с контурами рабочей эоны нагревателя 4. Это позволяет повысить точность поддержания температуры пьезоэлемента н довести ее до ф 0,1 ОСПрименение тонкопленочного терморезистора на основе текстуры окислов кобальта и марганца с соотношением компонентов, маС,Х: окисел кобальта 50-65; окисел марганца остальное, сформированной высокочастотным магие" тронным распылением, обеспечивает значительное снижение воспроизводимости электрических параметров тон-, копленочных терморезисторов и повышение их долговременной стабильности, что также повышает стабильность частоты кварцевого. резонатора.формула изобретенияТермостатированный кварцевый резонатор, содержащий кристаллический элемент в форме пластины с расположен, ными на его первой и второй основных гранях и активной области возбуждающими электродами, резистивный пле" ночный нагреватель, расположенный на . первой основной грани кристаллическо" го элемента вокруг активной области в его периферийной зоне, выводя которого соединены с выходными клеммами блока терморегулирования, и датчик температуры, выполненный в виде термореэистора и расположенный на вторрй основной грани кристаллического эле" мента вне активной области, выводы которого соединены с входными клеммами блока терморегулирования, о т " л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения стабильности частоты, терморезистор выполнен в виде тексту- рированной пленки из окислов кобальта и марганца со следующим соотношением компонентов, мас.тОкисел кобальта 50-65Окисел .марганца Остальноепричем внешние контуры рабочей зонытерморезистора совпадают. с контура"ми рабочей зоны резистивного пленоч",ного нагревателя, 1335112133512 Составитель В Техред М,дид нтвиновКорре Король актор Н. Цалихина Заказ 4 с 4/5 афическое предприятие, г. Ужгород. ул, Проектная,енно-и роиз ВНИИПИпо3035, И Тираж 655Государственноделам изобретенскяа, Ж, Рауш Покомитета ССи открытийая наб., д.